פּ-טיפּ סיק ווייפער 4H/6H-P 3C-N 6 אינטש גרעב 350 μם מיט ערשטיק פלאַך אָריענטירונג

קורץ באַשרייַבונג:

די P-Type SiC ווייפער, 4H/6H-P 3C-N, איז אַ 6-אינטש סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל מיט אַ גרעב פון 350 μם און ערשטיק פלאַך אָריענטירונג, דיזיינד פֿאַר אַוואַנסירטע עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז. באַוווסט פֿאַר זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון וואָולטידזש און קעגנשטעל צו עקסטרעם טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ, דעם ווייפער איז פּאַסיק פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניש דעוויסעס. די פּ-טיפּ דאָפּינג ינטראַדוסיז האָלעס ווי די ערשטיק אָפּצאָל קאַריערז, וואָס מאכט עס ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק און רף אַפּלאַקיישאַנז. זיין געזונט סטרוקטור ינשורז סטאַביל פאָרשטעלונג אונטער הויך-וואָולטידזש און הויך-אָפטקייַט טנאָים, מאכן עס געזונט-סוטאַד פֿאַר מאַכט דעוויסעס, הויך-טעמפּעראַטור עלעקטראָניק און הויך-עפעקטיווקייַט ענערגיע קאַנווערזשאַן. די ערשטיק פלאַך אָריענטירונג ינשורז פּינטלעך אַליינמאַנט אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, פּראַוויידינג קאָנסיסטענסי אין מיטל פאַבריקיישאַן.

שיקן בליצפּאָסט צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

Specification4H/6H-P Type SiC Composite Substrates פּראָסט פּאַראַמעטער טיש

6 אינטש דיאַמעטער סיליציום קאַרבידע (סיק) סאַבסטרייט באַשרייַבונג

גראַדע			נול MPD פּראָדוקציעגראַדע (ז גראַד)	נאָרמאַל פּראָדוקציעגראַד (פּ גראַד)	דאַמי גראַדע (D גראַד)
דיאַמעטער			145.5 מם ~ 150.0 מם
גרעב			350 μם ± 25 μם
ווייפער אָריענטירונג			-Offאַקס: 2.0°-4.0° צו [1120] ± 0.5° פֿאַר 4H/6H-P, אויף אַקס:〈111〉± 0.5° פֿאַר 3C-N
מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט			0 סענטימעטער-2
רעסיסטיוויטי	פּ-טיפּ 4ה / 6ה-פּ		≤0.1 Ωꞏקם		≤0.3 Ωꞏקם
	n-טיפּ 3C-N		≤0.8 מΩꞏקם		≤1 עם Ωꞏקם
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג		4ה/6ה-פּ	-{1010} ± 5.0°
		3C-N	-{110} ± 5.0°
ערשטיק פלאַך לענג			32.5 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך לענג			18.0 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך אָריענטירונג			סיליציום פּנים אַרויף: 90 ° CW. פון פּריים פלאַך ± 5.0 °
עדזש יקסקלוזשאַן			3 מם		6 מם
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μם/≤5 μם/≤15 μם/≤30 μם		≤10 μם/≤15 μם/≤25 μם/≤40 μם
ראַפנאַס			פויליש Ra≤1 נם
			CMP Ra≤0.2 נם		Ra≤0.5 נם
ברעג קראַקס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג ≤ 10 מם, איין לענג ≤ 2 מם
העקס פּלאַטעס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.1%
פּאָליטיפּע געביטן דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו שטח≤3%
וויסואַל קאַרבאָן ינקלוזשאַנז			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤3%
סיליציום ייבערפלאַך סקראַטשיז דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג≤1×ווייפער דיאַמעטער
ברעג טשיפּס הויך דורך ינטענסיטי ליכט			ניט דערלויבט ≥0.2מם ברייט און טיפקייַט		5 ערלויבט, ≤1 מם יעדער
סיליציום ייבערפלאַך קאַנטאַמאַניישאַן דורך הויך ינטענסיטי			קיינער
פּאַקקאַגינג			מולטי-ווייפער קאַסעט אָדער איין ווייפער קאַנטיינער

הערות:

※ חסרונות לימאַץ אַפּלייז צו די גאנצע ווייפער ייבערפלאַך אַחוץ פֿאַר די ברעג יקסקלוזשאַן געגנט. # די סקראַטשיז זאָל זיין אָפּגעשטעלט אויף סי פּנים אָ

די P-Type SiC ווייפער, 4H/6H-P 3C-N, מיט זיין 6-אינטש גרייס און 350 μm גרעב, פיעסעס אַ קריטיש ראָלע אין די ינדאַסטריאַל פּראָדוקציע פון הויך-פאָרשטעלונג מאַכט עלעקטראָניק. זיין ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך ברייקדאַון וואָולטידזש מאַכן עס ידעאַל פֿאַר מאַנופאַקטורינג קאַמפּאָונאַנץ אַזאַ ווי מאַכט סוויטשיז, דייאָודז און טראַנזיסטערז געניצט אין הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ ווי עלעקטריק וועהיקלעס, מאַכט גרידס און רינואַבאַל ענערגיע סיסטעמען. די ווייפער ס פיייקייט צו אַרבעטן יפישאַנטלי אין האַרב טנאָים ינשורז פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן הויך מאַכט געדיכטקייַט און ענערגיע עפעקטיווקייַט. אַדדיטיאָנאַללי, זייַן ערשטיק פלאַך אָריענטירונג אַידז אין גענוי אַליינמאַנט בעשאַס די פּראָדוקציע פון די מיטל, ימפּרוווינג פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט און פּראָדוקט קאָנסיסטענסי.

די אַדוואַנטידזשיז פון N-Type SiC קאָמפּאָסיטע סאַבסטרייץ אַרייַננעמען

הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: P-Type SiC ווייפערז יפישאַנטלי דיסאַפּייט היץ, מאכן זיי ידעאַל פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור אַפּלאַקיישאַנז.
הויך ברעאַקדאָוון וואָולטידזש: טויגעוודיק פון וויטסטאַנד הויך וואָולטידזש, ינשורינג רילייאַבילאַטי אין מאַכט עלעקטראָניק און הויך-וואָולטידזש דעוויסעס.
קעגנשטעל צו האַרב ינווייראַנמאַנץ: ויסגעצייכנט געווער אין עקסטרעם טנאָים, אַזאַ ווי הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ.
עפעקטיוו מאַכט קאַנווערזשאַן: די פּ-טיפּ דאָפּינג פאַסילאַטייץ עפעקטיוו מאַכט האַנדלינג, מאכן די ווייפער פּאַסיק פֿאַר ענערגיע קאַנווערזשאַן סיסטעמען.
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג: ינשורז גענוי אַליינמאַנט בעשאַס מאַנופאַקטורינג, ימפּרוווינג מיטל אַקיעראַסי און קאָנסיסטענסי.
דין סטרוקטור (350 μm): די אָפּטימאַל גרעב פון די ווייפער שטיצט ינטאַגריישאַן אין אַוואַנסירטע עלעקטראָניש דעוויסעס מיט פּלאַץ קאַנסטריינד.

קוילעלדיק, די P-Type SiC ווייפער, 4H/6H-P 3C-N, אָפפערס אַ קייט פון אַדוואַנטידזשיז וואָס מאַכן עס העכסט פּאַסיק פֿאַר ינדאַסטריאַל און עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז. זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און ברייקדאַון וואָולטידזש געבן פאַרלאָזלעך אָפּעראַציע אין הויך-טעמפּעראַטור און הויך-וואָולטידזש ינווייראַנמאַנץ, בשעת זייַן קעגנשטעל צו האַרב טנאָים ינשורז געווער. די פּ-טיפּ דאָפּינג אַלאַוז פֿאַר עפעקטיוו מאַכט קאַנווערזשאַן, מאכן עס ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק און ענערגיע סיסטעמען. אין דערצו, די ערשטיק פלאַך אָריענטירונג פון די ווייפער ינשורז גענוי אַליינמאַנט בעשאַס די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, ימפּרוווינג פּראָדוקציע קאָנסיסטענסי. מיט אַ גרעב פון 350 μם, עס איז געזונט סוטאַד פֿאַר ינאַגריישאַן אין אַוואַנסירטע, סאָליד דעוויסעס.