AlN אויף FSS 2 אינטש 4 אינטש NPSS / FSS AlN מוסטער פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער געגנט
פּראָפּערטיעס
מאַטעריאַל זאַץ:
אַלומינום ניטרידע (אַלן) - ווייסע, הויך-פאָרשטעלונג סעראַמיק שיכטע פּראַוויידינג ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (טיפּיקלי 200-300 וו / מ·ק), גוט עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן און הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט.
פלעקסאַבאַל סאַבסטרייט (פסס) - פלעקסאַבאַל פּאָלימעריק פילמס (אַזאַ ווי פּאָליימידע, ליבלינג, אאז"ו ו) וואָס אָפפערס געווער און בענדאַביליטי אָן קאַמפּראַמייזינג די פאַנגקשאַנאַליטי פון די AlN שיכטע.
וואַפער סיזעס בנימצא:
2-אינטש (50.8 מם)
4-אינטש (100 מם)
גרעב:
עלן שיכטע: 100-2000 נם
FSS סאַבסטרייט גרעב: 50 µm-500 µm (קוסטאָמיזאַבלע באזירט אויף רעקווירעמענץ)
ייבערפלאַך ענדיקן אָפּציעס:
NPSS (Non-Polished Substrate) - ונפּאָלישעד סאַבסטרייט ייבערפלאַך, פּאַסיק פֿאַר זיכער אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן גראָב ייבערפלאַך פּראָופיילז פֿאַר בעסער אַדכיזשאַן אָדער ינאַגריישאַן.
FSS (Flexible Substrate) - פּאַלישט אָדער אַנפּאַלישד פלעקסאַבאַל פילם, מיט די אָפּציע פֿאַר גלאַט אָדער טעקסטשערד סערפאַסיז, דיפּענדינג אויף די ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן דאַרף.
עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס:
ינסאַלייטינג - די עלעקטריקאַל ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס פון AlN מאַכן עס ידעאַל פֿאַר הויך-וואָולטידזש און מאַכט סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז.
דיעלעקטריק קעסיידערדיק: ~9.5
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: 200-300 וו/מ·ק (דיפּענדינג אויף ספּעציפיש AlN מיינונג און גרעב)
מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס:
בייגיקייט: AlN איז דאַפּאַזיטיד אויף אַ פלעקסאַבאַל סאַבסטרייט (פסס) וואָס אַלאַוז בענדינג און בייגיקייַט.
ייבערפלאַך כאַרדנאַס: AlN איז העכסט דוראַבאַל און אַנטקעגנשטעלנ זיך גשמיות שעדיקן אונטער נאָרמאַל אַפּערייטינג באדינגונגען.
אַפּפּליקאַטיאָנס
הויך-מאַכט דעוויסעס: ידעאַל פֿאַר מאַכט עלעקטראָניק וואָס ריקווייערז הויך טערמאַל דיסיפּיישאַן, אַזאַ ווי מאַכט קאַנווערטערז, רף אַמפּלאַפייערז און הויך-מאַכט געפירט מאַדזשולז.
רף און מייקראַווייוו קאַמפּאָונאַנץ: פּאַסיק פֿאַר קאַמפּאָונאַנץ ווי אַנטענאַז, פילטערס און רעסאָנאַטאָרס ווו ביידע טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און מעטשאַניקאַל בייגיקייַט זענען דארף.
פלעקסאַבאַל עלעקטראָניק: פּערפעקט פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז ווו דיווייסאַז דאַרפֿן צו קאַנפאָרם צו ניט-פּלאַנער סערפאַסיז אָדער דאַרפן אַ לייטווייט, פלעקסאַבאַל פּלאַן (למשל, וועראַבאַלז, פלעקסאַבאַל סענסאָרס).
סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג: געניצט ווי אַ סאַבסטרייט אין סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג, וואָס אָפפערס טערמאַל דיסיפּיישאַן אין אַפּלאַקיישאַנז וואָס דזשענערייט הויך היץ.
לעדס און אָפּטאָילעקטראָניקס: פֿאַר דעוויסעס וואָס דאַרפן הויך-טעמפּעראַטור אָפּעראַציע מיט געזונט היץ דיסיפּיישאַן.
פּאַראַמעטער טאַבלע
| פאַרמאָג | ווערט אָדער קייט |
| ווייפער גרייס | 2-אינטש (50.8 מם), 4-אינטש (100 מם) |
| עלן שיכטע גרעב | 100nm - 2000nm |
| FSS סאַבסטרייט גרעב | 50 µm - 500 µm (קוסטאָמיזאַבלע) |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי | 200 – 300 וו/מ·ק |
| עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס | ינסאַלייטינג (דיעלעקטריק קעסיידערדיק: ~9.5) |
| ייבערפלאַך ענדיקן | פּאַלישט אָדער אַנפּאָלישט |
| טיפּ פון סאַבסטרייט | NPSS (ניט-פּאָלישט סאַבסטרייט), FSS (פלעקסאַבאַל סאַבסטרייט) |
| מעטשאַניקאַל פלעקסיביליטי | הויך בייגיקייט, ידעאַל פֿאַר פלעקסאַבאַל עלעקטראָניק |
| קאָליר | ווייַס צו אַוועק-ווייַס (דיפּענדינג אויף סאַבסטרייט) |
אַפּפּליקאַטיאָנס
● מאַכט עלעקטראָניק:די קאָמבינאַציע פון הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און בייגיקייַט מאכט די ווייפערז גאנץ פֿאַר מאַכט דעוויסעס אַזאַ ווי מאַכט קאַנווערטערז, טראַנזיסטערז און וואָולטידזש רעגיאַלייטערז וואָס דאַרפן עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן.
●RF / מייקראַווייוו דעוויסעס:רעכט צו AlN ס העכער טערמאַל פּראָפּערטיעס און נידעריק עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי, די ווייפערז זענען געניצט אין רף קאַמפּאָונאַנץ ווי אַמפּלאַפייערז, אַסאַלייטערז און אַנטענאַז.
פלעקסאַבאַל עלעקטראָניק:די בייגיקייט פון די FSS שיכטע קאַמביינד מיט די ויסגעצייכנט טערמאַל פאַרוואַלטונג פון AlN מאכט עס אַן אידעאל ברירה פֿאַר וועראַבאַל עלעקטראָניק און סענסאָרס.
● סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג:געניצט פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג ווו עפעקטיוו טערמאַל דיסיפּיישאַן און רילייאַבילאַטי זענען קריטיש.
● געפירט און אָפּטאָילעקטראָניק אַפּפּליקאַטיאָנס:אַלומינום ניטרידע איז אַ ויסגעצייכנט מאַטעריאַל פֿאַר געפירט פּאַקקאַגינג און אנדערע אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס וואָס דאַרפן הויך היץ קעגנשטעל.
Q&A (אָפט געשטעלטע פֿראגן)
ק 1: וואָס זענען די בענעפיץ פון ניצן AlN אויף FSS ווייפערז?
A1: AlN אויף FSS ווייפערז פאַרבינדן די הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן פּראָפּערטיעס פון AlN מיט די מעטשאַניקאַל בייגיקייַט פון אַ פּאָלימער סאַבסטרייט. דאָס ינייבאַלז ימפּרוווד היץ דיסיפּיישאַן אין פלעקסאַבאַל עלעקטראָניש סיסטעמען בשעת די אָרנטלעכקייַט פון די מיטל אונטער בענדינג און סטרעטשינג טנאָים.
ק 2: וואָס סיזעס זענען בנימצא פֿאַר AlN אויף FSS ווייפערז?
A2: מיר פאָרשלאָגן2-אינטשאון4-אינטשווייפער סיזעס. מנהג סיזעס קענען זיין דיסקאַסט אויף בעטן צו טרעפן דיין ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן דאַרף.
ק 3: קען איך קאַסטאַמייז די גרעב פון די AlN שיכטע?
A3: יא, דיעלן שיכטע גרעבקענען זיין קאַסטאַמייזד, מיט טיפּיש ריינדזשאַז פון100nm צו 2000nmדיפּענדינג אויף דיין אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ.
דעטאַילעד דיאַגראַמע
