סיאָ2 דין פילם טערמאַל אַקסייד סיליציום ווייפער 4 אינטש 6 אינטש 8 אינטש 12 אינטש

דער הויפּט פּראָצעס פון מאַנופאַקטורינג אַקסאַדייזד סיליציום ווייפערז יוזשאַוואַלי כולל די פאלגענדע סטעפּס: מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום גראָוט, קאַטינג אין ווייפערז, פּאַלישינג, רייניקונג און אַקסאַדיישאַן.

מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום גראָוט: ערשטער, מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום איז דערוואַקסן ביי הויך טעמפּעראַטורעס דורך מעטהאָדס אַזאַ ווי די Czochralski אופֿן אָדער די פלאָוט-זאָנע אופֿן. דעם אופֿן ינייבאַלז די צוגרייטונג פון סיליציום איין קריסטאַלז מיט הויך ריינקייַט און לאַטאַס אָרנטלעכקייַט.

דיסינג: די דערוואַקסן מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום איז יוזשאַוואַלי אין אַ סילינדריקאַל פאָרעם און דאַרף זיין שנייַדן אין דין ווייפערז צו זיין געוויינט ווי אַ ווייפער סאַבסטרייט. קאַטינג איז יוזשאַוואַלי געטאן מיט אַ דימענט קאַטער.

פּאַלישינג: די ייבערפלאַך פון די שנייַדן ווייפער קען זיין אַניוואַן און ריקווייערז כעמישער-מעטשאַניקאַל פּאַלישינג צו באַקומען אַ גלאַט ייבערפלאַך.

רייניקונג: די פּאַלישט ווייפער איז קלינד צו באַזייַטיקן ימפּיוראַטיז און שטויב.

אַקסאַדייזינג: לעסאָף, די סיליציום ווייפערז זענען שטעלן אין אַ הויך-טעמפּעראַטור אויוון פֿאַר אַקסאַדייזינג באַהאַנדלונג צו פאָרעם אַ פּראַטעקטיוו שיכטע פון ​​סיליציום דייאַקסייד צו פֿאַרבעסערן זייַן עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס און מעטשאַניקאַל שטאַרקייט, ווי געזונט ווי צו דינען ווי אַ ינסאַלייטינג שיכטע אין ינאַגרייטיד סערקאַץ.

די הויפּט ניצט פון אַקסאַדייזד סיליציום ווייפערז אַרייַננעמען די פּראָדוצירן פון ינאַגרייטיד סערקאַץ, די פּראָדוצירן פון זונ - סעלז און די פּראָדוצירן פון אנדערע עלעקטראָניש דעוויסעס. סיליציום אַקסייד ווייפערז זענען וויידלי געניצט אין די פעלד פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס ווייַל פון זייער ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס, דימענשאַנאַל און כעמישער פעסטקייַט, פיייקייט צו אַרבעטן אין הויך טעמפּעראַטורעס און הויך פּרעשערז, ווי געזונט ווי גוט ינסאַלייטינג און אָפּטיש פּראָפּערטיעס.

זייַן אַדוואַנטידזשיז אַרייַננעמען אַ גאַנץ קריסטאַל סטרוקטור, ריין כעמישער זאַץ, גענוי דימענשאַנז, גוט מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס, אאז"ו ו. די פֿעיִקייטן מאַכן סיליציום אַקסייד ווייפערז ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר די פּראָדוצירן פון הויך-פאָרשטעלונג ינאַגרייטיד סערקאַץ און אנדערע מיקראָעלעקטראָניק דעוויסעס.