פּרעציזיע מיקראָדזשעט לאַזער סיסטעם פֿאַר שווערע און שוואַכע מאַטעריאַלן

קורצע באַשרייַבונג:

איבערבליק:

דיזיינט פאר דער פּינקטלעכער פאַראַרבעטונג פון הויך-ווערטיקע, שווערע און שוואַכע מאַטעריאַלן, נוצט דאָס אַוואַנסירטע לאַזער מאַשינינג סיסטעם מיקראָדזשעט לאַזער טעכנאָלאָגיע צוזאַמען מיט אַ DPSS Nd:YAG לאַזער מקור, וואָס אָפפערס צוויי-וועוולענגט אָפּעראַציע ביי 532 נם און 1064 נם. מיט קאָנפיגוראַבלע מאַכט אַוטפּוץ פון 50 וואט, 100 וואט, און 200 וואט, און אַ באַמערקונגסווערט פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פון ±5μm, איז דאָס סיסטעם אָפּטימיזירט פֿאַר דערוואַקסן אַפּלאַקיישאַנז אַזאַ ווי סלייסינג, דייסינג, און קאַנט ראַונדינג פון סיליקאָן קאַרבייד וועיפערז. עס שטיצט אויך אַ ברייט קייט פון ווייַטער-דור מאַטעריאַלן אַרייַנגערעכנט גאַליום ניטרידע, דיאַמאָנד, גאַליום אָקסייד, אַעראָספּייס קאַמפּאַזאַץ, LTCC סאַבסטראַטעס, פאָטאָוואָלטאַיק וועיפערז, און סינטיללאַטאָר קריסטאַלז.

אויסגעשטאַט מיט ביידע לינעאַרע און דירעקט-דרייוו מאָטאָר אָפּציעס, טרעפט דאָס סיסטעם די פּערפעקטע וואָג צווישן הויך פּינקטלעכקייט און פּראַסעסינג גיכקייט - מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר ביידע פאָרשונג אינסטיטוציעס און ינדאַסטריאַלע פּראָדוקציע סביבות.


פֿעיִטשערז

שליסל פֿעיִקייטן

1. צוויי-וועוולענגט Nd:YAG לאַזער מקור
ניצנדיק אַ דיאָד-געפּאַמפּט סאָליד-סטעיט Nd:YAG לאַזער, שטיצט די סיסטעם ביידע גרין (532 נאַנאָמעטער) און ינפראַרעד (1064 נאַנאָמעטער) כוואַליע לענגקטס. די צוויי-באַנד קייפּאַבילאַטי ענייבאַלז העכערע קאָמפּאַטאַבילאַטי מיט אַ ברייט ספּעקטרום פון מאַטעריאַל אַבזאָרפּשאַן פּראָופיילז, פֿאַרבעסערן פּראַסעסינג גיכקייַט און קוואַליטעט.

2. אינאָוואַטיווע מיקראָדזשעט לאַזער טראַנסמיסיע
דורך פארבינדן דעם לייזער מיט א הויך-דרוק וואסער מיקראדזשעט, נוצט דאס סיסטעם אויס גאנצע אינערליכע רעפלעקציע צו קאנאליזירן לייזער ענערגיע גענוי צוזאמען דעם וואסער שטראם. דער אייגנארטיגער ליפערונג מעכאניזם גאראנטירט אולטרא-פיינעם פאקוס מיט מינימאלער צעשפרייטונג און ליפערט ליניע ברייטן אזוי פיין ווי 20μm, וואס גיט אומגעגלייכע שניט קוואליטעט.

3. טערמישע קאנטראל אויף מיקראָ וואָג
אן אינטעגרירטער פּרעציזיע וואַסער-קילונג מאָדול רעגולירט טעמפּעראַטור ביים פּראָצעסירונג פונקט, און האַלט די היץ-באַטראָפענע זאָנע (HAZ) אינערהאלב 5μm. די אייגנשאַפט איז ספּעציעל ווערטפול ווען מען אַרבעט מיט היץ-סענסיטיווע און בראָך-פּראָנע מאַטעריאַלן ווי SiC אָדער GaN.

4. מאָדולאַר מאַכט קאָנפיגוראַציע
די פּלאַטפאָרמע שטיצט דריי לאַזער מאַכט אָפּציעס - 50 וואט, 100 וואט, און 200 וואט - וואָס אַלאַוז קאַסטאַמערז צו סעלעקטירן די קאָנפיגוראַציע וואָס פּאַסט צו זייער דורכפֿלוס און רעזאָלוציע באדערפענישן.

5. פּרעציזיע באַוועגונג קאָנטראָל פּלאַטפאָרמע
די סיסטעם נעמט אריין א הויך-גענויקייט בינע מיט ±5μm פאזיציאנירונג, מיט 5-אקס באוועגונג און אפציאנעלע לינעארע אדער דירעקט-דרייוו מאטארן. דאס גאראנטירט הויך איבערחזרנדיקייט און בייגיקייט, אפילו פאר קאמפליצירטע געאמעטריעס אדער בעטש פראסעסינג.

אַפּליקאַציע געביטן

סיליקאָן קאַרבייד וועיפער פּראַסעסינג:

אידעאַל פֿאַר קאַנט טרימינג, סלייסינג און דייסינג פון SiC וועיפערס אין מאַכט עלעקטראָניק.

גאליום ניטריד (GaN) סאַבסטראַט מאַשינינג:

שטיצט הויך-פּרעציציע סקרייבינג און שניידן, צוגעפּאַסט פֿאַר RF און LED אַפּלאַקיישאַנז.

ברייט באַנדגאַפּ האַלבקאָנדוקטאָר סטרוקטורירונג:

קאָמפּאַטיבל מיט דימענט, גאַליום אָקסייד, און אַנדערע אויפֿקומענדיקע מאַטעריאַלן פֿאַר הויך-פֿרעקווענץ, הויך-וואָולטידזש אַפּליקאַציעס.

אַעראָספּייס קאָמפּאָסיט קאַטינג:

פּינקטלעכע שניידן פון קעראַמישע מאַטריץ קאָמפּאָזיטן און אַוואַנסירטע אַעראָספּייס-גראַד סאַבסטראַטן.

LTCC און פאָטאָוואָלטאַיק מאַטעריאַלן:

געניצט פֿאַר מיקראָ דורך דרילינג, טרענטשינג, און סקריבינג אין הויך-פרעקווענץ פּקב און זונ - צעל מאַנופאַקטורינג.

סינטילאַטאָר און אָפּטיש קריסטאַל פאָרמינג:

ערמעגליכט נידעריק-דעפעקט שניידן פון איטריום-אַלומינום גאַרנעט, LSO, BGO, און אַנדערע פּרעציזיע אָפּטיקס.

ספּעציפֿיקאַציע

ספּעציפֿיקאַציע

ווערט

לאַזער טיפּ די-פי-עס-עס נד:יאג
געשטיצט כוואַליע לענגקטס 532 נאַנאָמעטער / 1064 נאַנאָמעטער
מאַכט אָפּציעס 50 וואט / 100 וואט / 200 וואט
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי ±5μm
מינימום ליניע ברייט ≤20μm
היץ-געטראפענע זאָנע ≤5μm
באַוועגונג סיסטעם לינעאַר / דירעקט-דרייוו מאָטאָר
מאַקסימום ענערגיע געדיכטקייט ביז 10⁷ וואט/קמ²

 

מסקנא

די מיקראָדזשעט לאַזער סיסטעם רידיפיינד די גרענעצן פון לאַזער מאַשינינג פֿאַר שווערע, שוואַכע און טערמיש סענסיטיווע מאַטעריאַלן. דורך זיין אייגנאַרטיקער לאַזער-וואַסער אינטעגראַציע, צוויי-וועוולענגט קאָמפּאַטאַביליטי און פלעקסאַבאַל באַוועגונג סיסטעם, אָפפערט עס אַ פּאַסיקע לייזונג פֿאַר פאָרשער, פאַבריקאַנטן און סיסטעם אינטעגראַטאָרן וואָס אַרבעטן מיט שניידנדיקע מאַטעריאַלן. צי געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקן, אַעראָספּייס לאַבאָראַטאָריעס אָדער זונ - פּאַנעל פּראָדוקציע, די פּלאַטפאָרמע גיט פאַרלאָזלעכקייט, ריפּיטאַביליטי און פּינקטלעכקייט וואָס געבן די מעגלעכקייט צו מאַטעריאַל פּראַסעסינג פון דער ווייַטער דור.

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

0d663f94f23adb6b8f5054e31cc5c63
7d424d7a84affffb1cf8524556f8145
754331fa589294c8464dd6f9d3d5c2e

  • פריערדיג:
  • ווייטער:

  • שרייב דיין מעסעדזש דא און שיקט עס צו אונז