אולטרא-פּרעציציע SiC לופט-לאַגער בינע

אולטרא-פּרעציציע SiC לופט-בערינג בינע Featured Image

קורצע באַשרייַבונג:

מיט דער קאנטינעווער עוואלוציע פון דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, פאָדערן פּראַסעסינג און דורכקוק עקוויפּמענט שטענדיק העכערע פאָרשטעלונג. בויענדיק אויף ברייטער עקספּערטיז אין באַוועגונג קאָנטראָל און נאַנאָמעטער-לעוועל פּאַזישאַנינג, האָבן מיר דעוועלאָפּעד אַ פּלאַנאַר H-טיפּ צוויי-אַקסיס אולטראַ-פּרעציציע לופט-לאַגער בינע.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

איבערבליק

אינזשענירט מיט אַ ענדלעך-עלעמענט-אָפּטימיזירטער סיליקאָן קאַרבייד (SiC) קעראַמישער סטרוקטור און קאָמפּענסירטער לופט-בערינג טעכנאָלאָגיע, גיט די בינע אויסגעצייכנטע אַקיעראַסי, שטייפקייט און דינאַמישע רעאַקציע. עס איז ידעאַל פּאַסיק פֿאַר:

האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַסעסינג און דורכקוק
מיקראָ/נאַנאָ פאַבריקאַציע און מעטראָלאָגיע
נאַנאָמעטער-וואָג פליגן-שניידן און פּאָלירן
הויך-גיכקייט פּרעציזיע סקאַנינג

שליסל פֿעיִקייטן

SiC לופט-טראגנדיקע גיידוועיפֿאַר גאָר הויכע שטייפקייט און פּינקטלעכקייט
הויכע דינאַמיקגיכקייט ביז 1 מעטער/סעקונדע, פארגיכערונג ביז 4 גראַם, שנעלע זעצונג
צוויי-פאָר גאַנטרי Y-אַקסזיכערט הויך לאַסט קאַפּאַציטעט און פעסטקייט
ענקאָדער אָפּציעסאָפּטישער גראַטינג אָדער לאַזער ינטערפעראָמעטער
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי: ±0.15 מיקראָמעטער;איבערחזרנדיקייט: ±75 נאַנאָמעטער
אָפּטימיזירטע קאַבל רוטינגפֿאַר אַ ריינעם פּלאַן און לאַנג-טערמין פאַרלאָזלעכקייט
קאַסטאַמייזאַבאַל קאָנפיגוראַציעספֿאַר אַפּליקאַציע-ספּעציפֿישע באַדערפֿנישן

אולטרא-פּרעציציע פּלאַן און דירעקט-דרייוו, ניט-קאָנטאַקט אַרכיטעקטור

SiC קעראַמיש ראַם~5× די שטייפקייט פון אַלומינום צומיש און ~5× נידעריקער טערמישע יקספּאַנשאַן, וואָס ענשורז הויך-גיכקייַט פעסטקייט און טערמישע ראָובאַסטנאַס.
קאָמפּענסירטע לופט-לאַגערינגפּראַפּריעטאַרי פּלאַן פֿאַרבעסערט שטייפקייט, לאַסט קאַפּאַציטעט און באַוועגונג פעסטקייט.
דינאַמישע פאָרשטעלונגשטיצט 1 מעטער/סעקונדע גיכקייט און 4 ג אַקסעלעראַציע, ידעאַל פֿאַר הויך-דורכפיר פּראָצעסן.
נאָטלאָזע אינטעגראַציעקאָמפּאַטיבל מיט ווייבריישאַן איזאָלאַציע סיסטעמען, ראָטאַרי סטאַגעס, טילט מאָדולן, און וועיפער האַנדלינג פּלאַטפאָרמעס.
קאַבל פאַרוואַלטונגקאָנטראָלירטער בענדינג ראַדיוס מינימיזירט דרוק פֿאַר אַ פאַרלענגערט לעבן.

קאָרלעסס לינעאַר מאָטאָרגלאַטע באַוועגונג מיט נול קאָגינג קראַפט.
מולטי-מאָטאָר דרייוולאָוד-פּלאַן מאָטאָר פּלייסמאַנט פֿאַרבעסערט גראָדקייט, פלאַכקייט און ווינקלדיקע פּינקטלעכקייט.
טערמישע איזאָלאַציעמאָטאָרן זענען אפגעזונדערט פון דער בינע סטרוקטור; אפציאָנעל לופט אָדער וואַסער קילונג פֿאַר הויך-פליכט סייקאַלז.

ספּעציפֿיקאַציעס

מאָדעל	400-400	500-500	600-600
אַקסעס	X (סקען) / Y (טרעט)	X (סקען) / Y (טרעט)	X (סקען) / Y (טרעט)
רייזע (מם)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
גענויקייט (μm)	±0.15	±0.2	±0.2
איבערחזרנדיקייט (נ"מ)	±75	±100	±100
רעזאָלוציע (נ״מ)	0.3	0.3	0.3
מאַקסימום גיכקייט (מ/ס)	1	1	1
אַקסעלעראַציע (g)	4	4	4
גלייכקייט (μm)	±0.2	±0.3	±0.4
פעסטקייט (נ״מ)	±5	±5	±5
מאַקס לאָוד (קג)	20	20	20
פּיטש/ראָול/יאַו (אַרק-סעק)	±1	±1	±1

טעסט באדינגונגען:

לופט צושטעל: ריין, טרוקן; טוי פונקט ≤ 0°F; פּאַרטיקל פילטראַציע ≤ 0.25 μm; אדער 99.99% שטיקשטאָף.
גענויקייט געמאָסטן 25 מ״מ העכער דעם צענטער פון דער בינע ביי 20±1 °C, 40–60% RH.

אַפּליקאַציעס

האַלב-קאָנדוקטאָר ליטאָגראַפֿיע, דורכקוק, און וועיפֿער האַנדלינג
מיקראָ/נאַנאָ פאַבריקאַציע און פּרעציזיע מעטראָלאָגיע
הויך-ענד אָפּטיק פּראָדוקציע און ינטערפעראָמעטריע
לופטפארט און פארגעשריטענע וויסנשאפטלעכע פארשונג

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס – סיליקאָן קאַרבייד לופֿט-לאַגער בינע

1. וואָס איז אַ לופט-טראָגנדיקע בינע?

א לופט-טראגנדיקע בינע ניצט א דין פילם פון דרוק-לופט צווישן דער בינע און גיידוועי צו צושטעלןרייבונגלאָז, טראָגן-פֿרײַ, און גאָר גלאַט באַוועגונגאנדערש ווי קאַנווענשאַנעלע מעכאַנישע לאַגערן, עלימינירט עס שטעקן-גליטש, גיט נאַנאָמעטער-לעוועל אַקיעראַסי, און שטיצט לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי.

2. פארוואס ניצן סיליקאן קארבייד (SiC) פאר דער בינע סטרוקטור?

הויכע שטייפקייט~5× יענע פון אַלומינום צומיש, מינימיזירנדיק דעפאָרמאַציע בעת דינאַמישע באַוועגונג.
נידעריקע טערמישע עקספּאַנשאַן~5× נידעריגער ווי אַלומינום, וואָס האַלט די אַקיעראַסי אונטער טעמפּעראַטור וועריאַציעס.
לייכטנידעריקערע געדיכטקייט קאַמפּערד צו שטאָל, וואָס ערמעגליכט הויך-גיכקייט און הויך-אַקסעלעראַציע אָפּעראַציע.
אויסגעצייכנטע סטאַביליטעטהעכערע דעמפינג און שטייפקייט פֿאַר אולטראַ-פּינקטלעכער פּאַזישאַנינג.

3. דארף די בינע לובריקאציע אדער אויפהאלטונג?

קיין טראדיציאנעלע לובריקאציע איז נישט נויטיג ווייל עס איז דאקיין מעכאנישע קאָנטאַקטרעקאָמענדירטע וישאַלט כולל:

צושטעלןריינע, טרוקענע קאמפרעסט לופט אדער שטיקשטאָף
פּעריִאָדישע דורכקוק פון פֿילטערס און טריקענערס
מאָניטאָרינג קייבאַלז און קאָאָלינג סיסטעמען

4. וואָס זענען די לופט צושטעל באדערפענישן?

טוי פונקט: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
פּאַרטיקל פילטראַציע: ≤ 0.25 מיקראָמעטער
ריינע, טרוקענע לופט אדער 99.99% ריין שטיקשטאָף
סטאַביל דרוק מיט מינימאַל פלוקטואַציע

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.