6 אינטש 150 מם סיליציום קאַרבידע סיק וואַפערס 4H-N טיפּ פֿאַר MOS אָדער SBD פּראָדוקציע פאָרשונג און דאַמי מיינונג
אַפּפּליקאַטיאָן פיעלדס
די 6-אינטש סיליציום קאַרבידע איין קריסטאַל סאַבסטרייט פיעסעס אַ קריטיש ראָלע אין קייפל ינדאַסטריז. פירסטלי, עס איז וויידלי געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע פֿאַר די פאַבריקיישאַן פון הויך-מאַכט עלעקטראָניש דעוויסעס אַזאַ ווי מאַכט טראַנזיסטערז, ינאַגרייטיד סערקאַץ און מאַכט מאַדזשולז. זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל געבן בעסער היץ דיסיפּיישאַן, ריזאַלטינג אין ימפּרוווד עפעקטיווקייַט און רילייאַבילאַטי. צווייטנס, סיליציום קאַרבידע ווייפערז זענען יקערדיק אין פאָרשונג פעלדער פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון נייַע מאַטעריאַלס און דעוויסעס. אַדדיטיאָנאַללי, די סיליציום קאַרבידע ווייפער געפינט ברייט אַפּלאַקיישאַנז אין די פעלד פון אָפּטאָילעקטראָניקס, אַרייַנגערעכנט די מאַנופאַקטורינג פון לעדס און לאַזער דייאָודז.
פּראָדוקט ספּעסאַפאַקיישאַנז
די 6-אינטש סיליציום קאַרבידע איין קריסטאַל סאַבסטרייט האט אַ דיאַמעטער פון 6 אינטשעס (בעערעך 152.4 מם). די ייבערפלאַך ראַפנאַס איז ראַ <0.5 נם, און די גרעב איז 600 ± 25 μm. די סאַבסטרייט קענען זיין קאַסטאַמייזד מיט אָדער N-טיפּ אָדער P-טיפּ קאַנדאַקטיוואַטי, באזירט אויף קונה באדערפענישן. דערצו, עס יגזיבאַץ יקסעפּשאַנאַל מעטשאַניקאַל פעסטקייַט, טויגעוודיק פון וויטסטאַנד דרוק און ווייבריישאַן.
דיאַמעטער | 150 ± 2.0 מם (6 אינטש) | ||||
גרעב | 350 μm±25μם | ||||
אָריענטירונג | אויף אַקס: <0001>±0.5° | אַוועק אַקס: 4.0 ° צו 1120 ± 0.5 ° | |||
פּאָליטיפּע | 4H | ||||
רעסיסטיוויטי (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·קם/0.015~0.025אָהם·קם | |||
4/6ה-סי | >1E5 | ||||
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג | {10-10}±5.0° | ||||
ערשטיק פלאַך לענג (מם) | 47.5 מם ± 2.5 מם | ||||
עדזש | טשאַמפער | ||||
TTV/Bow/Warp (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
AFM פראָנט (סי-פּנים) | פויליש Ra≤1 נם | ||||
CMP Ra≤0.5 נם | |||||
LTV | ≤3μם(10מם*10מם) | ≤5μם(10מם*10מם) | ≤10μם(10מם*10מם) | ||
TTV | ≤5μם | ≤10μם | ≤15μם | ||
מאַראַנץ שאָלעכץ / פּיץ / קראַקס / קאַנטאַמאַניישאַן / סטאַינס / סטרייישאַנז | קיינער | קיינער | קיינער | ||
ינדענץ | קיינער | קיינער | קיינער |
די 6-אינטש סיליציום קאַרבידע איין-קריסטאַל סאַבסטרייט איז אַ הויך-פאָרשטעלונג מאַטעריאַל וויידלי געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער, פאָרשונג און אָפּטאָעלעקטראָניק ינדאַסטריז. עס אָפפערס ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, מעטשאַניקאַל פעסטקייַט און הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל, וואָס מאכט עס פּאַסיק פֿאַר די פאַבריקיישאַן פון הויך-מאַכט עלעקטראָניש דעוויסעס און נייַע מאַטעריאַל פאָרשונג. מיר צושטעלן פאַרשידן ספּעסאַפאַקיישאַנז און קוסטאָמיזאַטיאָן אָפּציעס צו טרעפן דייווערס קונה פאדערונגען.קאָנטאַקט אונדז פֿאַר מער דעטאַילס אויף סיליציום קאַרבידע ווייפערז!