AlN-on-NPSS וואַפער: הויך-פאָרשטעלונג אַלומינום ניטריד שיכטע אויף ניט-פּאָלישט סאַפייער סאַבסטרייט פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור, הויך-מאַכט און רף אַפּלאַקיישאַנז
פֿעיִקייטן
הויך-פאָרשטעלונג AlN שיכטע: אַלומינום ניטרידע (אַלן) איז באַוווסט פֿאַר זייַןהויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי(~200 וו/מ·ק),ברייט באַנדגאַפּ, אוןהויך ברייקדאַון וואָולטידזש, מאכן עס אַן אידעאל מאַטעריאַל פֿאַרהויך-מאַכט, הויך-אָפטקייַט, אוןהויך-טעמפּעראַטוראַפּלאַקיישאַנז.
ניט-פּאָלישט סאַפייער סאַבסטרייט (NPSS): ד י ניש ט געפאלענ ע סאפיר ע שטעל ט אפּרייַז-עפעקטיוו, מעטשאַניקאַללי שטאַרקבאַזע, ינשורינג אַ סטאַביל יסוד פֿאַר עפּיטאַקסיאַל וווּקס אָן די קאַמפּלעקסיטי פון ייבערפלאַך פּאַלישינג. די ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס פון די NPSS מאַכן עס דוראַבאַל פֿאַר טשאַלאַנדזשינג ינווייראַנמאַנץ.
הויך טערמאַל סטאַביליטי: די AlN-on-NPSS ווייפער קענען וויטסטאַנד עקסטרעם טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַנז, מאכן עס פּאַסיק פֿאַר נוצן איןמאַכט עלעקטראָניק, אָטאַמאָוטיוו סיסטעמען, לעדס, אוןאָפּטיש אַפּלאַקיישאַנזוואָס דאַרפן סטאַביל פאָרשטעלונג אין הויך-טעמפּעראַטור טנאָים.
עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן: AlN האט ויסגעצייכנט עלעקטריקאַל ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס, מאכן עס גאנץ פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז ווועלעקטריקאַל אפגעזונדערטקייטאיז קריטיש, אַרייַנגערעכנטרף דעוויסעסאוןמייקראַווייוו עלעקטראָניק.
העכער היץ דיסיפּיישאַן: מיט אַ הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, די AlN שיכטע ינשורז עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן, וואָס איז יקערדיק פֿאַר מיינטיינינג די פאָרשטעלונג און לאָנדזשעוואַטי פון דעוויסעס וואָס אַרבעטן אונטער הויך מאַכט און אָפטקייַט.
טעכניש פּאַראַמעטערס
| פּאַראַמעטער | באַשרייַבונג |
| ווייפער דיאַמעטער | 2-אינטש, 4-אינטש (מנהג סיזעס בנימצא) |
| טיפּ פון סאַבסטרייט | ניט-פּאָלישט סאַפייער סאַבסטרייט (NPSS) |
| עלן שיכטע גרעב | 2 µm צו 10 µm (קוסטאָמיזאַבלע) |
| סאַבסטרייט גרעב | 430 µm ± 25 µm (פֿאַר 2-אינטש), 500 µm ± 25 µm (פֿאַר 4-אינטש) |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי | 200 וו/מ·ק |
| עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | הויך ינסאַליישאַן, פּאַסיק פֿאַר רף אַפּלאַקיישאַנז |
| ייבערפלאַך ראַפנאַס | ראַ ≤ 0.5 μם (פֿאַר AlN שיכטע) |
| מאַטעריאַל ריינקייַט | הויך ריינקייַט AlN (99.9%) |
| קאָליר | ווייַס / אַוועק-ווייַס (אַלן שיכטע מיט ליכט-קאָלירט NPSS סאַבסטרייט) |
| וואַפער וואַרפּ | < 30 μm (טיפּיש) |
| דאָפּינג טיפּ | ניט-דאָפּט (קענען זיין קאַסטאַמייזד) |
אַפּפּליקאַטיאָנס
דיAlN-on-NPSS ווייפעראיז דיזיינד פֿאַר אַ ברייט פאַרשיידנקייַט פון הויך-פאָרשטעלונג אַפּלאַקיישאַנז אין עטלעכע ינדאַסטריז:
הויך-מאַכט עלעקטראָניק: די הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס פון די AlN שיכטע מאַכן עס אַן אידעאל מאַטעריאַל פֿאַרמאַכט טראַנזיסטערז, רעקטאַפייערז, אוןמאַכט ICsגעוויינט איןאָטאַמאָוטיוו, ינדאַסטריאַל, אוןרינואַבאַל ענערגיעסיסטעמען.
ראַדיאָ-אָפטקייַט (רף) קאַמפּאָונאַנץ: די ויסגעצייכנט עלעקטריקאַל ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס פון AlN, קאַפּאַלד מיט זייַן נידעריק אָנווער, געבן די פּראָדוקציע פוןרף טראַנזיסטערז, HEMTs (High-Electron-Mobility Transistors), און אנדערעמייקראַווייוו קאַמפּאָונאַנץוואָס אַרבעט יפישאַנטלי אין הויך פריקוואַנסיז און מאַכט לעוועלס.
אָפּטיש דעוויסעס: AlN-on-NPSS ווייפערז זענען געניצט איןלאַזער דיאָדעס, לעדס, אוןפאָטאָדעטעקטאָרס, ווו דיהויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטיאוןמעטשאַניקאַל ראָובאַסטנאַסזענען יקערדיק פֿאַר מיינטיינינג פאָרשטעלונג איבער עקסטענדעד לייפסיימז.
הויך-טעמפּעראַטור סענסאָרס: די ווייפער ס פיייקייַט צו וויטסטאַנד עקסטרעם היץ מאכט עס פּאַסיק פֿאַרטעמפּעראַטור סענסאָרסאוןינווייראַנמענאַל מאָניטאָרינגאין ינדאַסטריז וויאַעראָספּאַסע, אָטאַמאָוטיוו, אוןייל & גאַז.
סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג: געוויינט אין היץ ספּרעדערזאוןטערמאַל פאַרוואַלטונג לייַערסאין פּאַקקאַגינג סיסטעמען, ינשורינג די רילייאַבילאַטי און עפעקטיווקייַט פון סעמיקאַנדאַקטערז.
ק&א
ק: וואָס איז די הויפּט מייַלע פון AlN-on-NPSS ווייפערז איבער טראדיציאנעלן מאַטעריאַלס ווי סיליציום?
א: דער הויפּט מייַלע איז AlN'sהויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, וואָס אַלאַוז עס צו יפישאַנטלי דיסאַפּייט היץ, מאכן עס ידעאַל פֿאַרהויך-מאַכטאוןהויך-אָפטקייַט אַפּלאַקיישאַנזווו היץ פאַרוואַלטונג איז קריטיש. אַדדיטיאָנאַללי, AlN האט אַברייט באַנדגאַפּאון ויסגעצייכנטעלעקטריקאַל ינסאַליישאַן, מאכן עס העכער פֿאַר נוצן איןRFאוןמייקראַווייוו דעוויסעסקאַמפּערד צו טראדיציאנעלן סיליציום.
ק: קענען די AlN שיכטע אויף NPSS ווייפערז זיין קאַסטאַמייזד?
א: יאָ, די AlN שיכטע קענען זיין קאַסטאַמייזד אין טערמינען פון גרעב (ריינדזשינג פון 2 µm צו 10 µm אָדער מער) צו טרעפן די ספּעציפיש באדערפענישן פון דיין אַפּלאַקיישאַן. מיר אויך פאָרשלאָגן קוסטאָמיזאַטיאָן אין טערמינען פון דאָפּינג טיפּ (N-טיפּ אָדער P-טיפּ) און נאָך לייַערס פֿאַר ספּעשאַלייזד פאַנגקשאַנז.
ק: וואָס איז די טיפּיש אַפּלאַקיישאַן פֿאַר דעם ווייפער אין די אָטאַמאָוטיוו אינדוסטריע?
א: אין די אָטאַמאָוטיוו אינדוסטריע, AlN-on-NPSS ווייפערז זענען אָפט געניצט איןמאַכט עלעקטראָניק, געפירט לייטינג סיסטעמען, אוןטעמפּעראַטור סענסאָרס. זיי צושטעלן העכער טערמאַל פאַרוואַלטונג און עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן, וואָס איז יקערדיק פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט סיסטעמען וואָס אַרבעטן אונטער וועריינג טעמפּעראַטור טנאָים.
דעטאַילעד דיאַגראַמע
