סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָר (גאָפּל אָרעם/האַנט טיפּ)
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
איבערבליק פון קוואַרץ גלאָז
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָראיז אַ הויך-פּרעציציע האַנדלינג קאָמפּאָנענט אינזשענירט פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע, פאָטאָניקס, אָטאַמיישאַן ראָבאָטיק, און אַוואַנסירטע מאַטעריאַל פּראַסעסינג. דיזיינד אין אַ גאָפּל אָרעם/האַנט קאָנפיגוראַציע, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרגיט אויסערגעווענליכע דימענסיאָנעלע פעסטקייט, אולטרא-הויך שטייפקייט, און גאָר נידעריקע פּאַרטיקל דזשענעריישאַן, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר סענסיטיווע וועיפער און סאַבסטראַט אַריבערפירן אַפּעריישאַנז.
נישט ווי טראדיציאנעלע מעטאל אדער פאלימער ענד געצייג, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרקען אויפהאלטן די גענויקייט פון דער פאָרעם אונטער עקסטרעמע טעמפּעראַטורן, כעמישע אויסשטעל, און וואַקוום סביבות. איר אולטראַ-פלאַכע שטיצנדיקע ייבערפלאַך זיכערט סטאַביל האַנדלינג פון סיליקאָן וועיפערס, גלאז סאַבסטראַטן, סאַפייער אָפּטיק, SiC וועיפערס, און אַנדערע שוואַך מאַטעריאַלן. מיט אַ לייכט אָבער שטרענג סטרוקטור, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָררעדוצירט ווייבריישאַן, פאַרגרעסערט דורכפלוס, און מינאַמייזאַז מעטשאַניקאַל דרוק בעשאַס שנעל ראָבאָטיש אַקסעלעריישאַן.
אינזשענירט פֿאַר נול-קאַנטאַמאַניישאַן פאָרשטעלונג, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרווערט ברייט גענוצט אין FOUP לאוד פּאָרטן, EFEM מאָדולן, ליטאָגראַפֿיע סיסטעמען, וואַקוום טראַנספֿער מכשירים, און מעטראָלאָגיע סטאַנציעס—צושטעלנדיק אַ פאַרלאָזלעכע, הויך-ריינקייט צובינד צווישן אָטאַמיישאַן ויסריכט און ווערטפולע מאַטעריאַלן.
פאַבריקאַציע פּרינציפּ
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרווערט פּראָדוצירט דורך אַ ספּעציאַליזירטן קעראַמישן פאַבריקאַציע וואָרקפלאָו וואָס גאַראַנטירט הויך ריינקייט, הויך געדיכטקייט און לאַנג-טערמין פאַרלאָזלעכקייט. איבערן פּראָדוקציע פּראָצעס, שטרענגע קוואַליטעט קאָנטראָלן ענשורן אַז יעדערסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרטרעפט די שטרענגע רעקווירמענץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר-קלאַס אָטאַמייטיד סיסטעמען.
1. מאַטעריאַל צוגרייטונג
פאַבריקאַציע הייבט זיך אָן מיט דער אויסוואַל פון הויך-ריינהייט SiC פּודערס. די פּודערס באַשטימען די מעכאַנישע שטאַרקייט און ריינקייט פון דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרספּעציעלע בינדערס און סינטערינג אַדיטיוון ווערן געמישט צו דערגרייכן אידעאַלע פּאַרטיקל פּאַקינג און העכערן מונדיר דענסיפיקאַציע.
2. שאַפונג און פאָרפאָרמינג
דער גרינער קערפער פון דעםסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרווערט געשאפן ניצנדיק איזאָסטאַטיש פּרעסינג אָדער קעראַמיש ינדזשעקשאַן מאָלדינג. דאָס גאַראַנטירט אַ סטרעס-באַלאַנסירטע סטרוקטור מיט מינימאַלע אינערלעכע חסרונות. די גאָפּל-סטיל געאָמעטריע ווערט געפאָרעמט אין דעם בינע צו פּאַסן צו וועיפער דיאַמעטערס און ראָבאָטישע מאַונטינג אינטערפייסיז.
3. הויך-טעמפּעראַטור סינטערינג
דער געפארמטער קאמפאנענט ווערט געסינטערט העכער 2000°C אין א וואקיום אדער אינערטער אטמאספערע. בעת דעם שריט, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרדערגרייכט כּמעט טעאָרעטישע געדיכטקייט, וואָס גיט אויסגעצייכנטע כאַרטקייט, טערמישע קלאַפּ קעגנשטעל, און כעמישע פעסטקייט. די שטאַפּל דעפינירט די מעכאַנישע אָרנטלעכקייט פון דעם קאָמפּאָנענט.
4. סי-ען-סי פּרעציזיע מאַשינינג
נאך סינטערינג, דימענט גרינדינג און מולטי-אַקס CNC מאַשינינג פֿאַרבעסערן די געאָמעטריע פון דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרקריטישע פֿעיִקייטן ווי וועיפער קאָנטאַקט סערפאַסיז, מאַונטינג לעכער, אַליינמאַנט גרוווז, און גאָפּל ספּייסינג זענען מאַשינד צו טאָלעראַנסעס אַזוי ענג ווי ±0.01 מם.
5. ייבערפלאַך פינישינג און רייניקונג
צום סוף, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרגייט דורך אולטרא-פיינע פאלירונג און הויך-ריינקייט אולטראַסאָניק רייניקונג. דער שריט רעדוצירט ייבערפלאַך ראַפנאַס און עלימינירט מיקראָ-פּאַרטיקלען, וואָס גאַראַנטירט ריינרום קאַמפּאַטאַבילאַטי. אָפּציאָנעלע CVD-SiC קאָוטינגז אָדער פּלאַזמע-קעגנשטעליק לייַערס קענען ווייטער פֿאַרבעסערן די געווער.
דיזער פּינקטלעכער פּראָדוקציע־צוגאַנג גאַראַנטירט אַז יעדערסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָראַרבעט פאַרלעסלעך אין הויך-פּינטלעכקייט אָטאַמיישאַן ינווייראַנמאַנץ.
אַפּליקאַציעס
דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָראיז דיזיינד פֿאַר אינדוסטריעס וואו ריינקייט, פּרעציזיע און פֿאַרלעסלעכקייט זענען נישט אונטערהאַנדלונגסווערט. זײַן גאָפּל אָרעם/האַנט פּלאַן מאַכט עס פּאַסיק פֿאַר ראָבאָטישע אָרעמס, פּיק-און-פּלייס סיסטעמען, וואַקוום טראַנספֿער מכשירים און אַוואַנסירטע דורכקוק פּלאַטפאָרמעס.
1. האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע
אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרווערט ברייט גענוצט אין:
-
וואַפער לאָודינג/אַנלאָודינג
-
FOUP סאָרטינג
-
וואַקוום קאַמער טראַנספּאָרט
-
עטשינג, ליטאָגראַפֿיע, און דעפּאָזיציע פּראָצעסן
די אולטרא-ריינע און שטייפעסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרפאַרהיט וועיפערס פון גליטשן, בייגן זיך און קאָנטאַמינאַציע, שטיצנדיק וועיפערס פון 150 מם ביז 300 מם.
2. פאָטאָניק און אָפּטאָעלעקטראָניק
פֿאַר האַנדלינג מיט שוואַך לענסעס, אָפּטישע דעוויסעס, GaN סאַבסטראַטן און פאָטאָניק טשיפּס, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרגיט וויבראַציע-פֿרייע סטאַביליטעט. זײַן נישט-מעטאַלישע נאַטור פֿאַרמײַדט מאַגנעטישע שטערונגען און אָפּטישע קאָנטאַמינאַציע.
3. דיספּליי און פּאַנעל פאַבריקאַציע
אין OLED, QLED, און LCD פּאַנעל פּראָדוקציע, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרזיכער טראַנספערירט דין גלאז און ספּעציעלע סאַבסטראַטן. איר כעמיש ינערט ייבערפלאַך באַשיצט קעגן רעשטלעך און ייבערפלאַך שעדיקן.
4. לופטפארט און וואקיום ראָבאָטיק
אין הויך-וואקוום קאַמערן און אַעראָספּייס אַסעמבלי ליניעס, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרוויטסטאַנדז הויך טעמפּעראַטורן, ראַדיאַציע ויסשטעלן, און קעראָוסיוו גאַזן בשעת מיינטיינינג דימענשאַנאַל אַקיעראַסי.
איבער אלע די אינדוסטריעס, דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרקאָנסיסטענטלי אַוטפּערפאָרמז מעטאַל און פּאָלימער אַלטערנאַטיוון.
אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס – אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס
ק1: קען דער סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָר שטיצן מנהג גרייסן?
יא. דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרקען זיין דיזיינט פֿאַר יעדער וועיפער, פּאַנעל, אָדער סאַבסטראַט גרייס. גאָפּל ספּייסינג, גרעב, וואָג, און מאַונטינג לאָך פּאַטערנז זענען גאָר קאַסטאַמייזאַבאַל.
פ2: איז דער סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפֿעקטאָר פּאַסיק פֿאַר וואַקוום סביבות?
אַבסאָלוט. דיסיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָרהאט גאָר נידעריקע אויסגאַזינג און קיין מעטאַלישע קאַנטאַמאַניישאַן, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר UHV און ריינרום סביבות.
פ3: וואָס זענען די מעלות פון אַ SiC ענד עפֿעקטאָר איבער אַלומינום אָדער שטאָל?
A סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש ענד עפעקטאָראָפפערס:
-
העכערע שטייפקייט-צו-וואָג פאַרהעלטעניש
-
נידעריקער טערמישער אויסברייטונג
-
העכערע טראָגן קעגנשטעל
-
בעסערע פּלאַזמע און כעמישער קעגנשטעל
-
נול קעראָוזשאַן
וועגן אונדז
XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.












