200 מ״מ 8 אינטש GaN אויף סאַפיר עפּי-שיכט וואַפער סאַבסטראַט
פּראָדוקט הקדמה
דער 8-אינטש GaN-אויף-סאַפיר סאַבסטראַט איז אַ הויך-קוואַליטעט האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַל צוזאַמענגעשטעלט פון אַ גאַליום ניטריד (GaN) שיכט וואָס וואַקסט אויף אַ סאַפיר סאַבסטראַט. דאָס מאַטעריאַל אָפפערס ויסגעצייכנטע עלעקטראָנישע טראַנספּאָרט אייגנשאַפטן און איז ידעאַל פֿאַר דער פאַבריקאַציע פון הויך-מאַכט און הויך-פרעקווענץ האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס.
פּראָדוקציע מעטאָד
דער פאבריקאציע פראצעס באשטייט פון דעם עפּיטאַקסיאַלן וואוקס פון א GaN שיכט אויף א סאַפיר סאַבסטראַט ניצנדיק אַוואַנסירטע טעכניקן ווי מעטאַל-אָרגאַנישע כעמישע פארע דעפּאָזיציע (MOCVD) אדער מאָלעקולאַרע שטראַל עפּיטאַקסי (MBE). די דעפּאָזיציע ווערט דורכגעפירט אונטער קאָנטראָלירטע באַדינגונגען צו ענשור הויך קריסטאַל קוואַליטעט און פילם איינהייטלעכקייט.
אַפּליקאַציעס
דער 8-אינטש GaN-אויף-סאַפיר סאַבסטראַט געפינט ברייטע אַפּליקאַציעס אין פֿאַרשידענע פֿעלדער אַרייַנגערעכנט מייקראַווייוו קאָמוניקאַציע, ראַדאַר סיסטעמען, וויירלעס טעכנאָלאָגיע און אָפּטאָעלעקטראָניק. עטלעכע פון די געוויינטלעכע אַפּליקאַציעס אַרייַננעמען:
1. RF מאַכט אַמפּליפייערז
2. געפירט לייטינג אינדוסטריע
3. דראָטלאָזע נעץ קאָמוניקאַציע דעוויסעס
4. עלעקטראָנישע דעוויסעס פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור סביבות
5. Oפּטאָעלעקטראנישע דעוויסעס
פּראָדוקט ספּעציפֿיקאַציעס
-דימענסיע: די סאַבסטראַט גרייס איז 8 אינטשעס (200 מם) אין דיאַמעטער.
- ייבערפלאך קוואַליטעט: די ייבערפלאך איז פּאַלישט צו אַ הויך גראַד פון גלאַטקייט און ווייזט אַן אויסגעצייכנטע שפּיגל-ווי קוואַליטעט.
- גרעב: די GaN שיכט גרעב קען זיין קאַסטאַמייזד באזירט אויף ספּעציפיש באדערפענישן.
- פּאַקאַדזשינג: דער סאַבסטראַט איז קערפאַלי פּאַקידזשד אין אַנטי-סטאַטישע מאַטעריאַלן צו פאַרמייַדן שעדיקן בעשאַס טראַנספּאָרט.
- אָריענטאַציע פלאַך: די סאַבסטראַט האט אַ ספּעציפישע אָריענטאַציע פלאַך צו העלפֿן אין וועיפער אַליינמאַנט און האַנדלינג בעשאַס מיטל פאַבריקאַציע פּראָצעסן.
- אנדערע פאראמעטערס: די ספעציפיקס פון די גרעב, קעגנשטעל, און דאָפּאַנט קאָנצענטראַציע קענען זיין צוגעפּאַסט לויט קונה באדערפענישן.
מיט זיינע אויסגעצייכנטע מאַטעריאַל אייגנשאַפטן און ווערסאַטאַל אַפּלאַקיישאַנז, איז דער 8-אינטש GaN-אויף-סאַפיר סאַבסטראַט אַ פאַרלאָזלעך ברירה פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון הויך-פאָרשטעלונג האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס אין פאַרשידענע ינדאַסטריז.
חוץ GaN-אויף-סאַפייער, קענען מיר אויך אָנבאָטן אין דעם פעלד פון מאַכט דעווייס אַפּלאַקיישאַנז, די פּראָדוקט משפּחה כולל 8-אינטש AlGaN/GaN-אויף-Si עפּיטאַקסיאַל וועיפערס און 8-אינטש P-קאַפּ AlGaN/GaN-אויף-Si עפּיטאַקסיאַל וועיפערס. אין דער זעלביקער צייט, האָבן מיר ינאָווירט די אַפּלאַקיישאַן פון אונדזער אייגענע אַוואַנסירטע 8-אינטש GaN עפּיטאַקסי טעכנאָלאָגיע אין די מייקראַווייוו פעלד, און דעוועלאָפּעד אַ 8-אינטש AlGaN/GAN-אויף-HR Si עפּיטאַקסי וועיפער וואָס קאַמביינז הויך פאָרשטעלונג מיט גרויס גרייס, נידעריק קאָסטן און קאַמפּאַטאַבאַל מיט נאָרמאַל 8-אינטש דעווייס פּראַסעסינג. אין אַדישאַן צו סיליקאָן-באַזירט גאַליום ניטריד, האָבן מיר אויך אַ פּראָדוקט ליניע פון AlGaN/GaN-אויף-SiC עפּיטאַקסיאַל וועיפערס צו טרעפן קאַסטאַמערז 'דאַרפֿן פֿאַר סיליקאָן-באַזירט גאַליום ניטריד עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַלס.
דעטאַלירטע דיאַגראַמע

