N-Type SiC קאָמפּאָסיטע סאַבסטרייט Dia6inch הויך קוואַליטעט מאַנאַקריסטאַלינע און נידעריק קוואַליטעט סאַבסטרייט
N-Type SiC Composite Substrates פּראָסט פּאַראַמעטער טיש
项目זאכן | 指标באַשרייַבונג | 项目זאכן | 指标באַשרייַבונג |
直径דיאַמעטער | 150±0.2מם | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 פראָנט (סי-פּנים) ראַפנאַס | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) |
晶型פּאָליטיפּע | 4H | ברעג טשיפּ, קראַצן, פּלאַצן (וויסואַל דורכקוק) | קיינער |
电阻率רעסיסטיוויטי | 0.015-0.025 אָהם · סענטימעטער | 总厚度变化TTV | ≤3μם |
אַריבערפירן שיכטע גרעב | ≥0.4μם | 翘曲度וואָרפּ | ≤35μם |
空洞פּאָסל | ≤5עאַ/ווייפער (2מם>ד>0.5מם) | 总厚度גרעב | 350±25μם |
די "N-טיפּ" באַצייכענונג רעפערס צו די טיפּ פון דאָפּינג געניצט אין SiC מאַטעריאַלס. אין סעמיקאַנדאַקטער פיזיק, דאָפּינג ינוואַלווז די ינטענשאַנאַל הקדמה פון ימפּיוראַטיז אין אַ סעמיקאַנדאַקטער צו טוישן די עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס. N-טיפּ דאָפּינג ינטראַדוסיז עלעמענטן וואָס צושטעלן אַ וידעפדיק פון פריי עלעקטראָנס, געבן דעם מאַטעריאַל אַ נעגאַטיוו אָפּצאָל טרעגער קאַנסאַנטריישאַן.
די אַדוואַנטידזשיז פון N-Type SiC קאַמפּאַזאַט סאַבסטרייץ אַרייַננעמען:
1. הויך-טעמפּעראַטור פאָרשטעלונג: סיק האט הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קענען אַרבעטן אין הויך טעמפּעראַטורעס, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר הויך-מאַכט און הויך-אָפטקייַט עלעקטראָניש אַפּלאַקיישאַנז.
2. הויך ברייקדאַון וואָולטידזש: סיק מאַטעריאַלס האָבן אַ הויך ברייקדאַון וואָולטידזש, וואָס אַלאַוז זיי צו וויטסטאַנד הויך עלעקטריק פעלדער אָן עלעקטריקאַל ברייקדאַון.
3. כעמישער און ינווייראַנמענאַל קעגנשטעל: סיק איז כעמיש קעגנשטעליק און קענען וויטסטאַנד האַרב ינווייראַנמענאַל טנאָים, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר נוצן אין טשאַלאַנדזשינג אַפּלאַקיישאַנז.
4. רידוסט מאַכט אָנווער: קאַמפּערד צו טראדיציאנעלן סיליציום-באזירט מאַטעריאַלס, סיק סאַבסטרייץ געבן מער עפעקטיוו מאַכט קאַנווערזשאַן און רעדוצירן מאַכט אָנווער אין עלעקטראָניש דעוויסעס.
5. ברייט באַנדגאַפּ: SiC האט אַ ברייט באַנדגאַפּ, אַלאַוינג די אַנטוויקלונג פון עלעקטראָניש דעוויסעס וואָס קענען אַרבעטן אין העכער טעמפּעראַטורעס און העכער מאַכט דענסאַטיז.
קוילעלדיק, N-Type SiC קאָמפּאָסיטע סאַבסטרייץ פאָרשלאָגן באַטייַטיק אַדוואַנטידזשיז פֿאַר די אַנטוויקלונג פון הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניש דעוויסעס, ספּעציעל אין אַפּלאַקיישאַנז ווו הויך-טעמפּעראַטור אָפּעראַציע, הויך מאַכט געדיכטקייַט און עפעקטיוו מאַכט קאַנווערזשאַן זענען קריטיש.