סיק קעראַמיש טשאַק טאַץ קעראַמיש סאַקשאַן טעפּלעך פּינטלעכקייט מאַשינינג קאַסטאַמייזד
מאַטעריאַל קעראַקטעריסטיקס:
1. הויכע כאַרדנאַס: די מאָהס כאַרדנאַס פון סיליקאָן קאַרבייד איז 9.2-9.5, צווייט נאָר צו דיאַמאָנד, מיט שטאַרק טראָגן קעגנשטעל.
2. הויכע טערמישע קאנדוקטיוויטעט: די טערמישע קאנדוקטיוויטעט פון סיליקאן קארבייד איז אזוי הויך ווי 120-200 וואט/מ·ק, וואס קען שנעל פארשפרייטן היץ און איז פאסיג פאר א הויך טעמפעראטור סביבה.
3. נידעריק טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט: סיליקאָן קאַרבייד טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט איז נידעריק (4.0-4.5 × 10⁻⁶/K), קענען נאָך האַלטן דימענשאַנאַל פעסטקייַט ביי הויך טעמפּעראַטור.
4. כעמישע פעסטקייט: סיליקאָן קאַרבייד זויער און אַלקאַלי קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פּאַסיק פֿאַר נוצן אין כעמיש קעראָוסיוו סוויווע.
5. הויך מעכאנישע שטאַרקייט: סיליקאָן קאַרבייד האט הויך בענדינג שטאַרקייט און קאַמפּרעסיוו שטאַרקייט, און קען וויטשטיין גרויס מעכאנישע דרוק.
פֿעיִקייטן:
1. אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, דאַרפן גאָר דינע וועיפערס געשטעלט ווערן אויף אַ וואַקוום זויג-בעכער, די וואַקוום זויג ווערט גענוצט צו פאַרריכטן די וועיפערס, און דער פּראָצעס פון וואַקסן, דין מאַכן, וואַקסן, רייניקונג און שניידן ווערט דורכגעפירט אויף די וועיפערס.
2. סיליקאָן קאַרבייד סאַקער האט גוטע טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי, קענען יפעקטיוולי פאַרקירצן די וואַקסינג און וואַקסינג צייט, פֿאַרבעסערן פּראָדוקציע עפעקטיווקייט.
3. סיליקאָן קאַרבייד וואַקוום סאַקער האט אויך גוטע זויער און אַלקאַלי קעראָוזשאַן קעגנשטעל.
4. קאַמפּערד מיט די טראַדיציאָנעלע קאָרונדום טרעגער פּלאַטע, פאַרקירצט די לאָודינג און אַנלאָודינג באַהיצונג און קאָאָלינג צייט, פֿאַרבעסערן די אַרבעט עפעקטיווקייַט; אין דער זעלביקער צייט, עס קען רעדוצירן די טראָגן צווישן די אויבערשטער און נידעריקער פּלאַטעס, האַלטן גוט פלאַך אַקיעראַסי, און פאַרלענגערן די דינסט לעבן דורך וועגן 40%.
5. די מאַטעריאַל פּראָפּאָרציע איז קליין, לייכט אין וואָג. עס איז גרינגער פֿאַר אָפּעראַטאָרן צו טראָגן פּאַלעטן, וואָס רעדוצירט דעם ריזיקאָ פֿון קאָליזיע-שאָדן פֿאַראורזאַכט דורך טראַנספּאָרט שוועריקייטן מיט בערך 20%.
6. גרייס: מאַקסימום דיאַמעטער 640 מם; פלאַכקייט: 3ום אָדער ווייניקער
אַפּליקאַציע פעלד:
1. האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע
●וואַפער פּראַסעסינג:
פֿאַר וועיפער פֿיקסאַציע אין פֿאָטאָליטהאָגראַפֿיע, עטשינג, דין פֿילם דעפּאָזיציע און אַנדערע פּראָצעסן, וואָס זיכערט הויך אַקיעראַסי און פּראָצעס קאָנסיסטענסי. זײַן הויך טעמפּעראַטור און קעראָוזשאַן קעגנשטעל איז פּאַסיק פֿאַר שווערע האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופֿאַקטורינג סביבות.
●עפּיטאַקסיאַל וווּקס:
אין SiC אדער GaN עפּיטאַקסיאַל וווּקס, ווי אַ טרעגער צו היץ און פיקסירן וועיפערס, ענשורינג טעמפּעראַטור יונאַפאָרמאַטי און קריסטאַל קוואַליטעט ביי הויך טעמפּעראַטורעס, ימפּרוווינג מיטל פאָרשטעלונג.
2. פאָטאָעלעקטרישע עקוויפּמענט
●LED פּראָדוקציע:
געניצט צו פיקסירן סאַפייער אָדער SiC סאַבסטראַט, און ווי אַ הייצונג טרעגער אין MOCVD פּראָצעס, צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי פון עפּיטאַקסיאַל וווּקס, פֿאַרבעסערן LED ליכטיק עפעקטיווקייַט און קוואַליטעט.
●לאַזער דיאָד:
אלס א הויך-גענוי פיקסטשער, פיקסיר און הייצונג סאַבסטראַט צו ענשור פּראָצעס טעמפּעראַטור פעסטקייַט, פֿאַרבעסערן די רעזולטאַט מאַכט און רילייאַבילאַטי פון די לאַזער דייאָוד.
3. פּרעציזיע מאַשינינג
● אָפּטישע קאָמפּאָנענט פּראַסעסינג:
עס ווערט גענוצט צו פאַרריכטן פּרעציזיע קאָמפּאָנענטן ווי אָפּטישע לענסעס און פילטערס צו ענשור הויך פּרעציזיע און נידעריק פאַרפּעסטיקונג בעשאַס פּראַסעסינג, און איז פּאַסיק פֿאַר הויך-ינטענסיטי מאַשינינג.
●קעראַמישע פּראַסעסינג:
אלס א הויך-שטאביליטעט פיקסטשער, איז עס פאסיג פאר פּינקטלעכער מאַשינינג פון קעראַמישע מאַטעריאַלן צו ענשור מאַשינינג אַקיעראַסי און קאָנסיסטענסי אונטער הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו סביבה.
4. וויסנשאפטלעכע עקספּערימענטן
● הויך טעמפּעראַטור עקספּערימענט:
אלס א מוסטער פיקסאציע מיטל אין הויך טעמפעראטור סביבות, שטיצט עס עקסטרעמע טעמפעראטור עקספערימענטן העכער 1600°C צו זיכער מאכן טעמפעראטור איינהייטלעכקייט און מוסטער סטאביליטעט.
● וואַקוום טעסט:
אלס א מוסטער פיקסיר און הייצונג טרעגער אין וואקיום סביבה, צו ענשור די אַקיעראַסי און ריפּיטאַביליטי פון דעם עקספּערימענט, פּאַסיק פֿאַר וואַקוום קאָוטינג און היץ באַהאַנדלונג.
טעכנישע ספּעציפֿיקאַציעס:
| (מאַטעריאַל אייגנשאַפט) | (איינהייט) | (סיק) | |
| (SiC אינהאַלט) |
| (געוויכט)% | >99 |
| (דורכשניטלעכע קערל גרייס) |
| מיקראָן | 4-10 |
| (געדיכטקייט) |
| ק״ג/ד״מ³ | >3.14 |
| (אויסזעענדיקע פּאָראָזיטעט) |
| וואָ1% | <0.5 |
| (וויקערס כאַרדנאַס) | ה.וו. 0.5 | גפּאַ | 28 |
| *(בייגונג שטאַרקייט) | 20ºC | MPa | 450 |
| (קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (עלאַסטישער מאָדולוס) | 20ºC | גפּאַ | 420 |
| (בראָך האַרטקייט) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (טערמישע קאַנדאַקטיוויטי) | 20°C | וו/(מ*ק) | 160 |
| (קעגנשטעל) | 20°C | אָום.ס״מ | 106-108 |
|
| א(RT**...80ºC) | ק-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| אָºC | 1700 |
מיט יאָרן פון טעכנישער אַקומולאַציע און אינדוסטריע דערפאַרונג, איז XKH ביכולת צו צופּאַסן שליסל פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי די גרייס, הייצונג מעטאָד און וואַקוום אַדסאָרפּטיאָן פּלאַן פון די טשאַק לויט די ספּעציפֿישע באדערפענישן פון די קונה, און זיכער מאַכן אַז די פּראָדוקט איז פּערפעקט צוגעפאסט צו די קונה ס פּראָצעס. SiC סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טשאַקס זענען געוואָרן ינדיספּענסאַבאַל קאָמפּאָנענטן אין וועיפער פּראַסעסינג, עפּיטאַקסיאַל וווּקס און אנדערע שליסל פּראַסעסאַז רעכט צו זייער ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי, הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט און כעמיש פעסטקייַט. ספּעציעל אין די מאַנופאַקטורינג פון דריט-דור האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלס אַזאַ ווי SiC און GaN, די פאָדערונג פֿאַר סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טשאַקס פאָרזעצן צו וואַקסן. אין דער צוקונפֿט, מיט די שנעל אַנטוויקלונג פון 5G, עלעקטרישע וועהיקלעס, קינסטלעך סייכל און אנדערע טעקנאַלאַדזשיז, די אַפּלאַקיישאַן פּראַספּעקס פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טשאַקס אין די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע וועט זיין ברייטער.
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
