4H-N/6H-N SiC ווייפער פאָרשונג פּראָדוקציע דאַמי מיינונג דיאַ150 מם סיליציום קאַרבידע סאַבסטרייט

גראַדע

נול מפּד

פּראָדוקציע

פאָרשונג גראַדע

דאַמי גראַדע

דיאַמעטער

150.0 מם ± 0.25 מם

גרעב

4H-N

350ום ± 25ום

4H-SI

500ום ± 25ום

ווייפער אָריענטירונג

אויף אַקס: <0001> ± 0.5 ° פֿאַר 4H-SI
אַוועק אַקס: 4.0 ° צו <1120> ± 0.5 ° פֿאַר 4H-N

ערשטיק פלאַך

{10-10}±5.0°

ערשטיק פלאַך לענג

47.5 מם ± 2.5 מם

עדזש יקסקלוזשאַן

3מם

טטו / בויגן / וואָרפּ

≤15ום/≤40ום/≤60ום

מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט

≤1קם-2

≤5קם-2

≤15קם-2

≤50קם-2

רעסיסטיוויטי 4ה-ען 4ה-סי

0.015~0.028Ω!קם

≥1E5Ω!cm

ראַפנאַס

פויליש ראַ ≤1נם קמפּ ראַ≤0.5נם

# קראַקס דורך הויך ינטענסיטי ליכט

קיינער

1 ערלויבט ,≤2מם

קיומיאַלאַטיוו לענג ≤10מם, איין לענג≤2מם

* העקס פּלאַטעס מיט הויך ינטענסיטי ליכט

קיומיאַלאַטיוו שטח ≤1%

קיומיאַלאַטיוו שטח ≤ 2%

קיומיאַלאַטיוו שטח ≤ 5%

* פּאָליטיפּע געביטן מיט הויך ינטענסיטי ליכט

קיינער

קיומיאַלאַטיוו שטח ≤ 2%

קיומיאַלאַטיוו שטח ≤ 5%

* & סקראַטשיז דורך הויך ינטענסיטי ליכט

3 סקראַטשיז צו 1 רענטגענ ווייפער דיאַמעטער קיומיאַלאַטיוו לענג

5 סקראַטשיז צו 1 רענטגענ ווייפער דיאַמעטער קיומיאַלאַטיוו לענג

5 סקראַטשיז צו 1 רענטגענ ווייפער דיאַמעטער קיומיאַלאַטיוו לענג

ברעג שפּאָן

קיינער

3 ערלויבט, ≤0.5מם יעדער

5 ערלויבט ,≤1מם יעדער

קאַנטאַמאַניישאַן דורך הויך ינטענסיטי ליכט

קיינער