סיליקאָן / סיליקאָן קאַרבייד (SiC) וועיפער פיר-שטאַפּל לינקעד פּאָלישינג אָטאַמאַציע ליניע (ינטעגרירטע נאָך-פּאָליש האַנדלינג ליניע)

קורצע באַשרייַבונג:

די פיר-שטאפליגע פארבינדענע פאליר-אויטאמאציע ליניע איז אן אינטעגרירטע, אין-ליניע לייזונג דיזיינט פארנאך-פאליש / נאך-סי-עם-פיאָפּעראַציעס פוןסיליקאָןאוןסיליקאָן קאַרבייד (SiC)וועיפערס. געבויט ארוםקעראַמישע טרעגער (קעראַמישע פּלאַטעס), די סיסטעם קאמבינירט קייפל דאַונסטרים אויפגאַבן אין איין קאָאָרדינירטע ליניע—העלפֿנדיק פאַבריקן רעדוצירן מאַנועלע האַנדלינג, סטאַביליזירן טאַקט צייט, און פארשטארקן קאַנטאַמאַניישאַן קאָנטראָל.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

סיליקאָן / סיליקאָן קאַרבייד (SiC) וועיפער פיר-שטאַפּל לינקעד פּאָלישינג אָטאַמאַציע ליניע (ינטעגרירטע נאָך-פּאָליש האַנדלינג ליניע)4

איבערבליק

אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע,עפעקטיווע נאך-CMP רייניקונגאיז ברייט אנערקענט אלס א שליסל שריט צו רעדוצירן חסרונות פארן נעקסטן פראצעס, און פארגעשריטענע צוגאנגען (אריינגערעכנטמעגאַסאָניק רייניקונג) ווערן אָפט דיסקוטירט פֿאַר פֿאַרבעסערן פּאַרטיקל באַזייַטיקונג פאָרשטעלונג.

פֿאַר SiC אין באַזונדער, זײַןהויכע כאַרטקייט און כעמישע אינערטקייטמאַכן פּאָלירן שווער (אָפט פֿאַרבונדן מיט נידעריק מאַטעריאַל באַזייַטיקונג קורס און העכער ריזיקירן פון ייבערפלאַך/אונטערפלאַך שעדיקן), וואָס מאכט סטאַבילע פּאָסט-פּאָליש אָטאַמאַציע און קאַנטראָולד רייניקונג/האַנדלונג ספּעציעל ווערטפול.

סיליקאָן / סיליקאָן קאַרבייד (SiC) וועיפער פיר-שטאַפּל לינקעד פּאָלישינג אָטאַמאַציע ליניע (ינטעגרירטע נאָך-פּאָליש האַנדלינג ליניע)5

סיליקאָן / סיליקאָן קאַרבייד (SiC) וועיפער פיר-שטאַפּל לינקעד פּאָלישינג אָטאַמאַציע ליניע (ינטעגרירטע נאָך-פּאָליש האַנדלינג ליניע)2

שליסל בענעפיטן

איין איינציקע אינטעגרירטע ליניע וואָס שטיצט:

וועיפער צעשיידונג און זאַמלונג(נאך פאלירן)
קעראַמיש טרעגער באַפערינג / סטאָרידזש
רייניקונג פון קעראַמישע טרעגער
וועיפער מאָונטינג (פּאַסטינג) אויף קעראַמישע טרעגער
קאָנסאָלידירטע, איין-ליניע אָפּעראַציע פֿאַר6–8 אינטש וועיפערס

טעכנישע ספּעציפֿיקאַציעס (פֿון צוגעשטעלטן דאַטאַשיט)

עקוויפּמענט דימענסיעס (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 מ״מ
מאַכט צושטעל:AC 380 V, 50 Hz
גאַנץ מאַכט:119 קוו
מאַונטינג ריינקייט:0.5 מיקראָמעטער < 50 יעדער; 5 מיקראָמעטער < 1 יעדער
מאָנטירונג פלאַכקייט:≤ 2 מיקראָמעטער

דורכפֿלוס רעפֿערענץ (פֿון צוגעשטעלטן דאַטאַבלאַט)

עקוויפּמענט דימענסיעס (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 מ״מ
מאַכט צושטעל:AC 380 V, 50 Hz
גאַנץ מאַכט:119 קוו
מאַונטינג ריינקייט:0.5 מיקראָמעטער < 50 יעדער; 5 מיקראָמעטער < 1 יעדער
מאָנטירונג פלאַכקייט:≤ 2 מיקראָמעטער

טיפּישער ליניע פלוס

אריינפיר / צובינד פון אויבערשטן פאליר-געגנט
וועיפער צעשיידונג און זאַמלונג
קעראַמיש טרעגער באַפערינג/סטאָרידזש (טאַקט-צייט דיקאַפּלינג)
רייניקונג פון קעראַמישע טרעגער
וואַפער מאַונטינג אויף טרעגערס (מיט ריינקייט און פלאַכקייט קאָנטראָל)
אַרויספֿיט צו דאַונסטרים פּראָצעס אָדער לאָגיסטיק

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס

פ1: וואָסערע פּראָבלעמען לייזט די ליניע הויפּטזעכלעך אויף?
א: עס פֿאַרפּשוטערט נאָך-פּאָליש אָפּעראַציעס דורך ינטאַגרירן וועיפער צעשיידונג/זאַמלונג, קעראַמיק טרעגער באַפערינג, טרעגער רייניקונג, און וועיפער מאַונטינג אין איין קאָאָרדינירטע אָטאַמיישאַן ליניע—רעדוצירן מאַנועלע רירפּונקטן און סטאַביליזירן פּראָדוקציע ריטם.

פ2: וועלכע וועיפער מאַטעריאַלן און גרייסן ווערן געשטיצט?
א:סיליקאָן און SiC,6–8 אינטשעסוואַפֿערס (לויט די צוגעשטעלטע ספּעציפֿיקאַציע).

פ3: פארוואס ווערט נאך-CMP רייניקונג באטאנט אין דער אינדוסטריע?
א: אינדוסטריע ליטעראַטור אונטערשטרייכט אַז די פאָדערונג פֿאַר עפעקטיוו נאָך-CMP רייניקונג איז געוואקסן צו רעדוצירן דעפעקט געדיכטקייט איידער דעם ווייַטער שריט; מעגאַסאָניק-באזירט צוגאַנגען זענען קאַמאַנלי געלערנט פֿאַר ימפּרוווינג פּאַרטיקל באַזייַטיקונג.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.