4H-N 8 אינטש סיק סאַבסטרייט ווייפער סיליציום קאַרבידע דאַמי פאָרשונג מיינונג 500ום גרעב

ווען טשוזינג סיליציום קאַרבידע (SiC) ווייפערז און סאַבסטרייץ, עס זענען עטלעכע סיבות צו באַטראַכטן. דאָ זענען עטלעכע וויכטיק קרייטיריאַ:

מאַטעריאַל טיפּ: באַשטימען די טיפּ פון SiC מאַטעריאַל וואָס איז פּאַסיק פֿאַר דיין אַפּלאַקיישאַן, אַזאַ ווי 4H-SiC אָדער 6H-SiC. די מערסט אָפט געניצט קריסטאַל סטרוקטור איז 4H-SiC.

דאָפּינג טיפּ: באַשליסן צי איר דאַרפֿן אַ דאָפּט אָדער אַנדאָפּעד סיק סאַבסטרייט. פּראָסט דאָפּינג טייפּס זענען N-טיפּ (N-דאָפּט) אָדער P-טיפּ (פּ-דאָפּט), דיפּענדינג אויף דיין ספּעציפיש רעקווירעמענץ.

קריסטאַל קוואַליטי: אַססעסס די קריסטאַל קוואַליטעט פון די סיק ווייפערז אָדער סאַבסטרייץ. דער געוואלט קוואַליטעט איז באשלאסן דורך פּאַראַמעטערס אַזאַ ווי די נומער פון חסרונות, קריסטאַלאָגראַפיק אָריענטירונג און ייבערפלאַך ראַפנאַס.

ווייפער דיאַמעטער: קלייַבן די צונעמען ווייפער גרייס באזירט אויף דיין אַפּלאַקיישאַן. פּראָסט סיזעס אַרייַננעמען 2 אינטשעס, 3 אינטשעס, 4 אינטשעס און 6 אינטשעס. די גרעסערע די דיאַמעטער, די מער טראָגן איר קענען באַקומען פּער ווייפער.

גרעב: באַטראַכטן די געוואלט גרעב פון די סיק ווייפערז אָדער סאַבסטרייץ. טיפּיש גרעב אָפּציעס קייט פון אַ ביסל מייקראָומאַטערז צו עטלעכע הונדערט מייקראָומאַטערז.

אָריענטירונג: באַשטימען די קריסטאַלאָגראַפיק אָריענטירונג וואָס אַליינז מיט דיין אַפּלאַקיישאַן באדערפענישן. פּראָסט אָריענטיישאַנז אַרייַננעמען (0001) פֿאַר 4H-SiC און (0001) אָדער (0001̅) פֿאַר 6H-SiC.

ייבערפלאַך ענדיקן: אָפּשאַצן די ייבערפלאַך ענדיקן פון די סיק ווייפערז אָדער סאַבסטרייץ. די ייבערפלאַך זאָל זיין גלאַט, פּאַלישט און פריי פון סקראַטשיז אָדער קאַנטאַמאַנאַנץ.

סאַפּלייער שעם: קלייַבן אַ רעפּיאַטאַבאַל סאַפּלייער מיט ברייט דערפאַרונג אין פּראָדוצירן הויך-קוואַליטעט סיק ווייפערז און סאַבסטרייץ. באַטראַכטן סיבות אַזאַ ווי מאַנופאַקטורינג קייפּאַבילאַטיז, קוואַליטעט קאָנטראָל און קונה באריכטן.

פּרייַז: באַטראַכטן די פּרייַז ימפּלאַקיישאַנז, אַרייַנגערעכנט די פּרייַז פּער ווייפער אָדער סאַבסטרייט און נאָך קוסטאָמיזאַטיאָן הוצאות.

עס איז וויכטיק צו קערפאַלי אַססעסס די סיבות און באַראַטנ זיך מיט ינדאַסטרי עקספּערץ אָדער סאַפּלייערז צו ענשור אַז די אויסגעקליבן SiC ווייפערז און סאַבסטרייץ טרעפן דיין ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ.