150 מם 200 מם 6 אינטש 8 אינטש גאַן אויף סיליציום עפּי-שיכטע ווייפער גאַליום ניטרידע עפּיטאַקסיאַל ווייפער

קורץ באַשרייַבונג:

די 6-אינטש GaN Epi-שיכטע ווייפער איז אַ הויך-קוואַליטעט סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל קאַנסיסטינג פון לייַערס פון גאַליום ניטרידע (GaN) דערוואַקסן אויף אַ סיליציום סאַבסטרייט. דער מאַטעריאַל האט ויסגעצייכנט עלעקטראָניש אַריבערפירן פּראָפּערטיעס און איז ידעאַל פֿאַר מאַנופאַקטורינג הויך-מאַכט און הויך-אָפטקייַט סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.

שיקן E- בריוו צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

מאַנופאַקטורינג אופֿן

דער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס ינוואַלווז גראָוינג GaN לייַערס אויף אַ סאַפייער סאַבסטרייט ניצן אַוואַנסירטע טעקניקס אַזאַ ווי מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) אָדער מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE). די דעפּאַזישאַן פּראָצעס איז געפירט אויס אונטער קאַנטראָולד טנאָים צו ענשור הויך קריסטאַל קוואַליטעט און מונדיר פילם.

6-אינטש GaN-On-Sapphire אַפּלאַקיישאַנז: 6-אינטש סאַפייער סאַבסטרייט טשיפּס זענען וויידלי געניצט אין מייקראַווייוו קאָמוניקאַציע, ראַדאַר סיסטעמען, וויירליס טעכנאָלאָגיע און אָפּטאָילעקטראָניק.

עטלעכע פּראָסט אַפּלאַקיישאַנז אַרייַננעמען

1. רף מאַכט אַמפּלאַפייער

2. געפירט לייטינג אינדוסטריע

3. ווירעלעסס נעץ קאָמוניקאַציע ויסריכט

4. עלעקטראָניש דעוויסעס אין הויך טעמפּעראַטור סוויווע

5. אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס

פּראָדוקט ספּעסאַפאַקיישאַנז

- גרייס: די סאַבסטרייט דיאַמעטער איז 6 אינטשעס (וועגן 150 מם).

- ייבערפלאַך קוואַליטעט: די ייבערפלאַך איז פיינלי פּאַלישט צו צושטעלן ויסגעצייכנט שפּיגל קוואַליטעט.

- גרעב: די גרעב פון גאַן שיכטע קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו ספּעציפיש רעקווירעמענץ.

- פּאַקקאַגינג: די סאַבסטרייט איז קערפאַלי פּאַקט מיט אַנטי-סטאַטיק מאַטעריאַלס צו פאַרמייַדן שעדיקן בעשאַס טראַנספּערטיישאַן.

- פּאַזישאַנינג עדזשאַז: די סאַבסטרייט האט ספּעציפיש פּאַזישאַנינג עדזשאַז וואָס פאַסילאַטייט אַליינמאַנט און אָפּעראַציע בעשאַס די צוגרייטונג פון די מיטל.

- אנדערע פּאַראַמעטערס: ספּעציפיש פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי טינאַס, רעסיסטיוויטי און דאָפּינג קאַנסאַנטריישאַן קענען זיין אַדזשאַסטיד לויט צו קונה באדערפענישן.

מיט זייער העכער מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס און דייווערס אַפּלאַקיישאַנז, 6-אינטש סאַפייער סאַבסטרייט ווייפערז זענען אַ פאַרלאָזלעך ברירה פֿאַר די אַנטוויקלונג פון הויך-פאָרשטעלונג סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס אין פאַרשידן ינדאַסטריז.

סאַבסטרייט	6 "1 מם <111> פּ-טיפּ סי	6 "1 מם <111> פּ-טיפּ סי
Epi ThickAvg	~5ום	~7ום
Epi ThickUnif	<2%	<2%
בויגן	+/-45ום	+/-45ום
קראַקינג	<5 מם	<5 מם
ווערטיקאַל בוו	>1000וו	>1400וו
העמט אל%	25-35%	25-35%
HEMT ThickAvg	20-30nm	20-30nm
Insitu SiN Cap	5-60nm	5-60nm
2DEG קאָנס.	~10¹³cm^-2	~10¹³cm^-2
מאָביליטי	~2000קם²/Vs (<2%)	~2000קם²/Vs (<2%)
רש	<330 אָום / סק (<2%)	<330 אָום / סק (<2%)