סאַפייער טוב סאַפייער ראַדז ספּעציעל פאָרעם הויך-דרוק KY און EFG

בעשאַס דעם פּראָצעס פון פּולינג סאַפייער טובז פון אַ צעשמעלצן מיט די הילף פון אַ זוימען, די לאַנדזשאַטודאַנאַל טעמפּעראַטור גראַדיענט אין דער זאָנע צווישן די סאַלידאַפייד פראָנט און דער געגנט פון פּולינג ווו די טעמפּעראַטור איז צווישן 1850 און 1900 דיגריז. C איז מיינטיינד נישט העכער ווי 30 דיגריז. C/cm. די רער אַזוי דערוואַקסן איז אַנניילד אין אַ טעמפּעראַטור צווישן 1950 און 2000 דיגריז. C דורך ינקריסינג די טעמפּעראַטור אין אַ קורס פון 30-40 דיגריז. C / מין און בעכעסקעם די רער אין דער טעמפּעראַטור אין אַ צייט צווישן 3 און 4 שעה. נאָך דעם, די רער איז קולד אַראָפּ צו צימער טעמפּעראַטור אין אַ קורס פון 30-40 דיגריז. C/min.

סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג אַפּלאַקיישאַנז:

(HPD CVD, PECVD, Dry Etch, Wet Etch)

פּלאַזמע אַפּלאַקייטער רער

פּראָצעס גאַז ינדזשעקטער נאַזאַלז

ענדפּוינט דעטעקטאָר

עקססימער קאָראָנאַ טובז