הויך-ריינקייט געשמאָלצן קוואַרץ וואַפערס פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר, פאָטאָניקס אָפּטישע אַפּלאַקיישאַנז 2″4″6″8″12″

קורצע באַשרייַבונג:

געשמאָלצן קוואַרץ—אויך באַקאַנט וויגעשמאָלצן סיליקאַ—איז די נישט-קריסטאַלינע (אַמאָרפֿע) פֿאָרעם פֿון סיליקאָן דייאַקסייד (SiO₂). נישט ווי באָראָסיליקאַט אָדער אַנדערע אינדוסטריעלע גלעזער, פֿאַרשמעלצטער קוואַרץ כּולל נישט קיין דאָפּאַנץ אָדער אַדיטיוון, און אָפֿערט אַ כעמיש ריינע קאָמפּאָזיציע פֿון SiO₂. עס איז באַרימט פֿאַר זײַן אויסערגעוויינטלעכער אָפּטישער טראַנסמיסיע איבער ביידע אולטראַוויאָלעט (UV) און אינפֿראַרויט (IR) ספּעקטרום, וואָס איבערטרעפֿט טראַדיציאָנעלע גלאַז מאַטעריאַלן.


פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

איבערבליק פון קוואַרץ גלאָז

קוואַרץ וועיפערס פאָרמען דעם רוקן-ביין פון אומצאָליקע מאָדערנע דעוויסעס וואָס פירן היינטיקע דיגיטאַלע וועלט. פון דער נאַוויגאַציע אין דיין סמאַרטפאָון ביזן רוקן-ביין פון 5G באַזע סטאַנציעס, קוואַרץ גיט שטילערהייט די פעסטקייט, ריינקייט און פּינקטלעכקייט וואָס איז פארלאנגט אין הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניק און פאָטאָניקס. צי שטיצן פלעקסיבלע קרייזן, ערמעגלעכן MEMS סענסאָרן, אָדער פאָרמען די באַזע פֿאַר קוואַנטום קאַמפּיוטינג, קוואַרץ'ס אייגנאַרטיקע כאַראַקטעריסטיקס מאַכן עס נייטיק אין אַלע אינדוסטריעס.

"געשמאָלצן סיליקאַ" אדער "געשמאָלצן קוואַרץ" וואָס איז די אַמאָרפֿע פֿאַזע פֿון קוואַרץ (SiO2). ווען פֿאַרגליכן מיט באָראָסיליקאַט גלאָז, האט געשמאָלצן סיליקאַ נישט קיין צוגעבן; דעריבער עקזיסטירט עס אין זיין ריינער פֿאָרעם, SiO2. געשמאָלצן סיליקאַ האט אַ העכערע טראַנסמיסיע אין די אינפֿראַרויט און אולטראַוויאָלעט ספּעקטרום ווען פֿאַרגליכן מיט נאָרמאַל גלאָז. געשמאָלצן סיליקאַ ווערט פּראָדוצירט דורך צעשמעלצן און ווידער-פֿעסטמאַכן אולטראַריין SiO2. סינטעטישע געשמאָלצן סיליקאַ, פֿון דער אַנדערער זייט, איז געמאַכט פֿון סיליקאָן-רייכע כעמישע פֿאָרגייער ווי SiCl4, וואָס ווערן פֿאַרגאַזיפֿיצירט און דערנאָך אָקסידירט אין אַ H2 + O2 אַטמאָספֿערע. דער SiO2 שטויב וואָס ווערט געשאַפֿן אין דעם פֿאַל ווערט געשמאָלצן צו סיליקאַ אויף אַ סאַבסטראַט. די געשמאָלצן סיליקאַ בלאָקן ווערן געשניטן אין וועיפֿערס, נאָכדעם ווערן די וועיפֿערס לעסאָף פּאָלירט.

שליסל פֿעיִקייטן און בענעפיץ פון קוואַרץ גלאָז וואַפער

  • אולטרא-הויך ריינקייט (≥99.99% SiO2)
    אידעאַל פֿאַר אולטראַ-ריינע האַלב-קאָנדוקטאָר און פאָטאָניק פּראָצעסן וואו מאַטעריאַל קאַנטאַמאַניישאַן מוז זיין מינאַמייזד.

  • ברייט טערמיש אַפּערייטינג קייט
    האַלט די סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט פון קריאָגעניק טעמפּעראַטורן ביז איבער 1100°C אָן זיך צו קריגן אָדער צו דעגראַדירן.

  • אויסגעצייכנטע UV און IR טראַנסמיסיע
    גיט אויסגעצייכנטע אָפּטישע קלעריטי פון טיף אולטראַוויאָלעט (DUV) ביז נאָענט-אינפֿראַרויט (NIR), שטיצנדיק פּינקטלעכע אָפּטישע אַפּליקאַציעס.

  • נידעריק טערמישע עקספּאַנשאַן קאָעפיציענט
    פֿאַרבעסערט דימענסיאָנעלע פעסטקייט אונטער טעמפּעראַטור פלוקטואַציעס, רידוסינג דרוק און ימפּרוווינג פּראָצעס רילייאַבילאַטי.

  • העכערע כעמישע קעגנשטעל
    אינערט צו רובֿ זויערן, אַלקאַליס און סאָלווענטן — מאַכנדיג עס גוט פּאַסיק פֿאַר כעמיש אַגרעסיווע סביבות.

  • ייבערפלאַך ענדיקן בייגיקייט
    בנימצא מיט אולטרא-גלאַט, איין-זייַטיק אָדער טאָפּל-זייַטיק פּאַלישט ענדיקונגען, קאַמפּאַטאַבאַל מיט פאָטאָניקס און MEMS רעקווירעמענץ.

מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון קוואַרץ גלאָז וואַפער

צוזאמענגעשמאָלצענע קוואַרץ וועיפערס ווערן פּראָדוצירט דורך אַ סעריע פון קאָנטראָלירטע און פּינקטלעכע טריט:

  1. אויסוואל פון רוי מאַטעריאַל
    אויסוואל פון הויך-ריינקייט נאַטירלעכע קוואַרץ אָדער סינטעטישע SiO₂ קוועלער.

  2. צעשמעלצן און פיוזשאַן
    קוואַרץ ווערט געשמאָלצן ביי ~2000°C אין עלעקטרישע אויוון אונטער אַ קאָנטראָלירטער אַטמאָספער צו עלימינירן איינשלוסן און בלאָזן.

  3. בלאָק פאָרמירונג
    די געשמאָלצענע סיליקאַ ווערט אָפּגעקילט אין האַרטע בלאָקס אָדער ינגאָטס.

  4. וואַפער שניידן
    פּרעציזיע דיאַמאָנט אָדער דראָט זעגן ווערן גענוצט צו שניידן די ינגאָטס אין וועיפער בלאַנקז.

  5. לעפּינג און פּאָלירן
    ביידע ייבערפלאַכן זענען פלאַך און פּאַלישט צו טרעפן גענויע אָפּטישע, גרעב און ראַפנאַס ספּעסיפיקאַציעס.

  6. רייניקונג און דורכקוק
    וואַפֿלס ווערן גערייניקט אין ISO קלאַס 100/1000 ריינצימערן און אונטערגעוואָרפֿן צו אַ שטרענגער דורכקוק אויף חסרונות און דימענסיאָנעלער קאָנפאָרמאַטי.

אייגנשאפטן פון קוואַרץ גלאָז וועיפער

ספּעק איינהייט 4" 6" 8" 10" 12"
דיאַמעטער / גרייס (אָדער קוואַדראַט) mm 100 150 200 250 300
טאָלעראַנץ (±) mm 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
גרעב mm 0.10 אדער מער 0.30 אדער מער 0.40 אדער מער 0.50 אדער מער 0.50 אדער מער
ערשטיקע רעפערענץ פלאַך mm 32.5 57.5 האַלב-קאַרב האַלב-קאַרב האַלב-קאַרב
LTV (5 מ״מ×5 מ״מ) מיקראָמעטער < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5
טי-טי-ווי מיקראָמעטער < 2 < 3 < 3 < 5 < 5
בויגן מיקראָמעטער ±20 ±30 ±40 ±40 ±40
וואָרפּ מיקראָמעטער ≤ 30 ≤ 40 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50
PLTV (5 מ״מ×5 מ״מ) < 0.4μm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
ברעג ראַונדינג mm קאָמפּאַטיבל מיט SEMI M1.2 סטאַנדאַרט / זעט IEC62276
ייבערפלאַך טיפּ איין זייט פאלירט / טאָפּל זייטן פאלירט
פּאָלירט זייט ראַ nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
קריטעריע הינטערשטע זייט מיקראָמעטער אַלגעמיין 0.2-0.7 אָדער קאַסטאַמייזד

קוואַרץ קעגן אַנדערע טראַנספּאַרענטע מאַטעריאַלן

פאַרמאָג קוואַרץ גלאָז באָראָסיליקאַט גלאָז סאַפיר סטאַנדאַרט גלאָז
מאַקסימום אַפּערייטינג טעמפּעראַטור ~1100°C ~500°C ~2000°C ~200°C
UV טראַנסמיסיע אויסגעצייכנט (JGS1) אָרעם גוט זייער אָרעם
כעמישע קעגנשטעל אויסגעצייכנט מיטלמעסיק אויסגעצייכנט אָרעם
ריינקייט גאָר הויך נידעריק ביז מיטל הויך נידעריק
טערמישע עקספּאַנשאַן זייער נידעריק מיטלמעסיק נידעריק הויך
קאָסטן מיטל ביז הויך נידעריק הויך זייער נידעריק

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס וועגן קוואַרץ גלאָז וואַפֿער

פ1: וואָס איז דער חילוק צווישן געשמאָלצן קוואַרץ און געשמאָלצן סיליקאַ?
כאָטש ביידע זענען אַמאָרפֿישע פֿאָרמען פֿון SiO₂, שטאַמט פֿאַרשמאָלצענע קוואַרץ טיפּיש פֿון נאַטירלעכע קוואַרץ קוועלער, בשעת פֿאַרשמאָלצענע סיליקאַ ווערט סינטעטיש פּראָדוצירט. פֿונקציאָנעל, אָפֿערן זיי ענלעכע פאָרשטעלונג, אָבער פֿאַרשמאָלצענע סיליקאַ קען האָבן אַ ביסל העכערע ריינקייט און האָמאָגעניטעט.

פ2: קען מען ניצן צוזאמענגעשמאָלצענע קוואַרץ וועיפערס אין הויך-וואַקוום סביבות?
יא. צוליב זייערע נידעריגע אויסגאז אייגנשאפטן און הויכע טערמישע קעגנשטאנד, זענען צוזאמענגעשמאָלצן קוואַרץ וועיפערס אויסגעצייכנט פֿאַר וואַקוום סיסטעמען און לופטפארט אַפּליקאַציעס.

פ3: זענען די וועיפערס פּאַסיק פֿאַר טיף-UV לאַזער אַפּלאַקיישאַנז?
אַבסאָלוט. געשמאָלצן קוואַרץ האט אַ הויכע טראַנסמיטאַנס ביז ~185 נאַנאָמעטער, מאַכנדיג עס ידעאַל פֿאַר DUV אָפּטיק, ליטאָגראַפֿיע מאַסקעס און עקסימער לאַזער סיסטעמען.

ק4: שטיצט איר קאַסטאַם וועיפער פאַבריקאַציע?
יא. מיר אָפֿערן פֿולע קאַסטאַמייזיישאַן אַרייַנגערעכנט דיאַמעטער, גרעב, ייבערפֿלאַך קוואַליטעט, פֿלאַכן/נאָטשעס, און לאַזער פּאַטערנינג, באַזירט אויף דיין ספּעציפֿישע אַפּלאַקיישאַן רעקווייערמענץ.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.

 

סאַפייער וואַפער ליידיק הויך ריינקייט רוי סאַפייער סאַבסטראַט פֿאַר פּראַסעסינג 5


  • פריערדיג:
  • ווייטער:

  • שרייב דיין מעסעדזש דא און שיקט עס צו אונז