12 אינטשעס גאָר אויטאָמאַטיש פּרעציזיע דייסינג זעג עקוויפּמענט וועיפער דעדאַקייטאַד קאַטינג סיסטעם פֿאַר סי/סיק און ה.ב.מ. (אַל)
טעכנישע פּאַראַמעטערס
| פּאַראַמעטער | ספּעציפֿיקאַציע |
| אַרבעט גרייס | Φ8", Φ12" |
| שפּינדל | צוויי-אַקס 1.2/1.8/2.4/3.0, מאַקס 60000 רפּם |
| בלייד גרייס | 2" ~ 3" |
| Y1 / Y2 אַקס
| איין-שריט צוגאב: 0.0001 מ"מ |
| פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי: < 0.002 מם | |
| שנייד־ראַנג: 310 מ״מ | |
| X אַקס | פיטער גיכקייט קייט: 0.1–600 מם/ס |
| Z1 / Z2 אַקס
| איין-שריט צוגאב: 0.0001 מ"מ |
| פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי: ≤ 0.001 מם | |
| θ אַקס | פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי: ±15" |
| רייניקונג סטאנציע
| ראָטאַציע גיכקייט: 100–3000 רפּם |
| רייניקונג מעטאָד: אויטאָמאַטיש שווענקען און דריין | |
| אַפּערייטינג וואָולטידזש | 3-פאַזע 380V 50Hz |
| דימענסיעס (ברייט×דיב×ה) | 1550×1255×1880 מ״מ |
| וואָג | 2100 ק"ג |
אַרבעט פּרינציפּ
די עקוויפּמענט דערגרייכט הויך-פּינטלעכקייט שניידן דורך די פאלגענדע טעקנאַלאַדזשיז:
1. הויך-שטײַפֿקײַט שפּינדל סיסטעם: ראָטאַציע גיכקײַט ביז 60,000 רפּם, אויסגעשטאַט מיט דימענט בליידז אָדער לאַזער קאַטינג קעפּ צו אַדאַפּט צו פאַרשידענע מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס.
2. מולטי-אַקס באַוועגונג קאָנטראָל: X/Y/Z-אַקס פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי פון ±1μm, פּערד מיט הויך-פּינטלעכקייט גראַטינג סקאַלעס צו ענשור דיווייישאַן-פריי קאַטינג פּאַטס.
3. אינטעליגענטע וויזועלע אויסריכטונג: הויך-רעזאָלוציע CCD (5 מעגאַפּיקסעלס) דערקענט אויטאָמאַטיש קאַטינג גאַסן און קאָמפּענסירט פֿאַר מאַטעריאַל וואָרפּינג אָדער מיסאַליינמענט.
4. קילן און שטויב באַזייַטיקונג: ינטעגרירט ריין וואַסער קילן סיסטעם און וואַקוום סאַקשאַן שטויב באַזייַטיקונג צו מינאַמייז טערמאַל פּראַל און פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן.
שנייד מאָדעס
1. בלייד דייסינג: פּאַסיק פֿאַר טראַדיציאָנעלע האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַלן ווי Si און GaAs, מיט קערף ברייטן פון 50-100μm.
2. געהיימע לייזער דייסינג: גענוצט פֿאַר אולטראַ-דינע וועיפערס (<100μm) אָדער שוואַך מאַטעריאַלן (למשל, LT/LN), וואָס ערמעגליכט דרוק-פֿרייע צעשיידונג.
טיפּישע אַפּליקאַציעס
| קאָמפּאַטיבל מאַטעריאַל | אַפּליקאַציע פעלד | פּראַסעסינג רעקווירעמענץ |
| סיליקאָן (Si) | ICs, MEMS סענסארן | הויך-פּרעציציע שניידן, טשיפּינג <10μm |
| סיליקאָן קאַרבייד (SiC) | מאַכט דעוויסעס (MOSFET/דיאָודז) | נידעריק-שאָדן קאַטינג, טערמאַל פאַרוואַלטונג אָפּטימיזאַציע |
| גאליום אַרסעניד (GaAs) | RF דעוויסעס, אָפּטאָעלעקטראָניק טשיפּס | מיקראָ-ריס פאַרהיטונג, ריינקייט קאָנטראָל |
| LT/LN סאַבסטראַטן | SAW פילטערס, אָפּטישע מאָדולאַטאָרן | דרוק-פֿרײַ שניידן, באַוואָרענען פּיעזאָעלעקטרישע אייגנשאַפֿטן |
| קעראַמישע סאַבסטראַטן | מאַכט מאָדולן, געפירט פּאַקאַדזשינג | הויך-האַרטקייט מאַטעריאַל פּראַסעסינג, ברעג פלאַטנאַס |
| QFN/DFN ראַמען | אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג | מולטי-טשיפּ סיימאַלטייניאַס קאַטינג, עפעקטיווקייַט אָפּטימיזאַטיאָן |
| WLCSP וואַפערס | וואַפער-לעוועל פּאַקאַדזשינג | שאָדן-פֿרײַער קאַטינג פֿון אולטראַ-דינע וועיפֿערס (50μm) |
מעלות
1. הויך-גיכקייט קאַסעטע ראַם סקאַנינג מיט קאָליזיע פאַרהיטונג אַלאַרמס, שנעל אַריבערפירן פּאַזישאַנינג, און שטאַרק טעות-קאָרעקשאַן קייפּאַבילאַטי.
2. אָפּטימיזירטער צוויי-שפּינדל שנייד מאָדע, פֿאַרבעסערנדיק עפֿעקטיוויטעט מיט בערך 80% קאַמפּערד צו איין-שפּינדל סיסטעמען.
3. פּרעציזיע-אימפארטירטע באָל שרויפן, לינעאַרע גיידס, און Y-אַקס גראַטינג וואָג פארמאכט-לופּ קאָנטראָל, וואָס ענשורז לאַנג-טערמין פעסטקייט פון הויך-פּרעציזיע מאַשינינג.
4. גאָר אָטאַמייטיד לאָודינג/אַנלאָודינג, אַריבערפירן פּאַזישאַנינג, אַליינמאַנט קאַטינג, און קערף דורכקוק, באַדייטנד רידוסינג אָפּעראַטאָר (OP) ווערקלאָוד.
5. גאַנטרי-סטיל שפּינדל מאַונטינג סטרוקטור, מיט אַ מינימום צוויי-בלייד ספּייסינג פון 24 מם, וואָס ענייבאַלז ברייטער אַדאַפּטאַביליטי פֿאַר צוויי-שפּינדל קאַטינג פּראַסעסאַז.
פֿעיִטשערז
1. הויך-פּונקט נישט-קאָנטאַקט הייך מעסטונג.
2. מולטי-ווייפער צוויי-בלייד קאַטינג אויף אַ איין טאַץ.
3. אויטאָמאַטישע קאַלאַבריישאַן, קערף דורכקוק, און בלייד ברייקידזש דיטעקשאַן סיסטעמען.
4. שטיצט פארשידענע פראצעסן מיט אויסקלייבבארע אויטאמאטישע אויסריכטונג אלגאריטמען.
5. שולד זיך-קערעקשאַן פאַנגקשאַנאַליטי און פאַקטיש-צייט מולטי-פּאָזיציע מאָניטאָרינג.
6. ערשטע-שניט דורכקוק קייפּאַבילאַטי נאָך ערשט דייסינג.
7. קאַסטאַמייזאַבאַל פאַבריק אָטאַמיישאַן מאָדולעס און אנדערע אָפּטיאָנאַל פאַנגקשאַנז.
קאָמפּאַטיבלע מאַטעריאַלן
עקוויפּמענט סערוויסעס
מיר צושטעלן פולשטענדיקע שטיצע פון אויסוואל פון עקוויפּמענט ביז לאַנג-טערמין וישאַלט:
(1) קאַסטאַמייזד אַנטוויקלונג
· רעקאָמענדירן בלייד/לאַזער שנייד לייזונגען באַזירט אויף מאַטעריאַל אייגנשאַפטן (למשל, SiC כאַרדנאַס, GaAs שבריבלנאַס).
· אָנבאָטן פרייע מוסטער טעסטינג צו באַשטעטיקן שנייד קוואַליטעט (אַרייַנגערעכנט טשיפּינג, קערף ברייט, ייבערפלאַך ראַפנאַס, אאז"ו ו).
(2) טעכנישע טרענירונג
· גרונטלעכע טרענירונג: עקוויפּמענט אָפּעראַציע, פּאַראַמעטער אַדזשאַסטמענט, רוטין וישאַלט.
· פארגעשריטענע קורסן: פּראָצעס אָפּטימיזאַציע פֿאַר קאָמפּלעקסע מאַטעריאַלן (למשל, דרוק-פֿרײַ שניידן פֿון LT סאַבסטראַטן).
(3) נאָך-פאַרקויף שטיצע
· 24/7 רעאַקציע: ווייטער דיאַגנאָסטיק אָדער הילף אויף פּלאַץ.
· צושטעל פון רעזערוו טיילן: אויסגעשטאטע שפּינדלען, בליידז און אָפּטישע קאָמפּאָנענטן פֿאַר שנעלן אויסטויש.
· פּרעווענטיוו וישאַלט: רעגולערע קאַליבראַציע צו האַלטן אַקיעראַסי און פאַרלענגערן סערוויס לעבן.
אונדזערע מעלות
✔ אינדוסטריע דערפאַרונג: סערווינג 300+ גלאָבאַלע האַלב-קאָנדוקטאָר און עלעקטראָניק פאַבריקאַנטן.
✔ שניידנדיקע טעכנאָלאָגיע: פּרעציזיע לינעאַר גיידס און סערוואָ סיסטעמען ענשור אינדוסטריע-פירנדיק פעסטקייט.
✔ גלאָבאַלע סערוויס נעץ: קאַווערידזש אין אזיע, אייראָפּע און צפון אַמעריקע פֿאַר לאָקאַליזירטע שטיצע.
פֿאַר טעסטינג אדער פֿראַגעס, קאָנטאַקט אונדז!
פֿאַרבונדענע פּראָדוקטן
-
150x150 מם וואַפער טרעגער קוואַדראַט טראַנספּאָרט קעסטל
-
לאַבאָראַטאָריע-געשאַפֿענע ים בלוי רוי סאַפיר געמשטיין, מאָה...
-
2 אינטש סיליקאָן קאַרבייד וואַפערס 6H אָדער 4H N-טיפּ אָ ...
-
InGaAs עפּיטאַקסיאַל וועיפער סאַבסטראַט PD אַרעי פאָטאָ...
-
2 אינטש 50.8 מם סאַפיר וואַפער C-פּלאַן M-פּלאַן R-...
-
8 אינטש 200 מם סאַפייער וואַפער טרעגער סאַבסטרייט 1S...