ווי-געוואקסן סאַפייער בול ינגאָט קריסטאַל קיי מעטאָד
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
איבערבליק
A סאַפיר בולאיז אַ גרויסער, ווי-געוואַקסענער איינציקער קריסטאַל פון אַלומינום אָקסייד (Al₂O₃) וואָס דינט ווי דער אויבערשטער רוי מאַטעריאַל פֿאַר סאַפיר וועיפערס, אָפּטישע פֿענצטער, טראָגן-קעגנשטעליק טיילן, און שטיין שניידן. מיטמאָהס 9 כאַרדנאַס, אויסגעצייכנטע טערמישע פעסטקייט(שמעלץ־פונקט ~2050 °C), אוןברייטבאַנד טראַנספּאַרענץפון UV ביז מיטל-IR, סאַפיר איז דער בענטשמאַרק מאַטעריאַל וואו האַרטקייט, ריינקייט און אָפּטישע קוואַליטעט מוזן קאָעגזיסטירן.
מיר צושטעלן קאָלירלאָזע און דאָפּירטע סאַפיר בולעס פּראָדוצירט דורך אינדוסטריע-באַוויזן וווּקס מעטהאָדס, אָפּטימיזירט פֿאַרGaN/AlGaN עפּיטאַקסי, פּרעציזיע אָפּטיק, אוןהויך-פאַרלעסלעכקייט אינדוסטריעלע קאָמפּאָנענטן.
פארוואס סאַפייער בול פון אונדז
-
קריסטאַל קוואַליטעט ערשטער:נידעריק אינערלעכער דרוק, נידעריק בלאָז/סטריע אינהאַלט, שטרענגע אָריענטירונג קאָנטראָל פֿאַר דאַונסטרים סלייסינג און עפּיטאַקסי.
-
פּראָצעס בייגיקייט:KY/HEM/CZ/Verneuil וואוקס אפציעס צו באלאנסירן גרייס, דרוק, און קאסטן פאר אייער אפליקאציע.
-
סקאַלירבאַרע געאָמעטריע:צילינדרישע, מער-פאָרעם, אָדער בלאָק בולעס מיט מנהג פלאַץ, זוימען/ענד באַהאַנדלונגען, און רעפערענץ פּלענער.
-
טרעיסאַבאַל און ריפּיטאַבאַל:באַטש רעקאָרדס, מעטראָלאָגיע באַריכטן, און אַקסעפּטאַנס קרייטיריאַ אַליינד צו דיין ספּעק.
גראָוט טעקנאַלאַדזשיז
-
קענטאקי (קיראָפּאָולאָס):גרויס-דיאַמעטער, נידעריק-דרוק בולעס; פאַוואָרירט פֿאַר עפּי-גראַד וועיפערס און אָפּטיק וואו בירעפרינדזשענס יוניפאָרמאַטי איז וויכטיק.
-
HEM (היץ-אויסטוישער מעטאד):אויסגעצייכנטע טערמישע גראַדיענטן און סטרעס קאָנטראָל; אַטראַקטיוו פֿאַר דיקע אָפּטיק און פּרעמיע עפּי פיטערסטאָק.
-
טשעכראַלסקי (CZ):שטאַרקע קאָנטראָל פון אָריענטירונג און רעפּראָדוסיביליטי; אַ גוטע ברירה פֿאַר קאָנסיסטענט, הויך-טראָג סלייסינג.
-
ווערנייל (פלאַם-פיוזשאַן):קאָסטן-עפעקטיוו, הויך דורכפלוס; פּאַסיק פֿאַר אַלגעמיינע אָפּטיק, מעכאַנישע טיילן און געמ-פּרעפאָרמס.
קריסטאַל אָריענטירונג, געאָמעטריע און גרייס
-
נאָרמאַלע אָריענטאַציעס: c-פלאַך (0001), אַ-פליגער (11-20), ר-פלאַך (1-102), m-פלאַך (10-10); מנהג-געמאכטע פליגערס זענען בנימצא.
-
אָריענטירונג אַקיעראַסי:≤ ±0.1° דורך Laue/XRD (ענגער אויף פארלאנג).
-
פֿאָרמען:צילינדרישע אדער מער-טיפּ בולעס, קוואַדראַטישע/רעכטעקיקע בלאָקס, און שטאַנגען.
-
טיפּישע גרייס קאָנווערט: Ø30–220 מ״מ, לענג 50–400 מ״מ(גרעסער/קלענער געמאכט אויף באַשטעלונג).
-
סוף/רעפערענץ פֿעיִקייטן:זוימען/ענד פּנים מאַשינינג, רעפערענץ פלאַך/נאַטשעס, און פידוסאַלס פֿאַר דאַונסטרים אַליינמאַנט.
מאַטעריאַל און אָפּטישע אייגנשאַפטן
-
קאָמפּאָזיציע:איין-קריסטאַל אַל₂אָ₃, רוי מאַטעריאַל ריינקייט ≥ 99.99%.
-
געדיכטקייט:~3.98 ג/קמ³
-
כאַרטקייט:מאָהס 9
-
רעפראַקטיווער אינדעקס (589 נאַנאָמעטער): נₒ≈ 1.768,נₑ≈ 1.760 (נעגאַטיוו יוניאַקסיאַל; Δn ≈ 0.008)
-
טראַנסמיסיע פֿענצטער: UV ביז ~5 מיקראָמעטער(דיקקייט- און אומריינקייט-אפהענגיק)
-
טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (300 ק):~25 וו·מ⁻¹·ק⁻¹
-
CTE (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (אָריענטאַציע-אָפּהענגיק)
-
יונגס מאָדולוס:~345 GPa
-
עלעקטריש:העכסט איזאָלירנדיק (וואָלומען קעגנשטעל טיפּיש ≥ 10¹⁴ Ω·cm)
גראַדעס און אָפּציעס
-
עפּיטאַקסי גראַד:אולטרא-נידעריקע בלאָזן/סטריעס און מינימיזירטע סטרעס בירעפרידזשענס פֿאַר הויך-טראָגן GaN/AlGaN MOCVD וועיפערס (2–8 אינטשעס און העכער דאַונסטרים).
-
אָפּטיש גראַד:הויכע אינערלעכע טראַנסמיסיע און כאָומאַדזשעניטי פֿאַר פֿענצטער, לענסעס און IR וויופּאָרץ.
-
אַלגעמיינע/מעכאַנישע גראַד:שטאַרקע, קאָסטן-אָפּטימיזירטע פֿוטער-מאַטעריאַל פֿאַר זייגער קריסטאַלן, קנעפּלעך, טראָגן טיילן און האָוסינגס.
-
דאָפּינג/קאָליר:
-
קאָלירלאָז(סטאַנדאַרט)
קר:אַל₂אָ₃(רובין),טיאַניום:אַל₂אָ₃סאַפיר פּרעפאָרמען
אַנדערע כראָמאַפאָרן (Fe/Ti) אויף בקשה
-
אַפּליקאַציעס
האַלב-קאָנדוקטאָר: סאַבסטראַטן פֿאַר GaN LEDs, מיקראָ-LEDs, מאַכט HEMTs, RF דעוויסעס (סאַפיר וועיפער פידסטאָק).
אָפּטיק און פאָטאָניקס: הויך-טעמפּעראַטור/דרוק פֿענצטער, IR וויופּאָרטס, לאַזער קאַוואַטי פֿענצטער, דעטעקטאָר דעקל.
קאָנסומער און טראָגבאַרע דעוויסעס: זייגער קריסטאַלן, קאַמעראַ לינז קאָווערס, פינגערפּרינט סענסאָר קאָווערס, פּרעמיע עקסטעריאָר טיילן.
אינדוסטריעל און לופטפארט: נאַזאַלז, ווענטיל זיצן, פּלאָמבע רינגען, פּראַטעקטיוו פֿענצטער און אָבסערוואַציע פּאָרץ.
לאַזער/קריסטאַל גראָוט: טי:סאַפיר און רובין באַלעבאָטים פון דאָפּירטע בולעס.
אויף-א-בליק דאטן (טיפּיש, פֿאַר רעפֿערענץ)
| פּאַראַמעטער | ווערט (טיפּיש) |
|---|---|
| קאָמפּאָזיציע | איין-קריסטאַל Al₂O₃ (≥ 99.99% ריינקייט) |
| אָריענטאַציע | c / a / r / m (באַשטעלט אויף בקשה) |
| אינדעקס @ 589 נאַנאָמעטער | נₒ≈ 1.768,נₑ≈ 1.760 |
| טראַנסמיסיע קייט | ~0.2–5 מיקראָמעטער (דיקקייט-אפהענגיק) |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | ~25 וו·מ⁻¹·ק⁻¹ (300 ק) |
| CTE (20–300 °C) | ~5–8 × 10⁻⁶/K |
| יונגס מאָדולוס | ~345 GPa |
| געדיכטקייט | ~3.98 ג/קמ³ |
| כאַרטקייט | מאָהס 9 |
| עלעקטריש | איזאָלירנדיק; וואָלומען קעגנשטעל ≥ 10¹⁴ Ω·cm |
סאַפיר וואַפער פּראָדוקציע פּראָצעס
-
קריסטאַל גראָוט
הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) ווערט געשמאָלצן און אויסגעוואַקסן אין אַן איינציקן סאַפיר קריסטאַל שטאַנג ניצנדיק דעםקיראָפּאָולאָס (KY) or טשעכראַלסקי (טשעכיי)מעטאָדע. -
אינגאָט פּראַסעסינג
די שטייג ווערט באַאַרבעט צו אַ סטאַנדאַרט פאָרעם - טרימינג, דיאַמעטער פורעמונג, און ענד-פאַסע פּראַסעסינג. -
שניידן
דער סאַפיר שטאַנג ווערט געשניטן אין דין וועיפלעך מיט אַדיאַמאָנט דראָט זעג. -
צוויי-זייַטיקע לאַפּינג
ביידע זייטן פון די וועיפער ווערן איבערגעלאַפּט צו באַזײַטיקן זעג מאַרקס און דערגרייכן אַ גלייכמעסיקע גרעב. -
אויסגליטשן
די וועיפערס ווערן היץ-באהאנדלט צובאַפרייען אינערלעכע דרוקאון פֿאַרבעסערן קריסטאַל קוואַליטעט און טראַנספּעראַנסי. -
ברעג גרינדינג
די וועיפער עדזשאַז זענען בעוועלד צו פאַרמייַדן טשיפּינג און קראַקינג בעשאַס ווייטערדיקע פּראַסעסינג. -
מאָנטירונג
וואַפערס זענען מאָונטעד אויף טרעגערס אָדער האָלדערס פֿאַר פּינקטלעך פּאָלירן און דורכקוק. -
די-עם-פי (צוויי-זייטיג מעכאנישע פאלירונג)
די וועיפער ייבערפלאַכן זענען מעכאַניש פּאַלישט צו פֿאַרבעסערן די גלאַטקייט פון די ייבערפלאַך. -
CMP (כעמישע מעכאנישע פאלירונג)
א פיינער פאליר-שריט וואס קאמבינירט כעמישע און מעכאנישע אקציעס צו שאפן אשפּיגל-ווי ייבערפלאַך. -
וויזועלע דורכקוק
אָפּעראַטאָרן אדער אָטאָמאַטישע סיסטעמען קאָנטראָלירן פֿאַר קענטיקע ייבערפלאַך חסרונות. -
פלאַכקייט דורכקוק
פלאַכקייט און גרעב איינהייטלעכקייט ווערן געמאסטן צו ענשור דימענסיאָנעל פּינקטלעכקייט. -
RCA רייניקונג
נאָרמאַלע כעמישע רייניקונג אַראָפּנעמען אָרגאַנישע, מעטאַלישע און פּאַרטיקולאַטע קאַנטאַמאַנאַנץ. -
סקראַבער רייניקונג
מעכאנישע סקראַבינג אַוועקנעמט פארבליבענע מיקראָסקאָפּישע פּאַרטיקלען. -
ייבערפלאַך דעפעקט דורכקוק
אויטאָמאַטישע אָפּטישע דורכקוק דעטעקטירט מיקראָ-דעפעקטן ווי קראַצן, גריבער אָדער קאַנטאַמאַניישאַן.

-
קריסטאַל גראָוט
הויך-ריינקייט אַלומינאַ (Al₂O₃) ווערט געשמאָלצן און אויסגעוואַקסן אין אַן איינציקן סאַפיר קריסטאַל שטאַנג ניצנדיק דעםקיראָפּאָולאָס (KY) or טשעכראַלסקי (טשעכיי)מעטאָדע. -
אינגאָט פּראַסעסינג
די שטייג ווערט באַאַרבעט צו אַ סטאַנדאַרט פאָרעם - טרימינג, דיאַמעטער פורעמונג, און ענד-פאַסע פּראַסעסינג. -
שניידן
דער סאַפיר שטאַנג ווערט געשניטן אין דין וועיפלעך מיט אַדיאַמאָנט דראָט זעג. -
צוויי-זייַטיקע לאַפּינג
ביידע זייטן פון די וועיפער ווערן איבערגעלאַפּט צו באַזײַטיקן זעג מאַרקס און דערגרייכן אַ גלייכמעסיקע גרעב. -
אויסגליטשן
די וועיפערס ווערן היץ-באהאנדלט צובאַפרייען אינערלעכע דרוקאון פֿאַרבעסערן קריסטאַל קוואַליטעט און טראַנספּעראַנסי. -
ברעג גרינדינג
די וועיפער עדזשאַז זענען בעוועלד צו פאַרמייַדן טשיפּינג און קראַקינג בעשאַס ווייטערדיקע פּראַסעסינג. -
מאָנטירונג
וואַפערס זענען מאָונטעד אויף טרעגערס אָדער האָלדערס פֿאַר פּינקטלעך פּאָלירן און דורכקוק. -
די-עם-פי (צוויי-זייטיג מעכאנישע פאלירונג)
די וועיפער ייבערפלאַכן זענען מעכאַניש פּאַלישט צו פֿאַרבעסערן די גלאַטקייט פון די ייבערפלאַך. -
CMP (כעמישע מעכאנישע פאלירונג)
א פיינער פאליר-שריט וואס קאמבינירט כעמישע און מעכאנישע אקציעס צו שאפן אשפּיגל-ווי ייבערפלאַך. -
וויזועלע דורכקוק
אָפּעראַטאָרן אדער אָטאָמאַטישע סיסטעמען קאָנטראָלירן פֿאַר קענטיקע ייבערפלאַך חסרונות. -
פלאַכקייט דורכקוק
פלאַכקייט און גרעב איינהייטלעכקייט ווערן געמאסטן צו ענשור דימענסיאָנעל פּינקטלעכקייט. -
RCA רייניקונג
נאָרמאַלע כעמישע רייניקונג אַראָפּנעמען אָרגאַנישע, מעטאַלישע און פּאַרטיקולאַטע קאַנטאַמאַנאַנץ. -
סקראַבער רייניקונג
מעכאנישע סקראַבינג אַוועקנעמט פארבליבענע מיקראָסקאָפּישע פּאַרטיקלען. -
ייבערפלאַך דעפעקט דורכקוק
אויטאָמאַטישע אָפּטישע דורכקוק דעטעקטירט מיקראָ-דעפעקטן ווי קראַצן, גריבער אָדער קאַנטאַמאַניישאַן. 
סאַפיר בול (איינציק-קריסטאַל אַל₂אָ₃) — אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס
פ1: וואָס איז אַ סאַפיר בול?
א: אן איינציקער קריסטאל פון אלומיניום אקסייד (Al₂O₃) וואס ווערט אויפגעוואקסן. דאס איז דער אויבערשטער "שטיקל" וואס ווערט גענוצט צו מאכן סאפיר וועיפערס, אפטישע פענצטער, און שטארק-אויסנוצנדיקע קאמפאנענטן.
פ2: ווי אזוי איז א בול פארבונדן מיט וועיפערס אדער פענצטער?
א: די בול איז אריענטירט → געשניטן → געלאַפּט → פּאָלירט צו פּראָדוצירן עפּי-גראַד וועיפערס אָדער אָפּטישע/מעכאַנישע טיילן. איינהייטלעכקייט פון די קוואַל בול אַפעקטירט שטאַרק די דאַונסטרים ייעלד.
פ3: וועלכע וואוקס מעטאדן זענען פאראן און ווי אנדערש זענען זיי?
A: קענטאקי (קיראָפּאָולאָס)אוןהעםגרויסע פראדוקציע,נידעריק-דרוקבולעס—בילכער פֿאַר עפּיטאַקסי און הויך-סוף אָפּטיק.טשעכראַלסקי (CZ)אָפפערט אויסגעצייכנטאָריענטאַציע קאָנטראָלאון לאָט-צו-לאָט קאָנסיסטענסי.ווערנייל (פלאַם-פיוזשאַן) is קאָסטן-עפעקטיוופֿאַר אַלגעמיינע אָפּטיק און געמס פּרעפאָרמס.
פ4: וואָסערע אָריענטאַציעס גיט איר? וואָסערע אַקיעראַסי איז טיפּיש?
A: c-פלאך (0001), a-פלאך (11-20), r-פלאך (1-102), m-פלאך (10-10), און מינהגים. אָריענטירונג אַקיעראַסי טיפּיש≤ ±0.1°וועריפיצירט דורך Laue/XRD (שטאַרקער אויף פארלאנג).
אָפּטיש-קלאַס קריסטאַלן מיט פאַראַנטוואָרטלעך אין-הויז אָפּפאַל פאַרוואַלטונג
אַלע אונדזערע סאַפיר בולעס זענען פאַבריצירט צואָפּטיש גראַד, וואָס זיכערט הויכע טראַנסמיסיע, ענגע האָמאָגעניטי, און נידעריקע אינקלוזיע/בלאָז און דיסלאָוקיישאַן געדיכטקייטן פֿאַר פאָדערנדיקע אָפּטיק און עלעקטראָניק. מיר קאָנטראָלירן קריסטאַל אָריענטירונג און בירעפרידזשענס פֿון זוימען ביז בול, מיט פולער לאָט טרייסאַביליטי און קאָנסיסטענסי אַריבער ראַנז. דימענסיעס, אָריענטאַציעס (c-, a-, r-פּלאַן), און טאָלעראַנסעס קענען זיין קאַסטאַמייזד צו דיין דאַונסטרים סלייסינג/פּאָלישינג באדערפענישן.
וויכטיג, יעדע מאַטעריאַל וואָס איז נישט לויט די ספּעציפֿיקאַציע איזפּראַסעסט גאָר אין-הויזדורך אַ פארמאכטן-לופּ וואָרקפלאָו - סאָרטירט, ריסייקאַלד, און באַזייַטיקט פאַראַנטוואָרטלעך - אַזוי איר באַקומען פאַרלאָזלעך קוואַליטעט אָן האַנדלינג אָדער קאַנפאָרמאַטי לאַסטן. דעם צוגאַנג ראַדוסאַז ריזיקירן, פאַרקירצט ליד צייטן, און שטיצט דיין סאַסטיינאַביליטי צילן.
| ינגאָט וואָג באַנד (קג) | 2″ | 4 אינטשעס | 6 אינטשעס | 8″ | 12 אינטשעס | נאטיצן |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 10–30 | פּאַסיק | פּאַסיק | באגרענעצט/מעגלעך | נישט טיפּיש | נישט גענוצט | קליין-פאָרמאַט שניידן; 6 אינטשעס דעפּענדס אויף נוציקן דיאַמעטער/לענג. |
| 30–80 | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | באגרענעצט/מעגלעך | נישט טיפּיש | ברייטע נוצן; געלעגנטלעכע 8″ פּילאָט לאָטן. |
| 80–150 | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | נישט טיפּיש | גוטע באַלאַנס פֿאַר 6–8 אינטשעס פּראָדוקציע. |
| 150–250 | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | לימיטעד/פאָרשונג און אַנטוויקלונג | שטיצט ערשטע 12 אינטשעס פּראָבעס מיט שטרענגע ספּעקס. |
| 250–300 | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | באגרענעצט/שטאַרק ספּעציפֿיצירט | הויך-וואָלומען 8 אינטשעס; סעלעקטיווע 12 אינטשעס לויפט. |
| >300 | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | פּאַסיק | גרענעץ-וואָג; 12 אינטשעס מעגלעך מיט שטרענגער איינהייטלעכקייט/טראָג קאָנטראָל. |











