סיליקאָן קאַרבייד קאַנטילעווער פּאַדל (SiC קאַנטילעווער פּאַדל)

קורצע באַשרייַבונג:

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

פּראָדוקט איבערבליק

דער סיליקאָן קאַרבייד קאַנטילעווער פּאַדל, פאַבריצירט פון הויך-פּערפאָרמאַנס רעאַקציע-געבונדן סיליקאָן קאַרבייד (RBSiC), איז אַ קריטישער קאָמפּאָנענט געניצט אין וועיפער לאָודינג און האַנדלינג סיסטעמען פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר און פאָטאָוואָלטאַיק אַפּלאַקיישאַנז.
קאַמפּערד מיט טראַדיציאָנעלע קוואַרץ אָדער גראַפיט פּאַדאַלז, SiC קאַנטילעווער פּאַדאַלז פאָרשלאָגן העכערע מעכאַנישע שטאַרקייט, הויך כאַרדנאַס, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן, און בוילעט קעראָוזשאַן קעגנשטעל. זיי האַלטן ויסגעצייכנט סטרוקטוראַל פעסטקייַט אונטער הויך טעמפּעראַטורעס, טרעפן די שטרענגע באדערפענישן פון גרויס וועיפער סיזעס, פאַרלענגערט דינסט לעבן, און גאָר נידעריק קאַנטאַמאַניישאַן.

מיט דער קאנטינעווערלעכער אנטוויקלונג פון האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן צו גרעסערע וועיפער דיאַמעטערס, העכערע דורכפלוס, און ריינערע פּראַסעסינג סביבות, האָבן SiC קאַנטילעווער פּאַדאַלז ביסלעכווייַז ריפּלייסט קאַנווענשאַנאַל מאַטעריאַלס, און זענען געוואָרן די בילכער ברירה פֿאַר דיפוזיע אויוון, LPCVD, און פֿאַרבונדענע הויך-טעמפּעראַטור ויסריכט.

פּראָדוקט פֿעיִטשערס

אויסגעצייכנטע הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייט
- אַרבעט פאַרלעסלעך ביי 1000–1300 ℃ אָן דעפאָרמאַציע.
- מאַקסימום סערוויס טעמפּעראַטור ביז 1380 ℃.
הויך לאַסט-טראָג קאַפּאַציטעט
- בייגן שטאַרקייט ביז 250–280 MPa, פיל העכער ווי קוואַרץ פּאַדאַלז.
- קען האַנדלען מיט גרויסע דיאַמעטער וואַפערס (300 מם און העכער).
פארלענגערטע סערוויס לעבן און נידעריקע אויפהאלטונג
- נידעריקע טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), גוט צוגעפּאַסט מיט LPCVD קאָוטינג מאַטעריאַלס.
- רעדוצירט סטרעס-אינדוצירטע ריסן און שאָלעכץ, באַדייטנד פֿאַרלענגערנדיק רייניקונג און וישאַלט ציקלען.
קעראָוזשאַן קעגנשטעל און ריינקייט
- אויסגעצייכנטע קעגנשטעל צו זויערן און אַלקאַליס.
- געדיכטע מיקראָסטרוקטור מיט אָפֿענער פּאָראָסיטי <0.1%, מינימיזירנדיק פּאַרטיקל דזשענעריישאַן און פֿאַרפּעסטיקונג מעלדונג.
אויטאָמאַציע-קאָמפּאַטיבל פּלאַן
- סטאַבילע קראָס-סעקשאַנאַל געאָמעטריע מיט הויך דימענסיאָנאַל אַקיעראַסי.
- אינטעגרירט זיך אָן שטערונגען מיט ראָבאָטישע וועיפער לאָודינג און אַנלאָודינג סיסטעמען, וואָס ערמעגליכט גאָר אָטאַמייטיד פּראָדוקציע.

פיזישע און כעמישע אייגנשאפטן

אייטעם	איינהייט	דאַטן
מאַקס. סערוויס טעמפּעראַטור	℃	1380
געדיכטקייט	ג/קמ³	3.04 – 3.08
אָפֿענע פּאָראָסיטי	%	< 0.1
בייגן שטאַרקייט	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
מאָדולוס פון עלאַסטיסיטי	גפּאַ	330 (20℃), 300 (1200℃)
טערמישע קאַנדאַקטיוויטי	װ/מ·ק	45 (1200℃)
טערמישע עקספּאַנשאַן קאָעפיציענט	ק⁻¹×10⁻⁶	4.5
וויקערס כאַרדנאַס	HV2	≥ 2100
זויער/אַלקאַליין קעגנשטעל	-	אויסגעצייכנט

נאָרמאַלע לענגקטס:2378 מ״מ, 2550 מ״מ, 2660 מ״מ
אייגענע גרייסן בנימצא אויף פארלאנג

אַפּליקאַציעס

האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע
- LPCVD (נידעריק דרוק כעמישע פארע דעפאזיציע)
- דיפוזיע פּראָצעסן (פאָספאָר, באָר, אאז"וו)
- טערמישע אָקסידאַציע
פאָטאָוואָלטאַישע אינדוסטריע
- פּאָליסיליקאָן און מאָנאָקריסטאַלינע וועיפער דיפוזיע און קאָוטינג
- הויך-טעמפּעראַטור אַנילינג און פּאַסיוואַציע
אַנדערע פעלדער
- הויך-טעמפּעראַטור קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ
- פּרעציזיע וועיפער האַנדלינג סיסטעמען וואָס דאַרפן אַ לאַנגע לעבן און נידעריקע קאַנטאַמאַניישאַן

קונה בענעפיטן

רעדוצירטע אפערירן קאסטן– לענגערע לעבנסדויער קאַמפּערד מיט קוואַרץ פּאַדאַלז, מינאַמיזייטינג דאַונטיים און פאַרבייַט אָפטקייַט.
העכערע פּראָדוקציע– גאָר נידעריקע קאַנטאַמאַניישאַן גאַראַנטירט וועיפער ייבערפלאַך ריינקייט און ראַדוסאַז דעפעקט ראַטעס.
צוקונפֿט-זיכער– קאָמפּאַטיבל מיט גרויסע וועיפער סיזעס און נעקסט-דור האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן.
פֿאַרבעסערטע פּראָדוקטיוויטעט– גאָר קאָמפּאַטיבל מיט ראָבאָטישע אָטאַמיישאַן סיסטעמען, וואָס שטיצט גרויס-וואָלומען מאַנופאַקטורינג.

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס – סיליקאָן קאַרבייד קאַנטילעווער פּאַדל

פ1: וואָס איז אַ סיליקאָן קאַרבייד קאַנטילעווער פּאַדל?
א: עס איז אַ וועיפער שטיצע און האַנדלינג קאָמפּאָנענט געמאַכט פון רעאַקציע-געבונדן סיליקאָן קאַרבייד (RBSiC). עס איז וויידלי געניצט אין דיפיוזשאַן אויוון, LPCVD, און אנדערע הויך-טעמפּעראַטור האַלב-קאָנדוקטאָר און פאָטאָוואָלטאַיק פּראָצעסן.

פ2: פארוואס קלייבן SiC איבער קוואַרץ פּאַדאַלז?
א: קאַמפּערד מיט קוואַרץ פּאַדאַלז, SiC פּאַדאַלז פאָרשלאָגן:

העכערע מעכאנישע שטאַרקייט און לאַסט-טראָג קאַפּאַציטעט
בעסערע טערמישע פעסטקייט ביי טעמפּעראַטורן ביז 1380 ℃
פיל לענגערע סערוויס לעבן און פארקלענערטע וישאַלט ציקלען
נידעריקערע פּאַרטיקל דזשענעריישאַן און קאַנטאַמאַניישאַן ריזיקירן
קאָמפּאַטאַביליטי מיט גרעסערע וועיפער גרייסן (300 מם און העכער)

פ3: וואָסערע וועיפער גרייסן קען דער SiC קאַנטילעווער פּאַדל שטיצן?
א: סטאַנדאַרט פּאַדאַלז זענען בנימצא פֿאַר 2378 מם, 2550 מם, און 2660 מם אויוון סיסטעמען. קאַסטאַמייזד דימענסיעס זענען בנימצא צו שטיצן וועיפערס ביז 300 מם און ווייטער.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.