8 אינטש סיליקאָן וועיפער פּ/נ-טיפּ (100) 1-100Ω דאַמי רעקליים סאַבסטראַט
פאָרשטעלן אַ וואַפער קעסטל
דער 8-אינטש סיליקאָן וועיפער איז אַ אָפט געניצט סיליקאָן סאַבסטראַט מאַטעריאַל און ווערט ברייט געניצט אין דעם פאַבריקאַציע פּראָצעס פון אינטעגרירטע קרייזן. אַזעלכע סיליקאָן וועיפערס ווערן אָפט געניצט צו מאַכן פֿאַרשידענע טייפּס פון אינטעגרירטע קרייזן, אַרייַנגערעכנט מיקראָפּראַסעסערז, זכּרון טשיפּס, סענסאָרס און אַנדערע עלעקטראָנישע דעוויסעס. 8-אינטש סיליקאָן וועיפערס ווערן אָפט געניצט צו מאַכן טשיפּס פון רעלאַטיוו גרויסע סיזעס, מיט אַדוואַנטאַגעס אַרייַנגערעכנט אַ גרעסערע ייבערפלאַך שטח און די מעגלעכקייט צו מאַכן מער טשיפּס אויף אַ איין סיליקאָן וועיפער, וואָס פירט צו געוואקסן פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט. דער 8-אינטש סיליקאָן וועיפער האט אויך גוטע מעכאַנישע און כעמישע פּראָפּערטיעס, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר גרויס-וואָג אינטעגרירטע קרייז פּראָדוקציע.
פּראָדוקט פֿעיִטשערז
8" פּ/נ טיפּ, פּאָלירטע סיליקאָן וועיפער (25 שטיק)
אָריענטירונג: 200
קעגנשטאנד: 0.1 - 40 אָהם•ס״מ (עס קען זיין אַנדערש פון איין פּאַרטיע צו דער אַנדערער)
גרעב: 725+/-20ום
פּריים/מאָניטאָר/טעסט גראַדע
מאַטעריאַלע אייגנשאַפטן
| פּאַראַמעטער | כאַראַקטעריסטיש |
| טיפ/דאָפּאַנט | פ, באָר נ, פאָספאָר נ, אַנטימאָני נ, אַרסעניק |
| אָריענטאַציעס | <100>, <111> אָפּשניידן אָריענטאַציעס לויט קונה'ס ספּעציפֿיקאַציעס |
| זויערשטאָף אינהאַלט | 1019ppmA מנהג טאָלעראַנסעס לויט קונה ס ספּעסיפיקאַציע |
| קאַרבאָן אינהאַלט | < 0.6 פּיפּיעם אַמ |
מעכאַנישע אייגנשאַפטן
| פּאַראַמעטער | פּריים | מאָניטאָר/טעסט א | טעסט |
| דיאַמעטער | 200±0.2 מ״מ | 200 ± 0.2 מ״מ | 200 ± 0.5 מ״מ |
| גרעב | 725±20µm (סטאַנדאַרט) | 725±25µm (סטאַנדאַרט) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 מיקראָמעטער | 725±50µm (סטאַנדאַרט) |
| טי-טי-ווי | < 5 מיקראָמעטער | < 10 מיקראָמעטער | < 15 מיקראָמעטער |
| בויגן | < 30 מיקראָמעטער | < 30 מיקראָמעטער | < 50 מיקראָמעטער |
| אייַנוויקלען | < 30 מיקראָמעטער | < 30 מיקראָמעטער | < 50 מיקראָמעטער |
| ברעג ראַונדינג | האַלב-סטד | ||
| מאַרקירן | נאָר האַלב-וואוינונג, האַלב-סטאַנדאַרט וווינונגען, דזשיידאַ וווינונג, קאַרב | ||
| פּאַראַמעטער | פּריים | מאָניטאָר/טעסט א | טעסט |
| פראָנט זייט קריטעריאַ | |||
| ייבערפלאַך צושטאַנד | כעמישער מעכאנישער פּאָלירט | כעמישער מעכאנישער פּאָלירט | כעמישער מעכאנישער פּאָלירט |
| ייבערפלאַך ראַפנאַס | < 2° A | < 2° A | < 2° A |
| קאָנטאַמינאַציע פּאַרטיקלען @ >0.3 מיקראָמעטער | = 20 | = 20 | = 30 |
| נעפּל, גרובן מאַראַנץ שאָלעכץ | קיין איינס | קיין איינס | קיין איינס |
| זעג, מאַרקס שטרייונגען | קיין איינס | קיין איינס | קיין איינס |
| קריטעריע הינטערשטע זייט | |||
| ריסן, קראָ פֿיס, זעג מאַרקס, פֿלעקן | קיין איינס | קיין איינס | קיין איינס |
| ייבערפלאַך צושטאַנד | קאָסטיק איינגעקריצט | ||
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
