טי/קופּער מעטאַל-באדעקטע סיליקאָן וועיפער (טיטאַניום/קופּער)

קורצע באַשרייַבונג:

אונדזערטי/קופּער מעטאַל-באדעקטע סיליקאָן וועיפערסהאָבן אַ הויך-קוואַליטעט סיליקאָן (אָדער אָפּציאָנעל גלאָז/קוואַרץ) סאַבסטראַט באדעקט מיט אַטיטאַניום אַדכיזשאַן שיכטאון אַקופּער קאַנדאַקטיוו שיכטניצןנאָרמאַל מאַגנעטראָן ספּאַטערינגדי טיטניום צווישן-שיכט פֿאַרבעסערט באַדייטנד די אַדכיזשאַן און פּראָצעס פעסטקייט, בשעת די קופּער אויבערשטע שיכט אָפפערט אַ נידעריק-קעגנשטעל, מונדיר ייבערפלאַך ידעאַל פֿאַר עלעקטרישע ינטערפייסינג און דאַונסטרים מיקראָפאַבריקיישאַן.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

טי/קופּער מעטאַל-באדעקטע סיליקאָן וועיפער (טיטאַניום/קופּער)6

איבערבליק

דיזיינד פֿאַר ביידע פאָרשונג און פּילאָט-וואָג אַפּלאַקיישאַנז, די וועיפערז זענען בנימצא אין קייפל סיזעס און קעגנשטעל ראַנגעס, מיט פלעקסאַבאַל קאַסטאַמייזיישאַן פֿאַר גרעב, סאַבסטראַט טיפּ, און קאָוטינג קאַנפיגיעריישאַן.

שליסל פֿעיִקייטן

שטאַרקע אַדכיזשאַן און פאַרלאָזלעכקייטטי-דזשין בונד שיכט פֿאַרבעסערט פֿילם אַדכירענס צו סי/סי-אָ₂ און פֿאַרבעסערט האַנדלינג ראָובאַסטנאַס
הויך קאַנדאַקטיוויטי ייבערפלאַךקופּער קאָוטינג גיט ויסגעצייכנטע עלעקטרישע פאָרשטעלונג פֿאַר קאָנטאַקטן און טעסט סטרוקטורן
ברייטע קאַסטאַמייזיישאַן קייטוועיפער גרייס, קעגנשטאנד, אריענטאציע, סאַבסטראַט גרעב, און פילם גרעב בנימצא אויף בעטן
פּראָצעס-גרייט סאַבסטראַטןקאָמפּאַטיבל מיט געוויינטלעכע לאַבאָראַטאָריע און פאַבריק וואָרקפלאָוז (ליטאָגראַפי, עלעקטראָפּלייטינג בילד-אַפּ, מעטראָלאָגיע, אאז"ו ו)
מאַטעריאַל סעריע בנימצאחוץ טיאַניום/קופּער, פאָרשלאָגן מיר אויך אַו, פּט, אַל, ניקל, אַג מעטאַל-באדעקטע וועיפערס.

טיפּישע סטרוקטור און דעפּאָזיציע

שטאַפּלסאַבסטראַט + טי אַדהעזשאַן שיכט + קופּער קאָוטינג שיכט
נאָרמאַל פּראָצעסמאַגנעטראָן ספּאַטערינג
אפציאָנעלע פּראָצעסןטערמישע פארדאַמפּונג / עלעקטראָפּלייטינג (פֿאַר דיקערע קופּער באדערפענישן)

מעכאנישע אייגנשאפטן פון קוואַרץ גלאָז

אייטעם	אָפּציעס
וואַפער גרייס	2", 4", 6", 8"; 10×10 מ"מ; אייגענע גרייסן צו שניידן
קאַנדאַקטיוויטי טיפּ	פּ-טיפּ / נ-טיפּ / אינטרינסיש הויך-קעגנשטעל (אומ)
אָריענטאַציע	<100>, <111>, א.א.וו.
קעגנשטאנד	<0.0015 Ω·קם; 1-10 Ω·קם; >1000–10000 Ω·קם
גרעב (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; אויף באַשטעלונג
סאַבסטראַט מאַטעריאַלן	סיליקאָן; אָפּציאָנעל קוואַרץ, BF33 גלאז, עטק.
פילם גרעב	10 נאַנאָמעטער / 50 נאַנאָמעטער / 100 נאַנאָמעטער / 150 נאַנאָמעטער / 300 נאַנאָמעטער / 500 נאַנאָמעטער / 1 מיקראָמעטער (קאַסטאַמייזאַבאַל)
מעטאַל פילם אָפּציעס	טי/קו; אויך Au, Pt, Al, Ni, Ag בנימצא

טי/קופּער מעטאַל-באדעקטע סיליקאָן וועיפער (טיטאַניום/קופּער)4

אַפּליקאַציעס

אָהמישע קאָנטאַקט און קאַנדאַקטיווע סאַבסטראַטןפֿאַר דעווייס ר&ד און עלעקטרישע טעסטינג
זוימען לייַערס פֿאַר עלעקטראָפּלייטינג(RDL, MEMS סטרוקטורן, דיקע קופּער אויפבוי)
סאָל-געל און נאַנאָמאַטעריאַל וווּקס סאַבסטראַטןפֿאַר נאַנאָ און דין-פילם פאָרשונג
מיקראָסקאָפּיע און ייבערפלאַך מעטראָלאָגיע(SEM/AFM/SPM מוסטער צוגרייטונג און מעסטונג)
ביאָ/כעמישע סערפאַסיזאַזאַ ווי צעל קולטור פּלאַטפאָרמעס, פּראָטעין/דנאַ מיקראָרעיז, און רעפלעקטאָמעטרי סאַבסטראַטן

FAQ (טי / קו מעטאַל-קאָוטאַד סיליציום וואַפערס)

פ1: פארוואס ווערט א טיטניום שיכט גענוצט אונטער דער קופּער באַדעקונג?
א: טיטאניום ארבעט ווי אאַדכיזשאַן (בונדינג) שיכט, פֿאַרבעסערן די אַטאַטשמענט פֿון קופּער צום סאַבסטראַט און פֿאַרשטאַרקן די אינטערפֿייס סטאַביליטעט, וואָס העלפֿט רעדוצירן שאָלעכץ אָדער דעלאַמינאַציע בעת האַנדלינג און פּראַסעסינג.

פ2: וואָס איז די טיפּישע טי/קופּער גרעב קאָנפיגוראַציע?
א: געוויינטלעכע קאָמבינאַציעס אַרייַננעמעןטי: צענדליקער נאַנאָמעטער (למשל, 10–50 נאַנאָמעטער)אוןקופּער: 50–300 נאַנאָמעטערפֿאַר געשפּריצטע פֿילמען. דיקערע קופּער שיכטן (µm-לעוועל) ווערן אָפֿט דערגרייכט דורךעלעקטראָפּלייטינג אויף אַ ספּאַטערד קופּער זוימען שיכט, דיפּענדינג אויף דיין אַפּלאַקיישאַן.

ק3: קענט איר באַדעקן ביידע זייטן פון די וועיפער?
א: יא.איין-זייטיקע אדער צוויי-זייטיקע באַדעקונגאיז בנימצא אויף פארלאנג. ביטע ספעציפיצירן אייערע באדערפענישן ווען איר באשטעלט.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.