8 אינטש סיק פּראָדוקציע מיינונג ווייפער 4H-N סיק סאַבסטרייט

קורץ באַשרייַבונג:

8-אינטש סיק סאַבסטרייץ זענען געניצט אין הויך-מאַכט עלעקטראָניש דעוויסעס, אַזאַ ווי מאַכט MOSFETs (מעטאַל אַקסייד סעמיקאַנדאַקטער פיעלד אַפעקט טראַנזיסטאָרס), סטשאָטטקי דייאָודז און אנדערע מאַכט סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.

שיקן E- בריוו צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

די פאלגענדע טיש ווייַזן די ספּעסאַפאַקיישאַנז פון אונדזער 8 אינטש סיק ווייפערז:

8 אינטש N-Type SiC DSP ספּעקס
נומער	נומער	אַפּאַראַט	פּראָדוקציע	פאָרשונג	דאַמי
1: פּאַראַמעטערס
1.1	פּאָליטיפּע	--	4H	4H	4H
1.2	ייבערפלאַך אָריענטירונג	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: עלעקטריקאַל פּאַראַמעטער
2.1	דאָפּאַנט	--	n-טיפּ ניטראָגען	n-טיפּ ניטראָגען	n-טיפּ ניטראָגען
2.2	רעסיסטיוויטי	אָהם · סענטימעטער	0.015-0.025	0.01~0.03	NA
3: מעטשאַניקאַל פּאַראַמעטער
3.1	דיאַמעטער	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	גרעב	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	קאַרב אָריענטירונג	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	קאַרב טיף	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10מם*10מם)	≤5(10מם*10מם)	≤10(10מם*10מם)
3.6	TTV	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	בויגן	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	וואָרפּ	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: סטרוקטור
4.1	מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט	Ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	מעטאַל צופרידן	אַטאָמס / סענטימעטער2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	Ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	Ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	Ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.פראָנט קוואַליטעט
5.1	פראָנט	--	Si	Si	Si
5.2	ייבערפלאַך ענדיקן	--	סי-פּנים קמפּ	סי-פּנים קמפּ	סי-פּנים קמפּ
5.3	פּאַרטאַקאַל	עאַ / וואַפער	≤100(גרייס≥0.3μם)	NA	NA
5.4	קראַצן	עאַ / וואַפער	≤5, גאַנץ לענג≤200מם	NA	NA
5.5	עדזש טשיפּס / ינדענץ / קראַקס / סטאַינס / קאַנטאַמאַניישאַן	--	קיינער	קיינער	NA
5.6	פּאָליטיפּע געביטן	--	קיינער	שטח ≤10%	שטח ≤30%
5.7	פראָנט מאַרקינג	--	קיינער	קיינער	קיינער
6: צוריק קוואַליטעט
6.1	צוריק ענדיקן	--	C-פּנים מפּ	C-פּנים מפּ	C-פּנים מפּ
6.2	קראַצן	mm	NA	NA	NA
6.3	צוריק חסרונות ברעג טשיפּס / ינדענץ	--	קיינער	קיינער	NA
6.4	צוריק ראַפנאַס	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	צוריק מאַרקינג	--	קאַרב	קאַרב	קאַרב
7: ברעג
7.1	ברעג	--	טשאַמפער	טשאַמפער	טשאַמפער
8: פּעקל
8.1	פּאַקקאַגינג	--	עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג	עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג	עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג
8.2	פּאַקקאַגינג	--	מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג	מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג	מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג