12 אינטש דיאַמע300x1.0mmt סאַפייער ווייפער סאַבסטרייט C-פּליין סספּ / דספּ
12 אינטש סאַפייער סאַבסטרייט מאַרק סיטואַציע
דערווייַל, סאַפייער האט צוויי הויפּט ניצט, איינער איז די סאַבסטרייט מאַטעריאַל, וואָס איז דער הויפּט געפירט סאַבסטרייט מאַטעריאַל, די אנדערע איז די וואַך רעדל, ייווייישאַן, עראָוספּייס, ספּעציעל מאַנופאַקטורינג פֿענצטער מאַטעריאַל.
כאָטש סיליציום קאַרבידע, סיליציום און גאַליום ניטריד זענען אויך בנימצא ווי סאַבסטרייץ פֿאַר לעדס אין אַדישאַן צו סאַפייער, מאַסע פּראָדוקציע איז נאָך ניט מעגלעך רעכט צו קאָסטן און עטלעכע אַנריזאַלווד טעכניש באַטאַלנעקס. סאַפייער סאַבסטרייט דורך די טעכניש אַנטוויקלונג אין די לעצטע יאָרן, זייַן לאַטאַס וואָס ריכטן, עלעקטריקאַל קאַנדאַקטיוואַטי, מעטשאַניקאַל פּראָפּערטיעס, טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און אנדערע פּראָפּערטיעס האָבן שוין זייער ימפּרוווד און פּראָמאָטעד, פּרייַז-עפעקטיוו מייַלע איז באַטייַטיק, אַזוי סאַפייער איז געווארן די מערסט דערוואַקסן און סטאַביל סאַבסטרייט מאַטעריאַל אין די געפירט אינדוסטריע, האט שוין וויידלי געניצט אין די מאַרק, די מאַרק טיילן ווי הויך ווי 90%.
כאַראַקטעריסטיש פון 12 אינטש סאַפייער ווייפער סאַבסטרייט
1. סאַפייער סאַבסטרייט סערפאַסיז האָבן אַ גאָר נידעריק פּאַרטאַקאַל ציילן, מיט ווייניקערע ווי 50 פּאַרטיקאַלז 0.3 מייקראַנז אָדער גרעסער פּער 2 אינטשעס אין די 2 צו 8 אינטש גרייס קייט, און הויפּט מעטאַלס (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni , קו, זן) אונטער 2E10/cm2. די 12-אינטש באַזע מאַטעריאַל איז אויך דערוואַרט צו דערגרייכן דעם מיינונג.
2. קענען ווערן געניצט ווי אַ טרעגער ווייפער פֿאַר די 12-אינטש סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס (אין-מיטל אַריבערפירן פּאַלאַץ) און ווי אַ סאַבסטרייט פֿאַר באַנדינג.
3. קענען קאָנטראָלירן די פאָרעם פון קאָנקאַווע און קאַנוועקס ייבערפלאַך.
מאַטעריאַל: הויך ריינקייַט איין קריסטאַל אַל2אָ3, סאַפייער ווייפער.
געפירט קוואַליטעט, קיין באַבאַלז, קראַקס, צווילינג, ייכעס, קיין קאָליר .. עטק.
12 אינטש סאַפייער וואַפערס
אָריענטירונג | C-פּלאַן<0001> +/- 1 deg. |
דיאַמעטער | 300.0 +/-0.25 מם |
גרעב | 1.0 +/-25ום |
קאַרב | נאַטש אָדער פלאַך |
TTV | <50um |
בויגן | <50um |
עדזשאַז | פּראָטאַקטיוו טשאַמפער |
פראָנט זייַט - פּאַלישט 80/50 | |
לאַזער צייכן | קיינער |
פּאַקקאַגינג | איין ווייפער טרעגער קעסטל |
פראָנט זייַט עפּי גרייט פּאַלישט (Ra <0,3nm) | |
צוריק זייַט עפּי גרייט פּאַלישט (Ra <0,3nm) |