טאָפּל סטאַנציע קוואַדראַט מאַשין מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום רוט פּראַסעסינג 6/8/12 אינטש ייבערפלאַך פלאַטנאַס ראַ≤0.5μם

(1) טאָפּל סטאַנציע סינטשראָנאָוס פּראַסעסינג
· טאָפּל עפעקטיווקייַט: סיימאַלטייניאַס פּראַסעסינג פון צוויי סיליציום ראַדז (Ø6 "-12") ינקריסיז פּראָודאַקטיוויטי דורך 40% -60% ווס סימפּלעקס ויסריכט.

· ינדעפּענדענט קאָנטראָל: יעדער סטאַנציע קענען ינדיפּענדאַנטלי סטרויערן די קאַטינג פּאַראַמעטערס (שפּאַנונג, קאָרמען גיכקייַט) צו אַדאַפּט צו פאַרשידענע סיליציום רוט ספּעסאַפאַקיישאַנז.

(2) הויך-פּינטלעכקייַט קאַטינג
· דימענשאַנאַל אַקיעראַסי: קוואַדראַט באַר זייַט דיסטאַנסע טאָלעראַנץ ±0.15מם, קייט ≤0.20מם.

· ייבערפלאַך קוואַליטעט: קאַטינג ברעג ברייקידזש <0.5מם, רעדוצירן די סומע פון ​​סאַבסאַקוואַנט גרינדינג.

(3) ינטעליגענט קאָנטראָל
· אַדאַפּטיוו קאַטינג: פאַקטיש-צייט מאָניטאָרינג פון סיליציום רוט מאָרפאָלאָגי, דינאַמיש אַדזשאַסטמאַנט פון קאַטינג דרך (אַזאַ ווי פּראַסעסינג בענט סיליציום רוט).

· דאַטאַ טרייסאַביליטי: רעקאָרדירן די פּראַסעסינג פּאַראַמעטערס פון יעדער סיליציום רוט צו שטיצן MES סיסטעם דאַקינג.

(4) נידעריק קאַנסאַמאַבאַל פּרייַז
· דימענט דראָט קאַנסאַמשאַן: ≤0.06ם/מם (סיליציום רוט לענג), דראָט דיאַמעטער ≤0.30מם.

· קולאַנט סערקיאַליישאַן: די פילטריישאַן סיסטעם יקסטענדז די דינסט לעבן און ראַדוסאַז די באַזייַטיקונג פון וויסט פליסיק.