2 אינטש סיק ינגגאָט דיאַמע50.8מקס10ממט 4H-N מאַנאַקריסטאַל

SiC קריסטאַל גראָוט טעכנאָלאָגיע

די קעראַקטעריסטיקס פון SiC מאַכן עס שווער צו וואַקסן איין קריסטאַלז.דאָס איז דער הויפּט רעכט צו דעם פאַקט אַז עס איז קיין פליסיק פאַסע מיט סטאָטשיאָמעטריק פאַרהעלטעניש פון סי : C = 1: 1 ביי אַטמאַספעריק דרוק, און עס איז ניט מעגלעך צו וואַקסן סיק דורך די מער דערוואַקסן וווּקס מעטהאָדס, אַזאַ ווי די דירעקט צייכענונג אופֿן און די פאַלינג קרוסיבלע מעטאָד, וואָס זענען די מיינסטייז פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע.טהעאָרעטיקאַללי, אַ לייזונג מיט אַ סטאָיטשיאָמעטריק פאַרהעלטעניש פון סי: C = 1: 1 קענען זיין באקומען בלויז ווען די דרוק איז העכער ווי 10E5אַטם און די טעמפּעראַטור איז העכער ווי 3200℃.דערווייַל, די מיינסטרים מעטהאָדס אַרייַננעמען די פּווט אופֿן, די פליסיק-פאַסע אופֿן און די הויך-טעמפּעראַטור פארע-פאַסע כעמישער דיפּאַזישאַן אופֿן.

די SiC ווייפערז און קריסטאַלז וואָס מיר צושטעלן זענען דער הויפּט דערוואַקסן דורך פיזיש פארע אַריבערפירן (PVT), און די פאלגענדע איז אַ קורץ הקדמה צו פּווט:

גשמיות פארע אַריבערפירן (PVT) מעטאָד ערידזשאַנייטאַד פון די גאַז-פאַסע סובלימאַטיאָן טעכניק ינווענטאַד דורך Lely אין 1955, אין וואָס סיק פּודער איז געשטעלט אין אַ גראַפייט רער און העאַטעד צו אַ הויך טעמפּעראַטור צו מאַכן די סיק פּודער צעלאָזן און סאַבלימאַטע, און דערנאָך די גראַפייט. רער איז קולד אַראָפּ, און די דיקאַמפּאָוזד גאַז-פאַסע קאַמפּאָונאַנץ פון די סיק פּודער זענען דאַפּאַזיטיד און קריסטאַלייזד ווי סיק קריסטאַלז אין די אַרומיק געגנט פון די גראַפייט רער.כאָטש דעם אופֿן איז שווער צו קריגן גרויס-סייזד סייק קריסטאַלז און די דעפּאַזישאַן פּראָצעס ין די גראַפייט רער איז שווער צו קאָנטראָלירן, עס גיט יידיאַז פֿאַר סאַבסאַקוואַנט ריסערטשערז.

י.מ. טיירוב זצ״ל.אין רוסלאַנד באַקענענ דער באַגריף פון זוימען קריסטאַל אויף דעם יקער, וואָס סאַלווד די פּראָבלעם פון אַנקאַנטראָולאַבאַל קריסטאַל פאָרעם און נוקלעאַטיאָן שטעלע פון ​​סיק קריסטאַלז.סאַבסאַקוואַנט ריסערטשערז פארבליבן צו פֿאַרבעסערן און יווענטשאַוואַלי דעוועלאָפּעד די פיזיש פארע אַריבערפירן (PVT) מעטאָד וואָס איז געניצט ינדאַסטריאַל הייַנט.

ווי די ערליאַסט SiC קריסטאַל וווּקס אופֿן, PVT איז דערווייַל די מערסט מיינסטרים גראָוט אופֿן פֿאַר SiC קריסטאַלז.קאַמפּערד מיט אנדערע מעטהאָדס, דעם אופֿן האט נידעריק רעקווירעמענץ פֿאַר גראָוט ויסריכט, פּשוט וווּקס פּראָצעס, שטאַרק קאַנטראָולאַביליטי, גרונטיק אַנטוויקלונג און פאָרשונג, און איז שוין ינדאַסטריאַלייזד.