טאָפּל סטאַנציע קוואַדראַט מאַשין מאָנאָקריסטאַליין סיליקאָן רוט פּראַסעסינג 6/8/12 אינטש ייבערפלאַך פלאַטנאַס ראַ≤0.5μm

(1) טאָפּל סטאַנציע סינקראָניש פּראַסעסינג
· טאָפּלטע עפֿעקטיווקייט: גלייכצייטיקע פּראַסעסינג פֿון צוויי סיליקאָן שטאַנגען (Ø6"-12") פֿאַרגרעסערט פּראָדוקטיוויטעט מיט 40%-60% קעגן סימפּלעקס עקוויפּמענט.

· אומאָפּהענגיקע קאָנטראָל: יעדע סטאַנציע קען אומאָפּהענגיק אַדזשאַסטירן די שנייד פּאַראַמעטערס (שפּאַנונג, פיטער גיכקייט) צו אַדאַפּטירן צו פאַרשידענע סיליקאָן רוט ספּעסיפיקאַציעס.

(2) הויך-פּרעציציע שניידן
· דימענסיאָנעלע אַקיעראַסי: קוואַדראַט באַר זייַט דיסטאַנס טאָלעראַנץ ±0.15 מם, קייט ≤0.20 מם.

· ייבערפלאַך קוואַליטעט: שנייד-עדזש ברייקידזש <0.5 מם, רעדוצירן די סומע פון ​​סאַבסאַקוואַנט גרינדינג.

(3) אינטעליגענטע קאנטראל
· אַדאַפּטיוו קאַטינג: רעאַל-צייט מאָניטאָרינג פון סיליקאָן רוט מאָרפאָלאָגי, דינאַמיש אַדזשאַסטמאַנט פון קאַטינג דרך (אַזאַ ווי פּראַסעסינג געבויגן סיליקאָן רוט).

· דאַטן טרעיסאַביליטי: רעקאָרדירן די פּראַסעסינג פּאַראַמעטערס פון יעדער סיליקאָן שטאַנג צו שטיצן MES סיסטעם דאָקינג.

(4) נידעריקע קאָנסומאַבלע קאָסטן
· דימענט דראָט קאַנסאַמשאַן: ≤0.06 ם/מם (סיליקאָן רוט לענג), דראָט דיאַמעטער ≤0.30 מם.

· קילער צירקולאציע: די פילטראציע סיסטעם פארלענגערט די לעבן און רעדוצירט אפפאל פליסיקייט באַזייַטיקונג.