8 אינטש SiC פּראָדוקציע גראַד וועיפער 4H-N SiC סאַבסטראַט
די פאלגענדע טאבעלע ווייזט די ספעציפיקאציעס פון אונזערע 8 אינטש SiC וועיפערס:
| 8 אינטש N-טיפּ SiC DSP ספּעקס | |||||
| נומער | אייטעם | איינהייט | פּראָדוקציע | פאָרשונג | דאַמי |
| 1: פּאַראַמעטערס | |||||
| 1.1 | פּאָליטיפּ | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | ייבערפלאַך אָריענטאַציע | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: עלעקטרישער פּאַראַמעטער | |||||
| 2.1 | דאָפּאַנט | -- | n-טיפּ ניטראָגען | n-טיפּ ניטראָגען | n-טיפּ ניטראָגען |
| 2.2 | קעגנשטאַנד | אָהם · סענטימעטער | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: מעכאנישער פאראמעטער | |||||
| 3.1 | דיאַמעטער | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | גרעב | מיקראָמעטער | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | קערב אָריענטירונג | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | קערב טיפקייט | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | לייט-טי-ווי | מיקראָמעטער | ≤5 (10 מם * 10 מם) | ≤5 (10 מם * 10 מם) | ≤10 (10 מם * 10 מם) |
| 3.6 | טי-טי-ווי | מיקראָמעטער | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | בויגן | מיקראָמעטער | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | וואָרפּ | מיקראָמעטער | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | ראַ≤0.2 | ראַ≤0.2 | ראַ≤0.2 |
| 4: סטרוקטור | |||||
| 4.1 | מיקראָפּייפּ געדיכטקייט | יעדער/קמ² | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | מעטאַל אינהאַלט | אַטאָמען/קמ² | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | טי-עס-די | יעדער/קמ² | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | יעדער/קמ² | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | טעד | יעדער/קמ² | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. פראָנט קוואַליטעט | |||||
| 5.1 | פראָנט | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | ייבערפלאַך ענדיקונג | -- | סי-פייס סי-עם-פי | סי-פייס סי-עם-פי | סי-פייס סי-עם-פי |
| 5.3 | פּאַרטיקל | יעדער/וואַפער | ≤100 (גרייס ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | קראַצן | יעדער/וואַפער | ≤5, גאַנץ לענג ≤200 מם | NA | NA |
| 5.5 | ברעג שפּאָנען/אינדענטן/ריסן/פֿלעקן/קאָנטאַמאַניישאַן | -- | קיין איינס | קיין איינס | NA |
| 5.6 | פּאָליטיפּ געביטן | -- | קיין איינס | שטח ≤10% | שטח ≤30% |
| 5.7 | פראָנט מאַרקינג | -- | קיין איינס | קיין איינס | קיין איינס |
| 6: צוריק קוואַליטעט | |||||
| 6.1 | צוריק ענדיקונג | -- | C-פנים MP | C-פנים MP | C-פנים MP |
| 6.2 | קראַצן | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | הינטער חסרונות ברעג טשיפּס/אינדענטן | -- | קיין איינס | קיין איינס | NA |
| 6.4 | רוקן ראַפקייט | nm | ראַ≤5 | ראַ≤5 | ראַ≤5 |
| 6.5 | צוריק מאַרקינג | -- | קערב | קערב | קערב |
| 7: ברעג | |||||
| 7.1 | ברעג | -- | טשאַמפער | טשאַמפער | טשאַמפער |
| 8: פּעקל | |||||
| 8.1 | פּאַקאַדזשינג | -- | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקאַדזשינג | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקאַדזשינג | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקאַדזשינג |
| 8.2 | פּאַקאַדזשינג | -- | מולטי-ווייפער קאַסעטע פּאַקאַדזשינג | מולטי-ווייפער קאַסעטע פּאַקאַדזשינג | מולטי-ווייפער קאַסעטע פּאַקאַדזשינג |
דעטאַלירטע דיאַגראַמע
שרייב דיין מעסעדזש דא און שיקט עס צו אונז