סיליקאָן קאַרבייד דיאַמאָנט דראָט קאַטינג מאַשין 4/6/8/12 אינטש סיק ינגאָט פּראַסעסינג

סיליקאָן קאַרבייד דיאַמאָנט דראָט קאַטינג מאַשין 4/6/8/12 אינטש SiC ינגאָט פּראַסעסינג Featured Image

קורצע באַשרייַבונג:

סיליקאָן קאַרבייד דיאַמאָנט דראָט שנייד מאַשין איז אַ סאָרט הויך-פּינקטלעכקייט פּראַסעסינג עקוויפּמענט דעדאַקייטאַד צו סיליקאָן קאַרבייד (SiC) ינגאָט סלייסיז, ניצן דיאַמאָנט דראָט זעג טעכנאָלאָגיע, דורך הויך-גיכקייַט מאָווינג דיאַמאָנט דראָט (ליניע דיאַמעטער 0.1~0.3 מם) צו SiC ינגאָט מולטי-דראָט קאַטינג, צו דערגרייכן הויך-פּינקטלעכקייט, נידעריק-שאָדן וועיפער צוגרייטונג. די עקוויפּמענט איז וויידלי געניצט אין SiC מאַכט האַלב-קאָנדוקטאָר (MOSFET/SBD), ראַדיאָ אָפטקייַט דעוויסעס (GaN-on-SiC) און אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס סאַבסטראַט פּראַסעסינג, איז אַ שליסל עקוויפּמענט אין די SiC אינדוסטריע קייט.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

אַרבעט פּרינציפּ:

1. שטיינער פֿיקסאַציע: SiC שטיינער (4H/6H-SiC) ווערט פֿיקסירט אויף דער שנייד־פּלאַטפֿאָרמע דורך דער פֿיקסטשור צו זיכער מאַכן די פּאָזיציע־גענויקייט (±0.02 מ״מ).

2. דימענט ליניע באַוועגונג: דימענט ליניע (עלעקטראָפּלייטאַד דימענט פּאַרטיקאַלז אויף דער ייבערפלאַך) איז געטריבן דורך די פירער ראָד סיסטעם פֿאַר הויך-גיכקייַט סערקולאַציע (ליניע גיכקייַט 10 ~ 30 עם / s).

3. שנייד-פיטער: די שטיינער ווערן געפיטערט אין דער באַשטימטער ריכטונג, און די דימענט ליניע ווערט געשניטן סיימאַלטייניאַסלי מיט קייפל פּאַראַלעלע ליניעס (100~500 ליניעס) צו פאָרעם קייפל וועיפערס.

4. קילן און שפּאָן באַזייַטיקונג: שפּריצן קילמאַטעריאַל (דעיאָניזירט וואַסער + אַדאַטיווז) אין די שנייד געגנט צו רעדוצירן היץ שעדיקן און באַזייַטיקונג שפּאָן.

שליסל פּאַראַמעטערס:

1. שנייד גיכקייט: 0.2~1.0 מם/מין (אפהענגיק פון די קריסטאַל ריכטונג און גרעב פון SiC).

2. ליניע שפּאַנונג: 20~50N (צו הויך גרינג צו ברעכן ליניע, צו נידעריק אַפעקט קאַטינג אַקיעראַסי).

3. וועיפער גרעב: סטאַנדאַרט 350~500μm, וועיפער קען דערגרייכן 100μm.

הויפּט פֿעיִקייטן:

(1) שנייד-גענויקייט
גרעב טאָלעראַנץ: ±5μm (@350μm וועיפער), בעסער ווי קאַנווענשאַנאַל מאָרטער קאַטינג (±20μm).

ייבערפלאַך ראַפנאַס: ראַ <0.5μm (קיין נאָך שלייפן פארלאנגט צו רעדוצירן די סומע פון סייַדער פּראַסעסינג).

וואָרפּאַדזש: <10μm (רעדוצירן די שוועריקייט פון ווייטערדיק פּאָלירן).

(2) פּראַסעסינג עפעקטיווקייט
מולטי-ליניע שניידן: שניידן 100~500 שטיקלעך אין א צייט, פארגרעסערן די פראדוקציע קאפאציטעט 3~5 מאל (קעגן איין-ליניע שניידן).

ליניע לעבן: די דימענט ליניע קען שניידן 100~300 קילאָמעטער SiC (דעפּענדינג אויף די ינגאָט כאַרדנאַס און פּראָצעס אָפּטימיזאַציע).

(3) נידעריק-שאָדן פּראַסעסינג
ברעג ברייקידזש: <15μm (טראדיציאנעל שניידן >50μm), פֿאַרבעסערן די וועיפער טראָגן.

אונטערערדישע שאדן שיכט: <5μm (רעדוצירן פּאָלירינג באַזייַטיקונג).

(4) סביבה שוץ און עקאנאמיע
קיין מאָרטער קאַנטאַמאַניישאַן: רידוסט וויסט פליסיק באַזייַטיקונג קאָס קאַמפּערד צו מאָרטער קאַטינג.

מאַטעריאַל נוצן: שניידנדיקע פארלוסט <100μm/ קאַטער, שפּאָרן SiC רוי מאַטעריאַלן.

שניידנדיקע ווירקונג:

1. ווייפער קוואַליטעט: קיין מאַקראָסקאָפּישע ריסן אויף דער ייבערפלאַך, ווייניק מיקראָסקאָפּישע חסרונות (קאָנטראָלירבאַרע דיסלאָקאַציע פאַרלענגערונג). קען גלייך אַרייַן די גראָבע פּאָלירינג לינק, פאַרקירצן דעם פּראָצעס לויפן.

2. קאָנסיסטענסי: די גרעב אָפּנייגונג פון די ווייפער אין די פּעקל איז <±3%, פּאַסיק פֿאַר אָטאַמייטיד פּראָדוקציע.

3. אַפּליקאַביליטי: שטיצן 4H/6H-SiC ינגאָט קאַטינג, קאַמפּאַטאַבאַל מיט קאַנדאַקטיוו/האַלב-ינסאַלייטיד טיפּ.

טעכנישע ספּעציפֿיקאַציע:

ספּעציפֿיקאַציע	דעטאַלן
דימענסיעס (L × B × H)	2500x2300x2500 אדער קאַסטאַמייז
פּראַסעסינג מאַטעריאַל גרייס קייט	4, 6, 8, 10, 12 אינטשעס פון סיליקאָן קאַרבייד
ייבערפלאַך ראַפנאַס	ראַ≤0.3u
דורכשניטלעכע שנייד-געשווינדיקייט	0.3 מ״מ/מינוט
וואָג	5.5 טאָן
קאַטינג פּראָצעס באַשטעטיקן סטעפּס	≤30 טריט
עקוויפּמענט ראַש	≤80 דציבל
שטאָל דראָט שפּאַנונג	0~110N (0.25 דראָט שפּאַנונג איז 45N)
שטאָל דראָט גיכקייט	0~30 מעטער/סעקונדע
גאַנץ מאַכט	50 קוו
דימענט דראָט דיאַמעטער	≥0.18 מ״מ
ענד פלאַכקייט	≤0.05 מם
שנייד און ברייקינג קורס	≤1% (אחוץ פֿאַר מענטשלעכע סיבות, סיליקאָן מאַטעריאַל, ליניע, וישאַלט און אנדערע סיבות)

XKH סערוויסעס:

XKH גיט דעם גאנצן פּראָצעס סערוויס פון סיליקאָן קאַרבייד דיאַמאָנט דראָט שנייד מאַשין, אַרייַנגערעכנט ויסריכט סעלעקציע (דראָט דיאַמעטער/דראָט גיכקייט גלייַכן), פּראָצעס אַנטוויקלונג (שניידן פּאַראַמעטער אָפּטימיזאַציע), קאָנסומאַבלעס צושטעלן (דיאַמאָנט דראָט, גייד ראָד) און נאָך-פאַרקויף שטיצן (ויסריכט וישאַלט, שנייד קוואַליטעט אַנאַליסיס), צו העלפֿן קאַסטאַמערז דערגרייכן הויך טראָגן (>95%), נידעריק קאָסטן SiC וועיפער מאַסע פּראָדוקציע. עס אויך אָפפערס קאַסטאַמייזד אַפּגריידז (אַזאַ ווי אַלטראַ-דין קאַטינג, אָטאַמייטיד לאָודינג און אַנלאָודינג) מיט אַ 4-8 וואָך פירן צייט.