פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N TYPE SIC סאַבסטרייט 4 אינטש 〈111〉± 0.5 ° נול מפּד

קורץ באַשרייַבונג:

די P-Type 4H/6H-P 3C-N טיפּ SiC סאַבסטרייט, 4-אינטש מיט אַ 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג און נול MPD (Micro Pipe Defect) מיינונג, איז אַ הויך-פאָרשטעלונג סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל דיזיינד פֿאַר אַוואַנסירטע עלעקטראָניש מיטל מאַנופאַקטורינג. באַוווסט פֿאַר זייַן ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון וואָולטידזש און שטאַרק קעגנשטעל צו הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוזשאַן, דעם סאַבסטרייט איז ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק און רף אַפּלאַקיישאַנז. די Zero MPD מיינונג געראַנטיז מינימאַל חסרונות, ינשורינג רילייאַבילאַטי און פעסטקייַט אין הויך-פאָרשטעלונג דעוויסעס. זיין גענוי 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג אַלאַוז פֿאַר פּינטלעך אַליינמאַנט בעשאַס פאַבריקיישאַן, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר גרויס-וואָג מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. דער סאַבסטרייט איז וויידלי געניצט אין הויך-טעמפּעראַטור, הויך-וואָולטידזש און הויך-אָפטקייַט עלעקטראָניש דעוויסעס, אַזאַ ווי מאַכט קאַנווערטערז, ינווערטערס און רף קאַמפּאָונאַנץ.

שיקן E- בריוו צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

4H/6H-P טיפּ סיק קאָמפּאָסיטע סאַבסטרייטז פּראָסט פּאַראַמעטער טיש

4 אינטש דיאַמעטער סיליציוםקאַרבידע (סיק) סאַבסטרייט באַשרייַבונג

גראַדע			נול MPD פּראָדוקציע גראַדע (ז גראַד)	נאָרמאַל פּראָדוקציע גראַד (פּ גראַד)	דאַמי גראַדע (D גראַד)
דיאַמעטער			99.5 מם ~ 100.0 מם
גרעב			350 μם ± 25 μם
ווייפער אָריענטירונג			אַוועק אַקס: 2.0°-4.0° צו [112(-)0] ± 0.5 ° פֿאַר 4H/6H-P, On אַקס:〈111〉± 0.5 ° פֿאַר 3C-N
מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט			0 סענטימעטער-2
רעסיסטיוויטי	פּ-טיפּ 4ה / 6ה-פּ		≤0.1 Ωꞏקם		≤0.3 Ωꞏקם
	n-טיפּ 3C-N		≤0.8 מΩꞏקם		≤1 עם Ωꞏקם
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג		4ה/6ה-פּ	- {1010} ± 5.0°
		3C-N	- {110} ± 5.0°
ערשטיק פלאַך לענג			32.5 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך לענג			18.0 מם ± 2.0 מם
צווייטיק פלאַך אָריענטירונג			סיליציום פּנים אַרויף: 90 ° CW. פון פּריים פלאַך±5.0°
עדזש יקסקלוזשאַן			3 מם		6 מם
LTV/TTV/Bow/Warp			≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm		≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
ראַפנאַס			פויליש Ra≤1 נם
			CMP Ra≤0.2 נם		Ra≤0.5 נם
ברעג קראַקס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג ≤ 10 מם, איין לענג ≤ 2 מם
העקס פּלאַטעס דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.1%
פּאָליטיפּע געביטן מיט הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו שטח≤3%
וויסואַל קאַרבאָן ינקלוזשאַנז			קיומיאַלאַטיוו שטח ≤0.05%		קיומיאַלאַטיוו שטח ≤3%
סיליציום ייבערפלאַך סקראַטשיז דורך הויך ינטענסיטי ליכט			קיינער		קיומיאַלאַטיוו לענג≤1×ווייפער דיאַמעטער
ברעג טשיפּס הויך דורך ינטענסיטי ליכט			ניט דערלויבט ≥0.2מם ברייט און טיפקייַט		5 ערלויבט, ≤1 מם יעדער
סיליציום ייבערפלאַך קאַנטאַמאַניישאַן דורך הויך ינטענסיטי			קיינער
פּאַקקאַגינג			מולטי-ווייפער קאַסעט אָדער איין ווייפער קאַנטיינער

הערות:

※ חסרונות לימאַץ אַפּלייז צו די גאנצע ווייפער ייבערפלאַך אַחוץ פֿאַר די ברעג יקסקלוזשאַן געגנט. # די סקראַטשיז זאָל זיין אָפּגעשטעלט בלויז אויף סי פּנים.

די פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N טיפּ 4-אינטש סיק סאַבסטרייט מיט 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג און נול מפּד מיינונג איז וויידלי געניצט אין הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז. זיין ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך ברייקדאַון וואָולטידזש מאַכן עס ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק, אַזאַ ווי הויך-וואָולטידזש סוויטשיז, ינווערטערס און מאַכט קאַנווערטערז, אַפּערייטינג אין עקסטרעם טנאָים. אַדדיטיאָנאַללי, די קעגנשטעל פון די סאַבסטרייט צו הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוזשאַן ינשורז סטאַביל פאָרשטעלונג אין האַרב ינווייראַנמאַנץ. די גענוי 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג ימפּרוווז מאַנופאַקטורינג אַקיעראַסי, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר רף דעוויסעס און הויך-אָפטקייַט אַפּלאַקיישאַנז, אַזאַ ווי ראַדאַר סיסטעמען און וויירליס קאָמוניקאַציע ויסריכט.

די אַדוואַנטידזשיז פון N-Type SiC קאַמפּאַזאַט סאַבסטרייץ אַרייַננעמען:

1. הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ און הויך-מאַכט אַפּלאַקיישאַנז.
2. הויך ברעאַקדאָוון וואָולטידזש: ינשורז פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין הויך-וואָולטידזש אַפּלאַקיישאַנז ווי מאַכט קאַנווערטערז און ינווערטערס.
3. נול מפּד (מיקראָ פּייפּ דעפעקט) מיינונג: גואַראַנטעעס מינימאַל חסרונות, פּראַוויידינג פעסטקייַט און הויך רילייאַבילאַטי אין קריטיש עלעקטראָניש דעוויסעס.
4. קעראָוזשאַן קעגנשטעל: דוראַבאַל אין האַרב ינווייראַנמאַנץ, ינשורינג לאַנג-טערמין פאַנגקשאַנאַליטי אין פאדערן טנאָים.
5. גענוי 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג: אַלאַוז פֿאַר פּינטלעך אַליינמאַנט בעשאַס מאַנופאַקטורינג, ימפּרוווינג מיטל פאָרשטעלונג אין הויך-אָפטקייַט און רף אַפּלאַקיישאַנז.

קוילעלדיק, די פּ-טיפּ 4H/6H-P 3C-N טיפּ 4-אינטש סיק סאַבסטרייט מיט 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג און נול מפּד מיינונג איז אַ הויך-פאָרשטעלונג מאַטעריאַל ידעאַל פֿאַר אַוואַנסירטע עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז. זייַן ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך ברייקדאַון וואָולטידזש מאַכן עס גאנץ פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק ווי הויך-וואָולטידזש סוויטשיז, ינווערטערס און קאַנווערטערז. די נול MPD מיינונג ינשורז מינימאַל חסרונות, פּראַוויידינג רילייאַבילאַטי און פעסטקייַט אין קריטיש דעוויסעס. דערצו, די קעגנשטעל פון די סאַבסטרייט צו קעראָוזשאַן און הויך טעמפּעראַטורעס ינשורז געווער אין האַרב ינווייראַנמאַנץ. די גענוי 〈111〉± 0.5 ° אָריענטירונג אַלאַוז פֿאַר פּינטלעך אַליינמאַנט בעשאַס מאַנופאַקטורינג, מאכן עס העכסט פּאַסיק פֿאַר רף דעוויסעס און הויך-אָפטקייַט אַפּלאַקיישאַנז.