גאָר אויטאָמאַטישע וואַפער רינג-שניידן עקוויפּמענט אַרבעט גרייס 8 אינטש/12 אינטש וואַפער רינג קאַטינג
טעכנישע פּאַראַמעטערס
פּאַראַמעטער | איינהייט | ספּעציפֿיקאַציע |
מאַקסימום וואָרקפּיס גרייס | mm | ø12" |
שפּינדל | קאָנפיגוראַציע | איין שפּינדל |
גיכקייט | 3,000–60,000 רפּם | |
אַרויסגאַנג מאַכט | 1.8 קוו (2.4 אפציאנאל) ביי 30,000 מינוט⁻¹ | |
מאַקס בלייד דיאַ. | Ø58 מ״מ | |
X-אַקס | קאַטינג קייט | 310 מ״מ |
Y-אַקס | קאַטינג קייט | 310 מ״מ |
שריט פארגרעסערונג | 0.0001 מ״מ | |
פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | ≤0.003 מ״מ/310 מ״מ, ≤0.002 מ״מ/5 מ״מ (איינציקע טעות) | |
ז-אַקס | באַוועגונג רעזאָלוציע | 0.00005 מ״מ |
איבערחזרנדיקייט | 0.001 מ״מ | |
θ-אַקס | מאַקסימום ראָטאַציע | 380 גראַד |
שפּינדל טיפּ | איין שפּינדל, אויסגעשטאַט מיט אַ שטרענגער בלייד פֿאַר רינג שניידן | |
רינג-שניידן אַקיעראַסי | מיקראָמעטער | ±50 |
וואַפער פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי | מיקראָמעטער | ±50 |
איין-ווייפער עפעקטיווקייט | מין/וואַפער | 8 |
מולטי-ווייפער עפעקטיווקייט | ביז 4 וועיפערס פּראַסעסט סיימאַלטייניאַסלי | |
עקוויפּמענט וואָג | kg | ≈3,200 |
עקוויפּמענט דימענסיעס (ברייט×ט×ה) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
אפערירנדיקער פרינציפ
די סיסטעם דערגרייכט אויסערגעווענליכע טרימינג פאָרשטעלונג דורך די הויפּט טעכנאָלאָגיעס:
1. אינטעליגענטע באַוועגונג קאָנטראָל סיסטעם:
· הויך-פּרעציציע לינעאַר מאָטאָר דרייוו (ריפּיט פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי: ±0.5μm)
זעקס-אַקס סינקראָניש קאָנטראָל וואָס שטיצט קאָמפּלעקס טראַיעקטאָריע פּלאַנירונג
· רעאַל-צייט ווייבריישאַן סאַפּרעשאַן אַלגערידאַמז ענשורינג קאַטינג פעסטקייַט
2. אַוואַנסירטע דעטעקציע סיסטעם:
· אינטעגרירטער 3D לאַזער הייך סענסאָר (אַקיעראַסי: 0.1μm)
הויך-רעזאָלוציע CCD וויזועלע פּאָזיציאָנירן (5 מעגאַפּיקסעלס)
· אָנליין קוואַליטעט דורכקוק מאָדול
3. גאָר אויטאָמאַטיש פּראָצעס:
· אויטאָמאַטיש לאָודינג/אַנלאָודינג (קאָמפּאַטיבל מיט FOUP סטאַנדאַרט צובינד)
· אינטעליגענטע סאָרטירונג סיסטעם
· פארמאכטע רייניקונג איינהייט (ריינקייט: קלאַס 10)
טיפּישע אַפּליקאַציעס
די עקוויפּמענט גיט באַדייטנדיק ווערט אין אַלע האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע אַפּלאַקיישאַנז:
אַפּליקאַציע פעלד | פּראָצעס מאַטעריאַלן | טעכנישע מעלות |
IC מאַנופאַקטורינג | 8/12" סיליקאָן וואַפערס | פֿאַרבעסערט ליטאָגראַפֿיע אַליינמענט |
מאַכט דעוויסעס | SiC/GaN וואַפערס | פאַרהיט ראַנד חסרונות |
MEMS סענסאָרן | סאָי וואַפערס | זיכערט די זיכערהייט פון די מיטל |
RF דעוויסעס | GaAs וואַפערס | פֿאַרבעסערט הויך-פֿרעקווענץ פאָרשטעלונג |
אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג | רעקאָנסטיטויִרטע וואַפֿלען | פאַרגרעסערט פּאַקאַדזשינג ייעלד |
פֿעיִטשערז
1. פיר-סטאנציע קאנפיגוראציע פאר הויך פראצעסינג עפעקטיווקייט;
2. סטאַביל טאַיקאָ רינג דעבאָנדינג און באַזייַטיקונג;
3. הויך קאָמפּאַטאַבילאַטי מיט שליסל קאָנסומאַבלעס;
4. מולטי-אַקס סינטשראָנאָוס טרימינג טעכנאָלאָגיע ינשורז פּינטלעכקייט ברעג קאַטינג;
5. גאָר אָטאַמייטיד פּראָצעס לויפן באַדייטנד ראַדוסאַז אַרבעט קאָס;
6. קאַסטאַמייזד וואָרקטיבל פּלאַן ענייבאַלז סטאַביל פּראַסעסינג פון ספּעציעלע סטראַקטשערז;
פונקציעס
1. רינג-דראָפּ דעטעקציע סיסטעם;
2. אויטאָמאַטיש אַרבעט טיש רייניקונג;
3. אינטעליגענטע UV דעבאָנדינג סיסטעם;
4. אָפּעראַציע לאָג רעקאָרדינג;
5. פאַבריק אָטאַמיישאַן מאָדול ינטאַגריישאַן;
סערוויס צוזאג
XKH גיט קאָמפּרעהענסיוו, פול לעבנסציקל שטיצע באַדינונגען דיזיינד צו מאַקסאַמייז ויסריכט פאָרשטעלונג און אָפּעראַציאָנעל עפעקטיווקייַט איבער דיין פּראָדוקציע נסיעה.
1. קאַסטאַמייזיישאַן סערוויסעס
· צוגעפּאַסטע עקוויפּמענט קאָנפיגוראַציע: אונדזער אינזשעניריע מאַנשאַפֿט אַרבעט ענג צוזאַמען מיט קליענטן צו אָפּטימיזירן סיסטעם פּאַראַמעטערס (שנייד גיכקייט, בלייד סעלעקציע, אאז"וו) באַזירט אויף ספּעציפֿישע מאַטעריאַל אייגנשאַפֿטן (Si/SiC/GaAs) און פּראָצעס רעקווירעמענץ.
· פּראָצעס אַנטוויקלונג שטיצע: מיר פאָרשלאָגן מוסטער פּראַסעסינג מיט דיטיילד אַנאַליסיס ריפּאָרץ אַרייַנגערעכנט קאַנט ראַפנאַס מעסטונג און דעפעקט מאַפּינג.
· קא-אנטוויקלונג פון פארברויכבארע מאטעריאלן: פאר נייע מאטעריאלן (למשל, Ga₂O₃), ארבעטן מיר צוזאמען מיט פירנדע פאבריקאנטן פון פארברויכבארע מאטעריאלן צו אנטוויקלען אפליקאציע-ספעציפישע בליידס/לאזער אפטיקס.
2. פראפעסיאנעלע טעכנישע שטיצע
· דעדיקירטע שטיצע אויפן ארט: באַשטימט סערטיפיצירטע אינזשענירן פֿאַר קריטישע אויפֿשטייַג־פֿאַזעס (געוויינטלעך 2-4 וואָכן), וואָס דעקן:
עקוויפּמענט קאַליבראַציע און פּראָצעס פייַן-טונינג
אָפּעראַטאָר קאָמפּעטענץ טריינינג
ISO קלאַס 5 ריינרום אינטעגראַציע גיידליינז
· פּרעדיקטיוו וישאַלט: קוואַרטאַל געזונט טשעקס מיט ווייבריישאַן אַנאַליסיס און סערוואָ מאָטאָר דיאַגנאָסטיק צו פאַרמייַדן אַנפּלאַנד דאַונטיים.
· ווייטער מאָניטאָרינג: רעאַל-צייט ויסריכט פאָרשטעלונג טראַקינג דורך אונדזער IoT פּלאַטפאָרמע (JCFront Connect®) מיט אויטאָמאַטישע אַנאַמאַלי אַלערץ.
3. ווערט-צוגעגעבענע סערוויסעס
· פּראָצעס וויסן באַזע: צוטריט צו 300+ וואַלידירטע שנייד רעצעפּטן פֿאַר פֿאַרשידענע מאַטעריאַלן (אַפּדייטעד קוואַרטאַל).
· טעכנאָלאָגיע ראָודמאַפּ אַליינמאַנט: צוקונפֿט-זיכער מאַכן אייער ינוועסטמענט מיט האַרדווער/סאָפטווער אַפּגרעיד פּאַטס (למשל, AI-באזירט דעפעקט דעטעקציע מאָדול).
· נויטפאַל רעאַקציע: גאַראַנטירטע 4-שעה ווייטער דיאַגנאָז און 48-שעה אויף-פּלאַץ אריינמישונג (גלאָבאַלע קאַווערידזש).
4. סערוויס אינפראַסטרוקטור
· פאָרשטעלונג גאַראַנטיע: קאָנטראַקטואַלע היסכייַוועס צו ≥98% ויסריכט אַפּטיים מיט SLA-געשטיצטע ענטפער צייטן.
קאָנטינויִערלעכע פֿאַרבעסערונג
מיר פירן דורך צוויי-יעריגע קונה צופֿרידנקייט אנקעטעס און ימפּלעמענטירן קאַיזען איניציאַטיוון צו פֿאַרבעסערן סערוויס צושטעלן. אונדזער פאָרשונג און אַנטוויקלונג מאַנשאַפֿט איבערזעצט פֿעלד איינזיכטן אין ויסריכט אַפּגרעידס - 30% פון פירמווער פֿאַרבעסערונגען שטאַמען פֿון קונה פֿידבעק.

