סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טאַץ סאַקער סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רער צושטעלן הויך טעמפּעראַטור סינטערינג מנהג פּראַסעסינג
הויפּט פֿעיִקייטן:
1. סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טאַץ
- הויכע כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל: די כאַרדנאַס איז נאָענט צו דימענט, און קען וויטשטיין מעטשאַניקאַל טראָגן אין וועיפער פּראַסעסינג פֿאַר אַ לאַנג צייט.
- הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און נידעריק טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט: שנעל היץ דיסיפּיישאַן און דימענשאַנאַל פעסטקייַט, אַוווידינג דעפאָרמאַציע געפֿירט דורך טערמישע דרוק.
- הויכע פלאַכקייט און ייבערפלאַך ענדיקונג: די ייבערפלאַך פלאַכקייט איז ביזן מיקראָן לעוועל, וואָס גאַראַנטירט פולן קאָנטאַקט צווישן דעם וועיפער און דעם דיסק, און רעדוצירט קאַנטאַמאַניישאַן און שאָדן.
כעמישע פעסטקייט: שטאַרקע קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פּאַסיק פֿאַר נאַס רייניקונג און עטשינג פּראַסעסאַז אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג.
2. סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רער
- הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל: עס קען אַרבעטן אין הויך טעמפּעראַטור סוויווע העכער 1600°C פֿאַר אַ לאַנג צייט, פּאַסיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר הויך טעמפּעראַטור פּראָצעס.
אויסגעצייכנטע קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קעגנשטעליק צו זויערן, אַלקאַליס און אַ פאַרשיידנקייט פון כעמישע סאָלוואַנץ, פּאַסיק פֿאַר האַרב פּראָצעס ינווייראַנמאַנץ.
- הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל: אַנטקעגנשטעלנ זיך פּאַרטיקל יראָוזשאַן און מעטשאַניקאַל טראָגן, פאַרלענגערן דינסט לעבן.
- הויכע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און נידעריקע קאָעפיציענט פון טערמישע יקספּאַנשאַן: שנעלע קאַנדאַקשאַן פון היץ און דימענשאַנאַל פעסטקייט, רידוסינג דעפאָרמאַציע אָדער קראַקינג געפֿירט דורך טערמישע דרוק.
פּראָדוקט פּאַראַמעטער:
סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טאַץ פּאַראַמעטער:
| (מאַטעריאַל אייגנשאַפט) | (איינהייט) | (סיק) | |
| (SiC אינהאַלט) | (געוויכט)% | >99 | |
| (דורכשניטלעכע קערל גרייס) | מיקראָן | 4-10 | |
| (געדיכטקייט) | ק״ג/ד״מ³ | >3.14 | |
| (אויסזעענדיקע פּאָראָזיטעט) | וואָ1% | <0.5 | |
| (וויקערס כאַרדנאַס) | ה.וו. 0.5 | גפּאַ | 28 |
| *() בייג שטאַרקייט* (דריי פונקטן) | 20ºC | MPa | 450 |
| (קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (עלאַסטישער מאָדולוס) | 20ºC | גפּאַ | 420 |
| (בראָך האַרטקייט) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (טערמישע קאַנדאַקטיוויטי) | 20°C | וו/(מ*ק) | 160 |
| (קעגנשטעל) | 20°C | אָום.ס״מ | 106-108 |
(טערמישע אויסברייטונג קאעפיציענט) | א(RT**...80ºC) | ק-1*10-6 | 4.3 |
(מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור) | אָºC | 1700 | |
סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רער פּאַראַמעטער:
| זאכן | אינדעקס |
| α-SIC | 99% מינימום |
| קלאָרע פּאָראָזיטעט | 16% מאַקסימום |
| מאַסע געדיכטקייט | 2.7 ג/קמ³ מינוט |
| בענדינג שטאַרקייט ביי הויך טעמפּעראַטור | 100 מפּאַ מינוט |
| קאָעפיציענט פון טערמישער עקספּאַנשאַן | ק-1 4.7x10 -6 |
| קאָעפיציענט פון טערמישער קאַנדאַקטיוויטי (1400ºC) | 24 וואט/מיליארק |
| מאַקס. אַרבעט טעמפּעראַטור | 1650ºC |
הויפּט אַפּליקאַציעס:
1. סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק פּלאַטע
- וועיפער שניידן און פאלירן: דינט ווי אַ לאַגער פּלאַטפאָרמע צו ענשור הויך פּינטלעכקייט און פעסטקייט בעשאַס שניידן און פאלירן.
- ליטאָגראַפיע פּראָצעס: דער וועיפער ווערט פיקסירט אין דער ליטאָגראַפיע מאַשין צו ענשור הויך פּינקטלעכקייט פּאַזישאַנינג בעשאַס עקספּאָוזשער.
- כעמישע מעכאנישע פאליר-ארבעט (CMP): אקטירט ווי א שטיצע-פלאטפארמע פאר פאליר-פאדס, צושטעלנדיג איינהייטלעכן דרוק און היץ-פארשפרייטונג.
2. סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רער
- הויך טעמפּעראַטור אויוון רער: געניצט פֿאַר הויך טעמפּעראַטור ויסריכט אַזאַ ווי דיפיוזשאַן אויוון און אַקסאַדיישאַן אויוון צו טראָגן וועיפערז פֿאַר הויך טעמפּעראַטור פּראָצעס באַהאַנדלונג.
- CVD/PVD פּראָצעס: ווי אַ לאַגער רער אין דער רעאַקציע קאַמער, קעגנשטעליק צו הויך טעמפּעראַטורן און קעראָוסיוו גאַזן.
- האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט אַקסעסאָריעס: פֿאַר היץ וועקסלערס, גאַז פּייפּליינז, עטק., צו פֿאַרבעסערן די טערמאַל פאַרוואַלטונג עפעקטיווקייַט פון עקוויפּמענט.
XKH אָפערט אַ פולע קייט פון קאַסטאַם באַדינונגען פֿאַר סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טאַץ, סאַקשאַן טעפּלעך און סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רערן. סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טאַץ און סאַקשאַן טעפּלעך, XKH קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט קונה באדערפענישן פון פאַרשידענע סיזעס, שאַפּעס און ייבערפלאַך ראַפנאַס, און שטיצן ספּעציעל קאָוטינג באַהאַנדלונג, פֿאַרבעסערן טראָגן קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל; פֿאַר סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק רערן, XKH קענען קאַסטאַמייז אַ פאַרשיידנקייַט פון ינער דיאַמעטער, ויסווייניקסט דיאַמעטער, לענג און קאָמפּלעקס סטרוקטור (אַזאַ ווי שייפּט רער אָדער פּאָרעז רער), און צושטעלן פּאַלישינג, אַנטי-אַקסאַדיישאַן קאָוטינג און אנדערע ייבערפלאַך באַהאַנדלונג פּראַסעסאַז. XKH ינשורז אַז קאַסטאַמערז קענען נעמען פול מייַלע פון די פאָרשטעלונג בענעפיץ פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק פּראָדוקטן צו טרעפן די פאדערנדיק באדערפענישן פון הויך-סוף מאַנופאַקטורינג פעלדער אַזאַ ווי האַלבקאָנדוקטאָר, לעדס און פאָטאָוואָלטאַיקס.
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
