יאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשין פֿאַר סאַפייער SiC Si

קורצע באַשרייַבונג:

די יאָן שטראַל פיגורינג און פּאָלירינג מאַשין איז באַזירט אויף דעם פּרינציפּ פוןיאָן ספּאַטערינגאינעווייניק פון אַ הויך-וואַקוום קאַמער, דזשענערירט אַן יאָן מקור פּלאַזמע, וואָס ווערט אַקסעלערירט אין אַ הויך-ענערגיע יאָן שטראַל. דער שטראַל באַמבאַרדירט די ייבערפלאַך פון דער אָפּטישער קאָמפּאָנענט, אַוועקנעמענדיק מאַטעריאַל אויף דער אַטאָמישער וואָג צו דערגרייכן אַ גאָר פּינקטלעכע ייבערפלאַך קערעקשאַן און פאַרענדיקונג.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

פּראָדוקט איבערבליק פון יאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשין

די יאָן שטראַל פיגורירן און פּאָלירן מאַשין איז באַזירט אויף דעם פּרינציפּ פון יאָן ספּאַטערינג. אינעווייניק פון אַ הויך-וואַקוום קאַמער, דזשענערירט אַן יאָן מקור פּלאַזמע, וואָס ווערט אַקסעלערירט אין אַ הויך-ענערגיע יאָן שטראַל. דער שטראַל באַמבאַרדירט די ייבערפלאַך פון דער אָפּטישער קאָמפּאָנענט, אַוועקנעמענדיק מאַטעריאַל אויף דער אַטאָמישער וואָג צו דערגרייכן אַ גאָר פּינקטלעכע ייבערפלאַך קערעקשאַן און פינישינג.

אלס א נישט-קאנטאקט פראצעס, עלימינירט יאן שטראל פאלירונג מעכאנישע סטרעס און פארמיידט אונטער-איבערפלאך שאדן, מאכנדיג עס אידעאל פארן פאבריקירן הויך-פונקציאנעלע אפטיקס גענוצט אין אסטראנאמיע, עראספייס, האלב-קאנדוקטארן, און פארגעשריטענע פארשונג אפליקאציעס.

אַרבעט פּרינציפּ פון יאָן שטראַל פּאַלישינג מאַשין

יאָן דזשענעריישאַן
אינערט גאז (למשל, ארגאן) ווערט אריינגעפירט אין דער וואקיום קאמער און ייאניזירט דורך אן עלעקטרישע אויסלאדונג צו שאפן פלאזמע.

אַקסעלעראַציע און שטראַל פאָרמאַציע
די יאָנען ווערן אַקסעלערירט צו עטלעכע הונדערט אָדער טויזנט עלעקטראָן וואלטס (eV) און געפאָרעמט אין אַ סטאַבילן, פאָקוסירטן שטראַל פלעק.

מאַטעריאַל באַזייַטיקונג
דער יאָן שטראַל שפּוטערט פיזיש אַטאָמען פֿון דער ייבערפלאַך אָן אָנצוהייבן כעמישע רעאַקציעס.

טעות דעטעקציע און וועג פּלאַנירונג
איבערפלאַך פיגור אָפּנייגונגען ווערן געמאָסטן מיט ינטערפעראָמעטריע. באַזייַטיקונג פאַנגקשאַנז ווערן געווענדט צו באַשטימען די אָפּהאַלט צייטן און דזשענערירן אָפּטימיזירטע געצייַג פּאַטס.

פארמאכט-לופּ קארעקציע
איטעראַטיווע ציקלען פון פּראַסעסינג און מעזשערמאַנט פאָרזעצן ביז RMS/PV פּרעציזיע צילן ווערן דערגרייכט.

שליסל פֿעיִקייטן פון יאָן שטראַל פּאַלישינג מאַשין

אוניווערסאַלע ייבערפלאַך קאָמפּאַטאַביליטי– פּראָצעסירט פלאַכע, ספערישע, אַספערישע און פרייפאָרם ייבערפלאַכן

אולטרא-סטאַביל באַזייַטיקונג קורס– ערמעגליכט סוב-נאנאמעטער פיגור קארעקציע

שאָדן-פֿרײַ פּראַסעסינג– קיין אונטערערדישע חסרונות אדער סטרוקטורעלע ענדערונגען

קאָנסיסטענט פאָרשטעלונג– אַרבעט גלייך גוט אויף מאַטעריאַלן פון פֿאַרשידענע האַרטקייט

נידעריק/מיטל פרעקווענץ קארעקציע– עלימינירט ערראָרס אָן דזשענערירן מיטל/הויך-פרעקווענץ אַרטיפאַקץ

נידעריקע אויפהאלטונג רעקווייערמענט– לאַנגע קאָנטינויִערלעכע אָפּעראַציע מיט מינימאַלער דאַונטיים

הויפּט טעכנישע ספּעסיפיקאַציעס פון יאָן שטראַל פּאַלישינג מאַשין

אייטעם	ספּעציפֿיקאַציע
פּראַסעסינג מעטאָד	יאָן ספּאַטערינג אין אַ הויך-וואַקוום סביבה
פּראַסעסינג טיפּ	נישט-קאָנטאַקט ייבערפלאַך פיגורירן און פּאָלירן
מאַקס וואָרקפּיס גרייס	Φ4000 מ״מ
באַוועגונג אַקסעס	3-אַקס / 5-אַקס
באַזייַטיקונג סטאַביליטעט	≥95%
ייבערפלאַך אַקיעראַסי	PV < 10 נאַנאָמעטער; RMS ≤ 0.5 נאַנאָמעטער (טיפּיש RMS < 1 נאַנאָמעטער; PV < 15 נאַנאָמעטער)
אָפטקייט קערעקשאַן קייפּאַבילאַטי	אַראָפּנעמען נידעריק-מיטל אָפטקייט ערראָרס אָן צו ברענגען אריין מיטל/הויך אָפטקייט ערראָרס
קאָנטינויִערלעכע אָפּעראַציע	3–5 וואָכן אָן וואַקוום וישאַלט
אויפהאלטונג קאסטן	נידעריק

פּראַסעסינג קייפּאַבילאַטיז פון יאָן שטראַל פּאַלישינג מאַשין

געשטיצטע ייבערפלאַך טיפּן

פּשוט: פלאַך, ספעריש, פּריזמע

קאָמפּלעקס: סימעטריש/אַסימעטריש אַספער, אַוועק-אַקס אַספער, צילינדריקאַל

ספּעציעל: אולטרא-דין אָפּטיק, לאַט אָפּטיק, האַלב-קוגל אָפּטיק, קאָנפאָרמאַל אָפּטיק, פאַזע פּלאַטעס, פרייפאָרם סערפאַסיז

געשטיצטע מאַטעריאַלן

אָפּטיש גלאז: קוואַרץ, מיקראָקריסטאַלין, K9, עטק.

אינפֿראַרויט מאַטעריאַלן: סיליקאָן, גערמאַניום, אאז"וו.

מעטאַלן: אַלומינום, ומבאַפלעקט שטאָל, טיטאַניום צומיש, עטק.

קריסטאַלן: YAG, איין-קריסטאַל סיליקאָן קאַרבייד, אאז"וו.

שווערע/שוואַכע מאַטעריאַלן: סיליקאָן קאַרבייד, אאז"וו.

ייבערפלאַך קוואַליטעט / פּרעציזיע

PV < 10 נאַנאָמעטער

RMS ≤ 0.5 נאַנאָמעטער

פּראַסעסינג פאַל שטודיעס פון יאָן שטראַל פּאַלישינג מאַשין

פאַל 1 – נאָרמאַל פלאַך שפּיגל

ארבעטסשטיק: D630 מ״מ קוואַרץ פלאַך

רעזולטאַט: PV 46.4 נאַנאָמעטער; RMS 4.63 נאַנאָמעטער

פאַל 2 – רענטגן רעפלעקטיוו שפּיגל

ארבעטסשטיק: 150 × 30 מם סיליקאָן פלאַך

רעזולטאַט: PV 8.3 נאַנאָמעטער; RMS 0.379 נאַנאָמעטער; סלאָופּ 0.13 µראַד

פאַל 3 – שפּיגל נישט-אַקסיס

ארבעטסשטיק: D326 מ״מ נישט-אַקס גראַונד שפּיגל

רעזולטאַט: PV 35.9 נאַנאָמעטער; RMS 3.9 נאַנאָמעטער

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס וועגן קוואַרץ ברילן

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס – יאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשין

ק1: וואָס איז יאָן שטראַל פּאָלירינג?
א1:יאָן שטראַל פּאָלירן איז אַ ניט-קאָנטאַקט פּראָצעס וואָס ניצט אַ פאָקוסירטן שטראַל פון יאָנען (אַזאַ ווי אַרגאָן יאָנען) צו באַזייַטיקן מאַטעריאַל פון אַ ווערקפּיס ייבערפלאַך. די יאָנען ווערן אַקסעלערירט און געריכטעט צו דער ייבערפלאַך, וואָס פאַרשאַפן אַטאָמיש-לעוועל מאַטעריאַל באַזייַטיקונג, ריזאַלטינג אין גאָר גלאַט ענדיקונגען. דער פּראָצעס עלימינירט מעטשאַניקאַל דרוק און אונטערערדישע שעדיקן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר פּרעציזיע אָפּטישע קאַמפּאָונאַנץ.

פ2: וואָסערע טיפּן ייבערפלאַכן קען די יאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשין פּראָצעסירן?
א2:דייאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשיןקענען פּראָצעסירן אַ פאַרשיידנקייט פון סערפאַסיז, אַרייַנגערעכנט פּשוט אָפּטישע קאַמפּאָונאַנץ וויפלאַך, ספֿערעס און פּריזמעס, ווי אויך קאָמפּליצירטע געאמעטריעס וויאַספֿערעס, נישט-אַקס אַספֿערעס, אוןפרייפאָרם סערפאַסיזעס איז ספּעציעל עפעקטיוו אויף מאַטעריאַלן ווי אָפּטיש גלאָז, אינפֿראַרעד אָפּטיק, מעטאַלן און שווערע/שוואַכע מאַטעריאַלן.

ק3: מיט וועלכע מאַטעריאַלן קען די יאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשין אַרבעטן?
א3:דייאָן שטראַל פּאָלישינג מאַשיןקען פּאָלירן אַ ברייטע קייט פון מאַטעריאַלן, אַרייַנגערעכנט:

אָפּטיש גלאָזקוואַרץ, מיקראָקריסטאַלין, K9, אאז"וו.
אינפֿראַרויט מאַטעריאַלןסיליקאָן, דזשערמאַניאַם, אאז"וו.
מעטאַלןאַלומינום, ומבאַפלעקט שטאָל, טיטאַניום צומיש, אאז"וו.
קריסטאַל מאַטעריאַלן: YAG, איין-קריסטאַל סיליקאָן קאַרבייד, אאז"וו.
אַנדערע שווערע/שוואַכע מאַטעריאַלןסיליקאָן קאַרבייד, אאז"וו.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.