סיליציום קאַרבידע דימענט דראָט קאַטינג מאַשין 4/6/8/12 אינטש סיק ינגגאַט פּראַסעסינג

קורץ באַשרייַבונג:

סיליציום קאַרבידע דימענט ווירע קאַטינג מאַשין איז אַ סאָרט פון הויך-פּינטלעכקייַט פּראַסעסינג עקוויפּמענט דעדאַקייטאַד צו סיליציום קאַרבידע (סיק) ינגגאַט רעפטל, ניצן דיאַמאָנד ווירע סאָ טעכנאָלאָגיע, דורך הויך-גיכקייַט מאָווינג דימענט דראָט (שורה דיאַמעטער 0.1 ~ 0.3 מם) צו סיק ינגגאַט מולטי-דראָט קאַטינג, צו דערגרייכן הויך-פּינטלעכקייַט ווייפער צוגרייטונג, נידעריק-דאַמאַגעס צוגרייטונג. די עקוויפּמענט איז וויידלי געניצט אין SiC מאַכט סעמיקאַנדאַקטער (MOSFET / SBD), ראַדיאָ אָפטקייַט מיטל (GaN-on-SiC) און אָפּטאָעלעקטראָניק מיטל סאַבסטרייט פּראַסעסינג, איז אַ שליסל עקוויפּמענט אין די SiC אינדוסטריע קייט.

שיקן בליצפּאָסט צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

אַרבעט פּרינציפּ:

1. ינגגאָט פיקסיישאַן: סיק ינגגאַט (4ה / 6ה-סיק) איז פאַרפעסטיקט אויף די קאַטינג פּלאַטפאָרמע דורך די ייַנאָרדענונג צו ענשור די שטעלע אַקיעראַסי (± 0.02מם).

2. דימענט שורה באַוועגונג: דימענט שורה (ילעקטראָופּלייטיד דימענט פּאַרטיקאַלז אויף די ייבערפלאַך) איז געטריבן דורך די פירן ראָד סיסטעם פֿאַר הויך-גיכקייַט סערקיאַליישאַן (שורה גיכקייַט 10 ~ 30 ם / s).

3. קאַטינג פיטער: די ינגגאַט איז פאסטעכער צוזאמען די שטעלן ריכטונג, און די דימענט שורה איז שנייַדן סיימאַלטייניאַסלי מיט קייפל פּאַראַלעל שורות (100 ~ 500 שורות) צו פאָרעם קייפל ווייפערז.

4. קאָאָלינג און שפּאָן באַזייַטיקונג: שפּריץ קולאַנט (דייאָניזעד וואַסער + אַדאַטיווז) אין די קאַטינג געגנט צו רעדוצירן היץ שעדיקן און באַזייַטיקן טשיפּס.

שליסל פּאַראַמעטערס:

1. קאַטינג גיכקייַט: 0.2 ~ 1.0 מם / מין (דיפּענדינג אויף די קריסטאַל ריכטונג און גרעב פון סיק).

2. שורה שפּאַנונג: 20 ~ 50N (צו הויך גרינג צו ברעכן שורה, אויך נידעריק ווירקן קאַטינג אַקיעראַסי).

3.ווייפער גרעב: נאָרמאַל 350~500μם, ווייפער קענען דערגרייכן 100μם.

הויפּט פֿעיִקייטן:

(1) קאַטינג אַקיעראַסי
גרעב טאָלעראַנץ: ± 5μם (@350μם ווייפער), בעסער ווי קאַנווענשאַנאַל מאָרטער קאַטינג (± 20μם).

ייבערפלאַך ראַפנאַס: ראַ <0.5μם (קיין נאָך גרינדינג פארלאנגט צו רעדוצירן די סומע פון סאַבסאַקוואַנט פּראַסעסינג).

וואַרפּאַגע: <10μם (פאַרמינערן די שוועריקייט פון סאַבסאַקוואַנט פּאַלישינג).

(2) פּראַסעסינג עפעקטיווקייַט
מולטי-שורה קאַטינג: קאַטינג 100 ~ 500 ברעקלעך אין אַ צייַט, ינקריסינג פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט 3 ~ 5 מאל (ווס איין שורה שנייַדן).

שורה לעבן: די דימענט שורה קענען שנייַדן 100 ~ 300 קילאמעטער סיק (דיפּענדינג אויף די כאַרדנאַס פון די ינגגאַט און פּראָצעס אַפּטאַמאַזיישאַן).

(3) נידעריק שעדיקן פּראַסעסינג
ברעג ברייקידזש: <15μם (טראַדיציאָנעל קאַטינג>50μם), פֿאַרבעסערן די ווייפער טראָגן.

ונטערערד שעדיקן שיכטע: <5μם (פאַרמינערן פּאַלישינג באַזייַטיקונג).

(4) ענוויראָנמענטאַל שוץ און עקאנאמיע
קיין מאָרטער קאַנטאַמאַניישאַן: רידוסט וויסט פליסיק באַזייַטיקונג קאָס קאַמפּערד מיט מאָרטער קאַטינג.

מאַטעריאַל יוטאַלאַזיישאַן: קאַטינג אָנווער <100μם / צושנייַדער, שפּאָרן סיק רוי מאַטעריאַלס.

קאַטינג ווירקונג:

1. וואַפער קוואַליטעט: קיין מאַקראָסקאָפּיק קראַקס אויף די ייבערפלאַך, ווייניק מיקראָסקאָפּיק חסרונות (קאַנטראָולאַבאַל דיסלאָוקיישאַן פאַרלענגערונג). קענען גלייַך אַרייַן די פּראָסט פּאַלישינג לינק, פאַרקירצן די פּראָצעס לויפן.

2. קאָנסיסטענסי: די גרעב דיווייישאַן פון די ווייפער אין די פּעקל איז <± 3%, פּאַסיק פֿאַר אָטאַמייטיד פּראָדוקציע.

3.אַפּפּליקאַביליטי: שטיצן 4ה / 6ה-סיק ינגגאָט קאַטינג, קאַמפּאַטאַבאַל מיט קאַנדאַקטיוו / האַלב-ינסאַלייטיד טיפּ.

טעכניש ספּעסאַפאַקיישאַנז:

באַשרייַבונג	דעטאַילס
דימענסיעס (ל × ד × ה)	2500x2300x2500 אָדער קאַסטאַמייז
פּראַסעסינג מאַטעריאַל גרייס קייט	4, 6, 8, 10, 12 אינטשעס פון סיליציום קאַרבידע
ייבערפלאַך ראַפנאַס	Ra≤0.3u
דורכשניטלעך קאַטינג גיכקייַט	0.3 מם / מין
וואָג	5.5ט
קאַטינג פּראָצעס באַשטעטיקן סטעפּס	≤30 טריט
עקוויפּמענט ראַש	≤80 דב
שטאָל דראָט שפּאַנונג	0~110N (0.25 דראָט שפּאַנונג איז 45N)
שטאָל דראָט גיכקייַט	0~30m/S
גאַנץ מאַכט	50kw
דיאַמעטער דראָט	≥0.18מם
סוף פלאַטנאַס	≤0.05מם
קאַטינג און ברייקינג קורס	≤1% (אַחוץ פֿאַר מענטשלעך סיבות, סיליציום מאַטעריאַל, שורה, וישאַלט און אנדערע סיבות)

XKH באַדינונגס:

XKH פּראָווידעס די גאנצע פּראָצעס דינסט פון סיליציום קאַרבידע דימענט דראָט קאַטינג מאַשין, אַרייַנגערעכנט ויסריכט סעלעקציע (דראָט דיאַמעטער / דראָט גיכקייַט וואָס ריכטן), פּראָצעס אַנטוויקלונג (קאַטינג פּאַראַמעטער אַפּטאַמאַזיישאַן), קאָנסומאַבלעס צושטעלן (דימענט דראָט, פירן ראָד) און נאָך-סאַלעס שטיצן (עקוויפּמענט וישאַלט, קאַטינג קוואַליטעט אַנאַליסיס), צו העלפן קאַסטאַמערז דערגרייכן הויך טראָגן (>95%), נידעריק פּראָדוקציע סיק וואַפער. עס אויך אָפפערס קאַסטאַמייזד אַפּגריידז (אַזאַ ווי הינטער-דין קאַטינג, אָטאַמייטיד לאָודינג און אַנלאָודינג) מיט אַ פירן צייט פון 4-8 וואָכן.