סיק סאַבסטרייט פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N 4אינטש מיט גרעב פון 350ום פּראָדוקציע מיינונג דאַמי מיינונג

SiC סאַבסטרייט פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N 4אינטש מיט גרעב פון 350ום פּראָדוקציע מיינונג דאַמי מיינונג פעאַטורעד בילד

קורץ באַשרייַבונג:

די פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N 4-אינטש סיק סאַבסטרייט, מיט אַ גרעב פון 350 μם, איז אַ הויך-פאָרשטעלונג סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל וויידלי געניצט אין עלעקטראָניש מיטל מאַנופאַקטורינג. באַוווסט פֿאַר זייַן יקסעפּשאַנאַל טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון וואָולטידזש און קעגנשטעל צו עקסטרעם טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ, דעם סאַבסטרייט איז ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק אַפּלאַקיישאַנז. די פּראָדוקציע-מיינונג סאַבסטרייט איז געניצט אין גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג, ינשורינג שטרענג קוואַליטעט קאָנטראָל און הויך רילייאַבילאַטי אין אַוואַנסירטע עלעקטראָניש דעוויסעס. דערווייַל, די באָק-מיינונג סאַבסטרייט איז בפֿרט געניצט פֿאַר פּראָצעס דיבאַגינג, עקוויפּמענט קאַלאַבריישאַן און פּראָוטאַטייפּ. די העכער פּראָפּערטיעס פון SiC מאַכן עס אַ ויסגעצייכנט ברירה פֿאַר דעוויסעס וואָס אַרבעטן אין הויך-טעמפּעראַטור, הויך-וואָולטידזש און הויך-אָפטקייַט ינווייראַנמאַנץ, אַרייַנגערעכנט מאַכט דעוויסעס און רף סיסטעמען.

שיקן E- בריוו צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

4ינטש סיק סאַבסטרייט פּ-טיפּ 4ה/6ה-פּ 3ק-ן פּאַראַמעטער טיש

4 אינטש דיאַמעטער סיליציוםקאַרבידע (סיק) סאַבסטרייט באַשרייַבונג

גראַדע			נול MPD פּראָדוקציע גראַדע (ז גראַד)	נאָרמאַל פּראָדוקציע גראַד (פּ גראַד)	דאַמי גראַדע (D גראַד)
דיאַמעטער			99.5 מם ~ 100.0 מם
גרעב			350 μם ± 25 μם
ווייפער אָריענטירונג			אַוועק אַקס: 2.0°-4.0° צו [112(-)0] ± 0.5 ° פֿאַר 4H/6H-P, On אַקס:〈111〉± 0.5 ° פֿאַר 3C-N
מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט			0 סענטימעטער-2
רעסיסטיוויטי	פּ-טיפּ 4ה / 6ה-פּ		≤0.1 Ωꞏקם		≤0.3 Ωꞏקם
	n-טיפּ 3C-N		≤0.8 מΩꞏקם		≤1 עם Ωꞏקם
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג		4ה/6ה-פּ	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
ערשטיק פלאַך לענג			32.5 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך לענג			18.0 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך אָריענטירונג			סיליציום פּנים אַרויף: 90 ° CW. פון פּריים פלאַך±5.0°
עדזש יקסקלוזשאַן			3 מם		6 מם
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
ראַפנאַס			פויליש Ra≤1 נם
			CMP Ra≤0.2 נם		Ra≤0.5 נם
ברעג קראַקס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג ≤ 10 מם, איין לענג ≤ 2 מם
העקס פּלאַטעס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.1%
פּאָליטיפּע געביטן מיט הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו שטח≤3%
וויסואַל קאַרבאָן ינקלוזשאַנז			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤3%
סיליציום ייבערפלאַך סקראַטשיז דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג≤1×ווייפער דיאַמעטער
ברעג טשיפּס הויך דורך ינטענסיטי ליכט			ניט דערלויבט ≥0.2מם ברייט און טיפקייַט		5 ערלויבט, ≤1 מם יעדער
סיליציום ייבערפלאַך קאַנטאַמאַניישאַן דורך הויך ינטענסיטי			קיינער
פּאַקקאַגינג			מולטי-ווייפער קאַסעט אָדער איין ווייפער קאַנטיינער

הערות:

※ חסרונות לימאַץ אַפּלייז צו די גאנצע ווייפער ייבערפלאַך אַחוץ פֿאַר די ברעג יקסקלוזשאַן געגנט. # די סקראַטשיז זאָל זיין אָפּגעשטעלט בלויז אויף סי פּנים.

די פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N 4-אינטש סיק סאַבסטרייט מיט אַ גרעב פון 350 μם איז וויידלי געווענדט אין אַוואַנסירטע עלעקטראָניש און מאַכט מיטל מאַנופאַקטורינג. מיט ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון וואָולטידזש און שטאַרק קעגנשטעל צו עקסטרעם ינווייראַנמאַנץ, דעם סאַבסטרייט איז ידעאַל פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג מאַכט עלעקטראָניק אַזאַ ווי הויך-וואָולטידזש סוויטשיז, ינווערטערס און רף דעוויסעס. פּראָדוקציע-מיינונג סאַבסטרייץ זענען געניצט אין גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג, ינשורינג פאַרלאָזלעך, הויך-פּינטלעכקייַט מיטל פאָרשטעלונג, וואָס איז קריטיש פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק און הויך-אָפטקייַט אַפּלאַקיישאַנז. דאַמי-מיינונג סאַבסטרייץ, אויף די אנדערע האַנט, זענען דער הויפּט געניצט פֿאַר פּראָצעס קאַלאַבריישאַן, ויסריכט טעסטינג און פּראָוטאַטייפּ אַנטוויקלונג, העלפּינג צו האַלטן קוואַליטעט קאָנטראָל און פּראָצעס קאָנסיסטענסי אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע.

ספּעסיפיקאַטיאָן די אַדוואַנטידזשיז פון N-טיפּ סיק קאַמפּאַזאַט סאַבסטרייץ אַרייַננעמען

הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן מאכט די סאַבסטרייט ידעאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור און הויך-מאַכט אַפּלאַקיישאַנז.
הויך ברעאַקדאָוון וואָולטידזש: שטיצט הויך-וואָולטידזש אָפּעראַציע, ינשורינג רילייאַבילאַטי אין מאַכט עלעקטראָניק און רף דעוויסעס.
קעגנשטעל צו האַרב ינווייראַנמאַנץ: דוראַבאַל אין עקסטרעם טנאָים אַזאַ ווי הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ, ינשורינג לאַנג-בלייַביק פאָרשטעלונג.
פּראָדוקציע-גראַדע פּרעסיסיאָן: ינשורז הויך-קוואַליטעט און פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג, פּאַסיק פֿאַר אַוואַנסירטע מאַכט און רף אַפּלאַקיישאַנז.
דאַמי-גראַד פֿאַר טעסטינג: ינייבאַלז פּינטלעך פּראָצעס קאַלאַבריישאַן, ויסריכט טעסטינג און פּראָוטאַטייפּ אָן קאַמפּראַמייזינג פּראָדוקציע-מיינונג ווייפערז.

קוילעלדיק, די פּ-טיפּ 4H / 6H-P 3C-N 4-אינטש סיק סאַבסטרייט מיט אַ גרעב פון 350 μם אָפפערס באַטייַטיק אַדוואַנטידזשיז פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז. זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און ברייקדאַון וואָולטידזש מאַכן עס ידעאַל פֿאַר הויך-מאַכט און הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ, בשעת זייַן קעגנשטעל צו האַרב טנאָים ינשורז געווער און רילייאַבילאַטי. די פּראָדוקציע-מיינונג סאַבסטרייט ינשורז גענוי און קאָנסיסטענט פאָרשטעלונג אין גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג פון מאַכט עלעקטראָניק און רף דעוויסעס. דערווייַל, די באָק-מיינונג סאַבסטרייט איז יקערדיק פֿאַר פּראָצעס קאַלאַבריישאַן, ויסריכט טעסטינג און פּראָוטאַטייפּ, שטיצן קוואַליטעט קאָנטראָל און קאָנסיסטענסי אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע. די פֿעיִקייטן מאַכן SiC סאַבסטרייץ העכסט ווערסאַטאַל פֿאַר אַוואַנסירטע אַפּלאַקיישאַנז.