KY און EFG Sapphire Method Tube סאַפייער ראַדז רער הויך-דרוק
באַשרייַבונג
סאַפייער ראַדז זענען געניצט אין אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז. א סאַפייער רוט קענען זיין געמאכט מיט אַלע סערפאַסיז פּאַלישט פֿאַר אָפּטיש און טראָגן אַפּלאַקיישאַנז אָדער מיט אַלע סערפאַסיז פייַן מאָל (ניט-פּאַלישט) צו דינען ווי אַן ינסאַלייטער.
טעכנאָלאָגיע
בעשאַס דעם פּראָצעס פון פּולינג סאַפייער טובז פון אַ צעשמעלצן מיט די הילף פון אַ זוימען, די לאַנדזשאַטודאַנאַל טעמפּעראַטור גראַדיענט אין דער זאָנע צווישן די סאַלידאַפייד פראָנט און דער געגנט פון פּולינג ווו די טעמפּעראַטור איז צווישן 1850 און 1900 דיגריז. C איז מיינטיינד נישט יקסיד 30 דיגריז. C/cm. די רער אַזוי דערוואַקסן איז אַנניילד אין אַ טעמפּעראַטור צווישן 1950 און 2000 דיגריז. C דורך ינקריסינג די טעמפּעראַטור אין אַ קורס פון 30-40 דיגריז. C / מין און בעכעסקעם די רער אין די טעמפּעראַטור אין אַ צייט צווישן 3 און 4 שעה. נאָך דעם, די רער איז קולד אַראָפּ צו צימער טעמפּעראַטור אין אַ קורס פון 30-40 דיגריז. C/min.
סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג אַפּפּליקאַטיאָנס
(HPD CVD, PECVD, Dry Etch, Wet Etch).
פּלאַזמע אַפּלאַקייטער רער.
פּראָצעס גאַז ינדזשעקטער נאַזאַלז.
ענדפּוינט דעטעקטאָר.
עקססימער קאָראָנאַ טובז.
פּלאַזמע קאַנטיינמאַנט טובז
פּלאַזמע רער סילינג מאַשין איז אַ מיטל געניצט צו ענקאַפּסאַלייט עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ. דער פּרינציפּ איז צו נוצן די הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק פון פּלאַזמע צו צעשמעלצן די פּאַקקאַגינג מאַטעריאַל און ענקאַפּסאַלייט עס אויף די קאָמפּאָנענט. די הויפּט קאַמפּאָונאַנץ פון פּלאַזמע רער סילינג מאַשין אַרייַננעמען פּלאַזמע גענעראַטאָר, רער סילינג קאַמער, וואַקוום סיסטעם, קאָנטראָל סיסטעם, עטק.
טהערמאָקאָופּלע שוץ שייד (טהערמאָוועלל)
טהערמאָקאָופּלע איז אַ קאַמאַנלי געניצט טעמפּעראַטור מעסטן עלעמענט אין טעמפּעראַטור מעסטן ינסטרומענט, עס גלייך מעסטן די טעמפּעראַטור און קאַנווערץ די טעמפּעראַטור סיגנאַל אין טערמאָועלעקטריק עלעקטראָמאָטיווע קראַפט סיגנאַל דורך די עלעקטריקאַל קיילע (צווייטיק קיילע) אין די טעמפּעראַטור פון די געמאסטן מיטל.
וואַסער באַהאַנדלונג / רייניקונג
סאַפייער טוב פּראָפּערטיעס (טעאָרעטיש)
קאַמפּאַונד פאָרמולע | אַל2אָ3 |
מאָלעקולאַר וואָג | 101.96 |
אויסזען | טראַנסלוסאַנט טובז |
מעלטינג פונט | 2050 °C (3720 °F) |
בוילינג פונט | 2,977° C (5,391° F) |
געדיכטקייַט | 4.0 ג/cm3 |
מאָרפאָלאָגי | טריגאָנאַל (העקס), ר3ק |
סאָלוביליטי אין H2O | 98 רענטגענ 10-6 ג / 100 ג |
רעפראַקטיווע אינדעקס | 1.8 |
עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | 17 10קס Ω-ם |
פּאָיססאָן ס פאַרהעלטעניש | 0.28 |
ספּעציפיש היץ | 760 J Kg-1 K-1 (293K) |
טענסאַל סטרענגטה | 1390 מפּאַ (לעצט) |
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי | 30 וו/מק |
טערמאַל יקספּאַנשאַן | 5.3 μm/mK |
יונג ס מאָדולע | 450 גפּאַ |
פּינטלעך מאַסע | 101.948 ג / מאָל |
מאָנאָיסטאָפּיק מאַסע | 101.94782 דאַ |