LiTaO3 וועיפער 2 אינטש-8 אינטש 10x10x0.5 מ״מ 1sp 2sp פֿאַר 5G/6G קאָמוניקאַציע
טעכנישע פּאַראַמעטערס
נאָמען | אָפּטיש-גראַד LiTaO3 | קלאַנג טיש לעוועל LiTaO3 |
אַקסיאַל | ז שניט + / - 0.2 ° | 36° Y שניט / 42° Y שניט / X שניט (+ / - 0.2°) |
דיאַמעטער | 76.2 מ״מ + / - 0.3 מ״מ/ 100±0.2 מ״מ | 76.2 מ״מ + /-0.3 מ״מ 100 מ״מ + /-0.3 מ״מ 0r 150±0.5 מ״מ |
דאַטום פלאַך | 22 מ״מ + / - 2 מ״מ | 22 מ״מ + /-2 מ״מ 32 מ״מ + /-2 מ״מ |
גרעב | 500ום + /-5 מ״מ 1000ום + /-5 מם | 500ום + /-20 מם 350ום + /-20 מם |
טי-טי-ווי | ≤ 10ום | ≤ 10ום |
קירי טעמפּעראַטור | 605 °C + / - 0.7 °C (DTA מעטאָד) | 605 °C + / -3 °C (DTA מעטאָד |
ייבערפלאַך קוואַליטעט | צוויי-זייטיג פּאָלירן | צוויי-זייטיג פּאָלירן |
געשניטענע עדזשאַז | ראַנד ראַונדינג | ראַנד ראַונדינג |
שליסל קעראַקטעריסטיקס
1. עלעקטרישע און אָפּטישע פאָרשטעלונג
· עלעקטראָ-אָפּטישער קאָעפֿיציענט: r33 דערגרייכט 30 pm/V (X-קאַט), 1.5× העכער ווי LiNbO3, וואָס ערמעגליכט אולטראַ-ברייטבאַנד עלעקטראָ-אָפּטישער מאָדולאַציע (>40 GHz באַנדברייט).
· ברייטע ספּעקטראַלע רעאַקציע: טראַנסמיסיע קייט 0.4–5.0 מיקראָמעטער (8 מם גרעב), מיט אַ אולטראַוויאָלעט אַבזאָרפּציע ברעג אַזוי נידעריק ווי 280 נם, ידעאַל פֿאַר UV לייזערס און קוואַנטום פּונקט דעוויסעס.
· נידעריגער פּיראָעלעקטרישער קאָעפֿיציענט: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), וואָס זיכערט סטאַביליטעט אין הויך-טעמפּעראַטור אינפֿראַרויט סענסאָרן.
2. טערמישע און מעכאנישע אייגנשאפטן
· הויכע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי: 4.6 W/m·K (X-קאַט), פירפאַך אַז פון קוואַרץ, סאַסטיינינג -200–500°C טערמישע ציקל.
· נידעריקע טערמישע עקספּאַנשאַן קאָעפֿיציענט: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), קאָמפּאַטיבל מיט סיליקאָן פּאַקאַדזשינג צו מינימיזירן טערמישע דרוק.
3. דעפעקט קאָנטראָל און פּראַסעסינג פּרעציזיע
· מיקראָפּייפּ געדיכטקייט: <0.1 סענטימעטער⁻² (8-אינטש וועיפערס), דיסלאָקאַציע געדיכטקייט <500 סענטימעטער⁻² (וועראַפייד דורך KOH עטשינג).
· ייבערפלאַך קוואַליטעט: CMP-פּאָלירט צו Ra <0.5 נם, וואָס טרעפט די EUV ליטאָגראַפֿיע-גראַד פלאַכקייט רעקווייערמענץ.
שליסל אַפּליקאַציעס
דאָמעין | אַפּליקאַציע סצענאַרן | טעכנישע מעלות |
אָפּטישע קאָמוניקאַציעס | 100G/400G DWDM לייזערס, סיליקאָן פאָטאָניקס כייבריד מאָדולן | LiTaO3 וועיפער'ס ברייטע ספּעקטראַלע טראַנסמיסיע און נידעריקע כוואַליעגייד פארלוסט (α <0.1 dB/cm) ערמעגלעכן C-באַנד יקספּאַנשאַן. |
5G/6G קאָמוניקאַציע | SAW פילטערס (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR פילטערס | 42°Y-געשניטענע וועיפערס דערגרייכן Kt² >15%, וואָס גיט נידעריקע ינסערשאַן אָנווער (<1.5 dB) און הויך ראָול-אָף (>30 dB). |
קוואַנטום טעכנאָלאָגיעס | איין-פאָטאָן דעטעקטאָרן, פּאַראַמעטרישע אַראָפּ-קאָנווערסיע קוועלער | הויכער נישט-לינעארער קאעפיציענט (χ(2)=40 pm/V) און נידעריגער טונקל-צייל ראטע (<100 ציילן/s) פארשטארקן קוואנטום-געטרייקייט. |
אינדוסטריעלע סענסינג | הויך-טעמפּעראַטור דרוק סענסאָרן, קראַנט טראַנספאָרמערס | די פּיעזאָעלעקטרישע רעאַקציע (g33 >20 mV/m) און הויך-טעמפּעראַטור טאָלעראַנץ (>400°C) פון די LiTaO3 וועיפער זענען פּאַסיק פֿאַר עקסטרעמע סביבות. |
XKH סערוויסעס
1. קאַסטאַם וואַפער פאַבריקאַציע
· גרייס און שניידן: 2–8-אינטש וועיפערס מיט X/Y/Z-שניט, 42°Y-שניט, און מנהג-געמאכטע ווינקלדיקע שניטן (±0.01° טאָלעראַנץ).
· דאָפּינג קאָנטראָל: Fe, Mg דאָפּינג דורך טשאָקראַלסקי מעטאָד (קאָנצענטראַציע קייט 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) צו אָפּטימיזירן עלעקטראָ-אָפּטישע קאָעפֿיציענטן און טערמישע פעסטקייט.
2. אַוואַנסירטע פּראָצעס טעכנאָלאָגיעס
די
· פעריאדיש פאלינג (PPLT): סמאַרט-קאט טעכנאָלאָגיע פֿאַר LTOI וועיפערס, דערגרייכנדיג ±10 נם דאָמעין פעריאָד פּרעציזיע און קוואַזי-פאַסע-מאַטשט (QPM) אָפטקייט קאַנווערזשאַן.
· העטעראגענע אינטעגראציע: סיליקאָן-באזירטע ליטאַאָ3 קאָמפּאָזיט וועיפערס (POI) מיט גרעב קאָנטראָל (300–600 נם) און טערמישע קאַנדאַקטיוויטי ביז 8.78 וואט/מ·ק פֿאַר הויך-פרעקווענץ SAW פילטערס.
3. קוואַליטעט פאַרוואַלטונג סיסטעמען
די
· ענד-צו-ענד טעסטינג: ראַמאַן ספּעקטראָסקאָפּיע (פּאָליטיפּ וועריפיקאַציע), XRD (קריסטאַליניטי), AFM (אויבערפלאַך מאָרפאָלאָגיע), און אָפּטישע יוניפאָרם טעסטינג (Δn <5×10⁻⁵).
4. גלאבאלע צושטעל קייט שטיצע
די
· פּראָדוקציע קאַפּאַציטעט: מאָנטלעכע פּראָדוקציע >5,000 וועיפערס (8-אינטש: 70%), מיט 48-שעה נויטפאַל ליפערונג.
· לאָגיסטיק נעץ: קאַווערידזש אין אייראָפּע, צפון אַמעריקע, און אזיע-פּאַסיפיק דורך לופט/ים פרייט מיט טעמפּעראַטור-קאָנטראָלירטע פּאַקאַדזשינג.


