סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנט
דעטאַלירטע דיאַגראַמע


איינפירן סיליקאן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנט
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטאיז אַן אַוואַנסירטער האַנדלינג קאָמפּאָנענט דעוועלאָפּעד פֿאַר הויך-פּרעציציע אָטאָמאַציע סיסטעמען, ספּעציעל אין האַלב-קאָנדוקטאָר און אָפּטישע אינדוסטריעס. דער קאָמפּאָנענט פֿעיִטשערט אַ באַזונדער U-פאָרעם פּלאַן אָפּטימיזירט פֿאַר וועיפער האַנדלינג, וואָס גאַראַנטירט ביידע מעכאַנישע שטאַרקייט און דימענסיאָנעל אַקיעראַסי אונטער עקסטרעמע סביבה באדינגונגען. געמאַכט פֿון הויך-ריינקייט סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק, דיגאָפּל אָרעם/האַנטצושטעלט אויסערגעוויינלעכע רידזשידאַטי, טערמישע פעסטקייט, און כעמישער קעגנשטעל.
ווי האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס אַנטוויקלען זיך צו פיינערע געאָמעטריעס און ענגערע טאָלעראַנסן, ווערט די פאָדערונג פֿאַר קאָנטאַמינאַציע-פֿרייע און טערמיש סטאַבילע קאָמפּאָנענטן קריטיש.סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטטרעפט די דאזיקע אויפגאַבע דורך אָנבאָטן נידעריקע פּאַרטיקל דזשענעריישאַן, גאָר גלאַט סערפאַסיז, און שטאַרקע סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט. צי אין וועיפער טראַנספּאָרט, סאַבסטראַט פּאַזישאַנינג, אָדער ראָבאָטישע געצייַג קעפּ, איז דער קאָמפּאָנענט אינזשענירט פֿאַר פאַרלעסלעכקייט און לאַנגלעבעדיקייט.
הויפּט סיבות צו קלייבן דאָססיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטאַרייַננעמען:
-
מינימאַלע טערמישע יקספּאַנשאַן פֿאַר דימענסיאָנעל פּינקטלעכקייט
-
הויך כאַרדנאַס פֿאַר לאַנג דינסט לעבן
-
קעגנשטעל צו זויערן, אַלקאַליס און רעאַקטיווע גאַזן
-
קאָמפּאַטאַביליטי מיט ISO קלאַס 1 ריינצימער סביבות


מאַנופאַקטורינג פּרינציפּ פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק גאָפּל אָרעם/האַנט
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטווערט פּראָדוצירט דורך אַ העכסט קאָנטראָלירט קעראַמיש פּראַסעסינג וואָרקפלאָו דיזיינד צו ענשור העכער מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס און דימענשאַנאַל קאָנסיסטענסי.
1. פּודער צוגרייטונג
דער פּראָצעס הייבט זיך אָן מיט דער אויסוואַל פון אולטראַ-פיינע סיליקאָן קאַרבייד פּודערס. די פּודערס ווערן געמישט מיט בינדערס און סינטערינג הילף צו דערמעגלעכן קאָמפּאַקציע און דענסיפיקאַציע. פֿאַר דעםגאָפּל אָרעם/האַנט, β-SiC אדער α-SiC פּודערס ווערן גענוצט צו ענשור ביידע האַרטקייט און טאַפנאַס.
2. פאָרמען און פאָרמען
דעפּענדינג אויף די קאָמפּלעקסיטעט פון דיגאָפּל אָרעם/האַנטדיזיין, דער טייל ווערט געפארמט מיט איזאסטאטישע פרעסינג, אינדזשעקציע מאָלדינג, אדער גליטש קאַסטינג. דאס ערמעגליכט קאמפליצירטע געאמעטריעס און דין-וואנט סטרוקטורן, קריטיש פארן לייכטן נאטור פון דעםסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנט.
3. הויך-טעמפּעראַטור סינטערינג
סינטערן ווערט דורכגעפירט ביי טעמפּעראַטורן העכער 2000°C אין וואַקוום אָדער אַרגאָן אַטמאָספערעס. די שטאַפּל טראַנספאָרמירט דעם גרינעם קערפּער אין אַ גאָר פֿאַרדעקטן קעראַמישן קאָמפּאָנענט. די סינטערירטעגאָפּל אָרעם/האַנטדערגרייכט כּמעט-טעאָרעטישע געדיכטקייט, פּראַוויידינג בוילעט מעכאַנישע און טערמישע אייגנשאַפטן.
4. פּרעציזיע מאַשינינג
נאך-סינטערינג, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטגייט דורך דימענט שלייפן און סי-ען-סי מאשינירן. דאס זיכערט א פלאכקייט אינערהאלב ±0.01 מ"מ און ערלויבט די ארייננעמונג פון בארג לעכער און לאקאציע אייגנשאפטן קריטיש פאר זיין אינסטאלאציע אין אויטאמאטישע סיסטעמען.
5. ייבערפלאַך פינישינג
פּאָלירן רעדוצירט ייבערפלאַך ראַפנאַס (Ra < 0.02 μm), וואָס איז וויכטיק פֿאַר רעדוצירן פּאַרטיקולאַט דזשענעריישאַן. אָפּציאָנעלע CVD קאָוטינגז קענען זיין געווענדט צו פֿאַרבעסערן פּלאַזמע קעגנשטעל אָדער צולייגן פאַנגקשאַנאַליטי ווי אַנטי-סטאַטיק נאַטור.
דורכאויס דעם פּראָצעס, קוואַליטעט קאָנטראָל פּראָטאָקאָלן ווערן געווענדט צו גאַראַנטירן דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטאַרבעט פאַרלעסלעך אין די מערסט סענסיטיווע אַפּלאַקיישאַנז.
פּאַראַמעטערס פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק גאָפּל אָרעם/האַנט
הויפּט ספּעסיפיקאַציעס פון CVD-SIC קאָוטינג | ||
SiC-CVD אייגנשאפטן | ||
קריסטאַל סטרוקטור | FCC β פאַזע | |
געדיכטקייט | ג/קמ³ | 3.21 |
כאַרטקייט | וויקערס כאַרדנאַס | 2500 |
גריין גרייס | מיקראָמעטער | 2~10 |
כעמישע ריינקייט | % | 99.99995 |
היץ קאַפּאַציטעט | דזש·קג-1 ·ק-1 | 640 |
סובלימאַציע טעמפּעראַטור | ℃ | 2700 |
פֿעלעקסוראַל שטאַרקייט | MPa (RT 4-פונקט) | 415 |
יונגס מאָדולוס | Gpa (4 פּינט בייג, 1300℃) | 430 |
טערמישע עקספּאַנשאַן (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
טערמישע קאַנדאַקטיוויטי | (וואט/מיליקעלער קאלעקציע) | 300 |
אַפּליקאַציעס פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק גאָפּל אָרעם/האַנט
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטווערט ברייט גענוצט אין אינדוסטריעס וואו הויכע ריינקייט, פעסטקייט, און מעכאנישע פּרעציזיע זענען וויכטיג. די אַרייַננעמען:
1. האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע
אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטווערט גענוצט צו טראנספארטירן סיליקאן וועיפערס אין פראצעס געצייג ווי עטשינג קאמערן, דעפאזיציע סיסטעמען, און אינספעקציע עקוויפמענט. זיין טערמישע קעגנשטאנד און דימענסיאנעלע גענויקייט מאכן עס אידעאל פאר מינימיזירן וועיפער מיסאליינמענט און קאנטאמינאציע.
2. פּראָדוקציע פֿון דיספּליי פּאַנעל
אין OLED און LCD דיספּלייז פּראָדוקציע, דיגאָפּל אָרעם/האַנטווערט גענוצט אין פּיק-און-פּלייס סיסטעמען, וואו עס האַנדלט מיט שוואַכע גלאָז סאַבסטראַטן. זיין נידעריקע מאַסע און הויכע שטייפקייט ערמעגלעכן שנעלע און סטאַבילע באַוועגונג אָן ווייבריישאַן אָדער דיפלעקשאַן.
3. אָפּטישע און פאָטאָנישע סיסטעמען
פֿאַר אויסריכטונג און פּאַזיציאָנירן פון לענסעס, שפּיגלען, אָדער פאָטאָנישע טשיפּס, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטאָפפערט ווייבריישאַן-פֿרייע שטיצע, קריטיש אין לאַזער פּראַסעסינג און פּרעציזיע מעטראָלאָגיע אַפּלאַקיישאַנז.
4. לופטפארט און וואקיום סיסטעמען
אין לופטפארט אפטישע סיסטעמען און וואקיום אינסטרומענטן, די נישט-מאגנעטישע, קעראָוזשאַן-קעגנשטעליקע סטרוקטור פון דעם קאָמפּאָנענט זאָרגט פֿאַר לאַנג-טערמין פעסטקייט.גאָפּל אָרעם/האַנטקען אויך ארבעטן אין אולטרא-הויך וואקיום (UHV) אן אויסגאזן.
אין אלע דיזע פעלדער, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטאיבערטרעפט טראדיציאנעלע מעטאל אדער פאלימער אלטערנאטיוון אין פארלעסלעכקייט, ריינקייט, און לעבנסדויער.

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס וועגן סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנט
פ1: וואָסערע וועיפער גרייסן ווערן געשטיצט דורך די סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק גאָפּל אָרעם/האַנט?
דיגאָפּל אָרעם/האַנטקען ווערן צוגעפאסט צו שטיצן 150 מ״מ, 200 מ״מ, און 300 מ״מ וועיפערס. גאפל שפּאַן, אָרעם ברייט, און לאָך פּאַטערנז קענען ווערן צוגעפּאַסט צו אייער ספּעציפֿישער אָטאָמאַציע פּלאַטפאָרמע.
פ2: איז די סיליקאָן קאַרבייד קעראַמישע גאָפּל אָרעם/האַנט קאָמפּאַטיבל מיט וואַקוום סיסטעמען?
יא. דיגאָפּל אָרעם/האַנטאיז פּאַסיק פֿאַר ביידע נידעריק-וואַקוום און אולטראַ-הויך וואַקוום סיסטעמען. עס האט נידעריקע אויסגאַסינג ראַטעס און לאָזט נישט אַרויס קיין פּאַרטיקולאַטעס, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר ריינצימער און וואַקוום סביבות.
ק3: קען איך צולייגן קאָוטינגז אדער ייבערפלאַך מאָדיפיקאַטיאָנס צו די גאָפּל אָרעם/האַנט?
זיכער. דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטקען זיין באדעקט מיט CVD-SiC, קוילנשטאָף, אדער אָקסייד לייַערס צו פֿאַרבעסערן זיין פּלאַזמע קעגנשטעל, אַנטי-סטאַטיק פּראָפּערטיעס, אדער ייבערפלאַך כאַרדנאַס.
ק4: ווי ווערט די קוואַליטעט פון די גאָפּל אָרעם/האַנט וועריפיצירט?
יעדערסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנטגייט דורך דימענסיאָנעלע דורכקוק מיט CMM און לאַזער מעטראָלאָגיע מכשירים. די קוואַליטעט פון דער ייבערפלאַך ווערט עוואַלויִרט דורך SEM און ניט-קאָנטאַקט פּראָפילאָמעטריע צו טרעפן ISO און SEMI סטאַנדאַרדן.
ק5: וואָס איז די צייט צו באַשטעלן אייגענע גאָפּל/האַנט?
די ליפערונג צייט איז טיפיש פון 3 ביז 5 וואָכן, דיפּענדינג אויף קאָמפּלעקסיטעט און קוואַנטיטעט. שנעלע פּראָוטאַטייפּינג איז בנימצא פֿאַר דרינגנדיקע ריקוועסץ.
די אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס צילן צו העלפֿן אינזשענירן און פּראָקורמענט טימז פֿאַרשטיין די מעגלעכקייטן און אָפּציעס וואָס זענען פֿאַראַן ווען מען סעלעקטירט אַסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש גאָפּל אָרעם/האַנט.
וועגן אונדז
XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.
