SiC זוימען קאָוטינג-באַנדינג-סינטערינג אינטעגרירטע לייזונג
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
פּרעציזיע שפּריץ קאָוטינג • צענטער אַליינמענט באַנדינג • וואַקוום דעבאַבלינג • קאַרבאָניזאַציע/סינטערינג קאַנסאַלאַדיישאַן
טראַנספאָרמירן SiC זוימען באַנדינג פון אָפּעראַטאָר-אָפּהענגיק אַרבעט אין אַ ריפּיטאַבאַל, פּאַראַמעטער-געטריבן פּראָצעס: קאַנטראָולד קלעפּיק שיכטע גרעב, צענטער אַליינמאַנט מיט לופטזאַק פּרעסינג, וואַקוום דיבאַבלינג, און טעמפּעראַטור/דרוק-אַדזשאַסטאַבאַל קאַרבאָניזאַטיאָן קאַנסאַלאַדיישאַן. געבויט פֿאַר 6/8/12-אינטש פּראָדוקציע סצענאַריאָס.
פּראָדוקט איבערבליק
וואָס עס איז
די אינטעגרירטע לייזונג איז דיזיינט פארן אויבערשטן שריט פון SiC קריסטאל וואוקס, וואו דער זוימען/וועיפער ווערט פארבונדן צו גראפיט פאפיר/גראפיט פלאטע (און פארבונדענע אינטערפייסעס). עס פארמאכט דעם פראצעס שלייף אריבער:
קאָוטינג (שפּריץ קלעפּשטאָף) → באַנדינג (אַליינמענט + דריקן + וואַקוום דיבאַבלינג) → סינטערינג/קאַרבאָניזאַציע (קאָנסאָלידאַציע און קיורינג)
דורך קאָנטראָלירן קלעפּשטאָף פאָרמירונג, בלאָז באַזייַטיקונג, און לעצט קאַנסאַלאַדיישאַן ווי איין קייט, די לייזונג פֿאַרבעסערט קאָנסיסטענסי, מאַנופאַקטוראַביליטי, און סקאַלאַביליטי.

קאָנפיגוראַציע אָפּציעס
א. האַלב-אָטאָמאַטיש ליניע
SiC שפּריץ קאָוטינג מאַשין → SiC באַנדינג מאַשין → SiC סינטערינג אויוון
ב. גאָר אויטאָמאַטישע ליניע
אויטאָמאַטיש שפּריץ קאָוטינג און באַנדינג מאַשין → SiC סינטערינג אויוון
אפציאָנעלע אינטעגראַציעס: ראָבאָטישע האַנדלינג, קאַליבראַציע/אַליינמענט, אידענטיפיקאַציע לייענען, בלאָז דעטעקשאַן

שליסל בענעפיטן
• קאָנטראָלירטע קלעפּשטאָף שיכט גרעב און קאַווערידזש פֿאַר פֿאַרבעסערטע ריפּיטאַביליטי
• צענטער אויסלייג און לופטזאַק דריקן פֿאַר קאָנסיסטענט קאָנטאַקט און דרוק פאַרשפּרייטונג
• וואַקוום דיבאַבלינג צו רעדוצירן בלאָזן/ליידיקע אָרט אינעווייניק פון די קלעפּיקע שיכט
• אַדזשאַסטאַבאַל טעמפּעראַטור/דרוק קאַרבאָניזאַציע קאָנסאָלידאַציע צו סטאַביליזירן די לעצטע בונד
• אויטאמאטישע אפציעס פאר סטאבילן ציקל צייט, טרעיסאַביליטי, און אין-ליין קוואַליטעט קאָנטראָל
פּרינציפּ
פארוואס טראדיציאנעלע מעטאדן האבן שוועריגקייטן
זוימען בונד פאָרשטעלונג איז טיפּיש לימיטעד דורך דרייַ פֿאַרבונדענע וועריאַבאַלז:
-
קלעפּיק שיכטע קאָנסיסטענסי (גרעב און איינהייטלעכקייט)
-
בלאָז/פּאָסט קאָנטראָל (לופט פֿאַרשפּאַרט אין דער קלעפּיקער שיכט)
-
פּאָסט-בונד סטאַביליטעט נאָך קיורינג/קאַרבאָניזאַציע
מאַנועלע קאָוטינג פירט געוויינטלעך צו גרעב ינקאַנסיסטאַנסי, שוועריקייט מיט דיבאַבלינג, העכערע ינערלעכע ליידיקע ריזיקע, מעגלעך קראַצן פון גראַפיט סערפאַסיז, און שלעכטע סקאַלאַביליטי פֿאַר מאַסע פּראָדוקציע.
ספּין קאָוטינג קען פּראָדוצירן אַן אומסטאַבילע גרעב צוליב דעם קלעפּשטאָף-פלוס, ייבערפלאַך שפּאַנונג, און צענטריפוגאַל קראַפט. עס קען אויך האָבן זייַטיקע קאָנטאַמינאַציע און פיקסטערינג באַגרענעצונגען אויף גראַפיט פּאַפּיר/פּלאַטעס, און קען זיין שווער פֿאַר קלעפּשטאָפֿן מיט האַרט אינהאַלט צו באַדעקן איינהייטלעך.

ווי דער אינטעגרירטער צוגאַנג אַרבעט
קאָוטינג: שפּריץ קאָוטינג פאָרמירט אַ מער קאָנטראָלירבארע קלעפּשטאָף שיכט גרעב און קאַווערידזש אויף ציל סערפאַסיז (זאָמען/ווייפער, גראַפיט פּאַפּיר/פּלאַטע).
פֿאַרבינדונג: צענטער־אַליינמענט + לופטזאַק־דריקן שטיצט קאָנסיסטענטן קאָנטאַקט; וואַקוום־דעבאַבאַלינג רעדוצירט פֿאַרשפּאַרטע לופֿט, בלאָזן און ליידיגע אָרטן אין דער קלעפּיקער שיכט.
סינטערינג/קאַרבאָניזאַציע: הויך-טעמפּעראַטור קאָנסאָלידאַציע מיט אַדזשאַסטאַבאַל טעמפּעראַטור און דרוק סטאַביליזירט די לעצט באַנדאַד צובינד, צילנדיק בלאָז-פֿרייַ און מונדיר פּרעסינג רעזולטאַטן.
רעפערענץ פאָרשטעלונג סטעיטמענט
קאַרבאָניזאַציע באַנדינג ייעלד קען דערגרייכן 90%+ (פּראָצעס רעפערענץ). טיפּישע באַנדינג ייעלד רעפערענצן זענען ליסטעד אין די קלאַסישע קאַסעס אָפּטיילונג.
פּראָצעס
א. האַלב-אָטאָמאַטישער וואָרקפלאָו
שריט 1 — שפּריץ קאָוטינג (קאָוטינג)
טראָגט אויף קלעפּשטאָף דורך שפּריץ קאָוטינג אויף די ציל ייבערפלאַכן צו דערגרייכן אַ סטאַבילע גרעב און מונדיר קאַווערידזש.
שריט 2 — אויסריכטונג און פארבינדונג (פארבינדונג)
פירט אויס צענטער אויסלייג, לייגט צו לופט-זיגעל פרעסינג, און ניצט וואקיום דיבאַבאַלינג צו באַזײַטיקן איינגעפאקטע לופט אין דער קלעפּיקער שיכט.
שריט 3 — קארבאניזאציע קאנסאלידאציע (סינטערינג/קארבאניזאציע)
טראַנספערירן באַנדאַד טיילן אין די סינטערינג אויוון און לויפן הויך-טעמפּעראַטור קאַרבאָניזאַטיאָן קאַנסאַלאַדיישאַן מיט אַדזשאַסטאַבאַל טעמפּעראַטור און דרוק צו סטאַביליזירן די לעצט בונד.
ב. גאָר אויטאָמאַטישער וואָרקפלאָו
די אויטאָמאַטישע שפּריץ קאָוטינג און באַנדינג מאַשין אינטעגרירט קאָוטינג און באַנדינג אַקשאַנז און קען אַרייַננעמען ראָבאָטישע האַנדלינג און קאַליבראַציע. אין-ליין אָפּציעס קענען אַרייַננעמען אידענטיפיקאַציע לייענען און בלאָז דעטעקשאַן פֿאַר טרייסאַביליטי און קוואַליטעט קאָנטראָל. טיילן גייען דאַן ווייטער צו די סינטערינג אויוון פֿאַר קאַרבאָניזאַציע קאַנסאַלאַדיישאַן.
פּראָצעס רוט פלעקסאַביליטי
דעפּענדינג אויף צובינד מאַטעריאַלן און בילכער פּראַקטיק, קען די סיסטעם שטיצן פֿאַרשידענע קאָוטינג סיקוואַנסן און איין-זייַטיקע אָדער צוויי-זייַטיקע שפּריץ רוטעס בשעת'ן אויפהאלטן די זעלבע ציל: סטאַבילע קלעפּיקע שיכט → עפעקטיווע דיבאַבלינג → מונדיר קאַנסאַלאַדיישאַן.

אַפּליקאַציעס
הויפּט אַפּליקאַציע
SiC קריסטאַל וווּקס אַפּסטרים זוימען באַנדינג: באַנדינג זוימען/ווייפער צו גראַפיט פּאַפּיר/גראַפיט פּלאַטע און פֿאַרבונדענע אינטערפאַסעס, נאכגעגאנגען דורך קאַרבאָניזאַציע קאַנסאַלאַדיישאַן.
גרייס סצענאַריאָס
שטיצט 6/8/12-אינטש באַנדינג אַפּלאַקיישאַנז דורך קאָנפיגוראַציע סעלעקציע און וואַלידירט פּראָצעס רוטינג.
טיפּישע פּאַסיק אינדיקאַטאָרן
• מאַנועלע קאָוטינג פאַראורזאַכט גרעב וועריאַביליטי, בלאָזן/ליידיקע אָרט, קראַצן, און נישט קאָנסיסטענט ייעלד
• די גרעב פון די ספּין קאָוטינג איז נישט סטאַביל אָדער שווער אויף גראַפיט פּאַפּיר/פּלאַטעס; עס עקזיסטירן לימיטאַציעס אויף זייטיקע קאָנטאַמינאַציע/פֿיקסטשערינג.
• איר דאַרפֿט סקאַלירבאַרע מאַנופאַקטורינג מיט אַ שטרענגערע ריפּיטאַביליטי און נידעריקער אָפּעראַטאָר-אָפּהענגיקייט
• איר ווילט אויטאמאטיזאציע, טרעיסאַביליטי, און אין-ליין QC אָפּציעס (ID + בלאָז דעטעקציע)
קלאַסישע פאַלן (טיפּישע רעזולטאַטן)
באַמערקונג: די פאלגענדע זענען טיפּישע רעפערענץ דאַטן / פּראָצעס רעפערענצן. די פאַקטישע פאָרשטעלונג דעפּענדס אויף די קלעפּיק סיסטעם, די באדינגונגען פון די אַרייַנקומענדיקע מאַטעריאַל, די וואַלידירטע פּראָצעס פֿענצטער און די דורכקוק סטאַנדאַרדן.
פאַל 1 — 6/8-אינטש זוימען באַנדינג (דורכפיר און ייעלד רעפערענץ)
קיין גראַפיט פּלאַטע: 6 שטיק/איינהייט/טאָג
מיט גראַפיט פּלאַטע: 2.5 פּקס/איינהייט/טאָג
בונדינג ייעלד: ≥95%
פאַל 2 — 12-אינטש זוימען באַנדינג (דורכפיר און ייעלד רעפערענץ)
קיין גראַפיט פּלאַטע: 5 פּקס/איינהייט/טאָג
מיט גראַפיט פּלאַטע: 2 שטיק/איינהייט/טאָג
בונדינג ייעלד: ≥95%
פאַל 3 — קאַרבאָניזאַציע קאָנסאָלידאַציע ייעלד רעפערענץ
קאַרבאָניזאַציע באַנדינג ייעלד: 90%+ (פּראָצעס רעפֿערענץ)
ציל רעזולטאַט: בלאָז-פֿרייע און איינהייטלעכע פּרעסינג רעזולטאַטן (אונטערטעניק צו וואַלידאַציע און דורכקוק קרייטיריאַ)

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס
פ1: וואָס איז די הויפּט פּראָבלעם וואָס די לייזונג אַדרעסירט?
א: עס סטאַביליזירט זוימען באַנדינג דורך קאָנטראָלירן קלעפּשטאָף גרעב/קאַווערידזש, דיבאַבלינג פאָרשטעלונג, און פּאָסט-בונד קאַנסאַלאַדיישאַן - וואָס טורנס אַ בקיאקייט-אָפענגיק שריט אין אַ ריפּיטאַבאַל מאַנופאַקטורינג פּראָצעס.
פ2: פארוואס פירט מאנועלע באַדעקונג אָפט צו בלאָזן/ליידיקע זאַכן?
א: מאַנועלע מעטאָדן האָבן שוועריקייטן צו האַלטן אַ קאָנסיסטענטע גרעב, וואָס מאַכט דיבאַבלינג שווערער און פאַרגרעסערט די ריזיקע פון פֿאַרשפּאַרטע לופט. זיי קענען אויך קראַצן גראַפיט ייבערפלאַכן און זענען שווער צו סטאַנדאַרדיזירן ביי וואָלומען.
פ3: פארוואס קען ספּין קאָוטינג זיין נישט סטאַביל פֿאַר דעם אַפּלאַקיישאַן?
א: גרעב איז סענסיטיוו צו קלעפּשטאָף פלוס נאַטור, ייבערפלאַך שפּאַנונג, און צענטריפוגאַל קראַפט. גראַפיט פּאַפּיר/פּלאַטע קאָוטינג קען זיין באַגרענעצט דורך פיקסטשערינג און זייַט קאַנטאַמאַניישאַן ריזיקירן, און קלעפּשטאָפן מיט האַרט אינהאַלט קענען זיין שווער צו יוואַנלי ספּין קאָוטינג.
וועגן אונדז
XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.










