6 אינטש סיק עפּיטאַקסיי ווייפער N/P טיפּ אָננעמען קאַסטאַמייזד
דער צוגרייטונג פּראָצעס פון סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל ווייפער איז אַ אופֿן ניצן כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD) טעכנאָלאָגיע.די פאלגענדע זענען די באַטייַטיק טעכניש פּרינסאַפּאַלז און צוגרייטונג פּראָצעס סטעפּס:
טעכניש פּרינציפּ:
כעמישער פארע דעפּאַזישאַן: ניצן די רוי מאַטעריאַל גאַז אין די גאַז פאַסע, אונטער ספּעציפיש אָפּרוף טנאָים, עס איז דיקאַמפּאָוזד און דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט צו פאָרעם די געוואלט דין פילם.
גאַז-פאַסע רעאַקציע: דורך פּיראָליסיס אָדער קראַקינג רעאַקציע, פאַרשידן רוי מאַטעריאַל גאַסאַז אין די גאַז פאַסע זענען כעמיש געביטן אין די אָפּרוף קאַמער.
סטעפּס פון צוגרייטונג פּראָצעס:
סאַבסטרייט באַהאַנדלונג: די סאַבסטרייט איז אונטערטעניק צו ייבערפלאַך רייניקונג און פּרעטרעאַטמענט צו ענשור די קוואַליטעט און קריסטאַלינאַס פון די עפּיטאַקסיאַל ווייפער.
אָפּרוף קאַמער דיבאַגינג: סטרויערן די טעמפּעראַטור, דרוק און לויפן קורס פון דער אָפּרוף קאַמער און אנדערע פּאַראַמעטערס צו ענשור די פעסטקייַט און קאָנטראָל פון די אָפּרוף טנאָים.
רוי מאַטעריאַל צושטעלן: צושטעלן די פארלאנגט גאַז רוי מאַטעריאַלס אין די אָפּרוף קאַמער, מיקסינג און קאַנטראָולינג די לויפן קורס ווי דארף.
רעאַקציע פּראָצעס: דורך באַהיצונג די רעאַקציע קאַמער, די גאַסאַס פיעססטאַק אַנדערגאָו אַ כעמישער רעאַקציע אין די קאַמער צו פּראָדוצירן די געוואלט אַוועקלייגן, ד"ה סיליציום קאַרבידע פילם.
קאָאָלינג און אַנלאָודינג: אין די סוף פון דער אָפּרוף, די טעמפּעראַטור איז ביסלעכווייַז לאָוערד צו קילן און פאַרגליווערט די דיפּאַזאַץ אין די אָפּרוף קאַמער.
עפּיטאַקסיאַל ווייפער אַנילינג און פּאָסטן-פּראַסעסינג: די דאַפּאַזיטיד עפּיטאַקסיאַל ווייפער איז אַנניאַלד און פּאָסטן-פּראַסעסט צו פֿאַרבעסערן זייַן עלעקטריקאַל און אָפּטיש פּראָפּערטיעס.
די ספּעציפיש סטעפּס און באדינגונגען פון די סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל ווייפער צוגרייטונג פּראָצעס קען בייַטן דיפּענדינג אויף די ספּעציפיש ויסריכט און רעקווירעמענץ.די אויבן איז בלויז אַ גענעראַל פּראָצעס לויפן און פּרינציפּ, די ספּעציפיש אָפּעראַציע דאַרף זיין אַדזשאַסטיד און אָפּטימיזעד לויט די פאַקטיש סיטואַציע.
דעטאַילעד דיאַגראַמע
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)