סאַפיר עטשט וועיפער נאַס און טרוקן עטשינג סאַלושאַנז

סאַפיר עטשט וועיפער נאַס & טרוקן עטשינג סאַלושאַנז Featured Image

קורצע באַשרייַבונג:

סאַפיר איינגעקריצטע וועיפערס ווערן פאַבריצירט מיט הויך-ריינקייט איינציק-קריסטאַל סאַפיר (Al₂O₃) סאַבסטראַטן, פּראַסעסט דורך אַוואַנסירטע פאָטאָליטאָגראַפי קאַמביינד מיט נאַס עטשינג און טרוקן עטשינג טעקנאַלאַדזשיז. די פּראָדוקטן האָבן העכסט מונדיר מיקראָ-סטרוקטורירטע פּאַטערנז, ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל אַקיעראַסי, און בוילעט גשמיות און כעמיש פעסטקייַט, מאכן זיי פּאַסיק פֿאַר הויך-פאַרלאָזלעך אַפּלאַקיישאַנז אין מיקראָעלעקטראָניק, אָפּטאָעלעקטראָניק, האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקקאַגינג, און אַוואַנסירטע פאָרשונג פעלדער.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

סאַפיר עטשט וועיפער נאַס און טרוקן עטשינג סאַלושאַנז

פּראָדוקט הקדמה

סאַפיר איינגעקריצטע וועיפערס ווערן פאַבריצירט מיט הויך-ריינקייט איין-קריסטאַל סאַפיר (Al₂O₃) סאַבסטראַטן, פּראַסעסט דורך אַוואַנסירטע פאָטאָליטאָגראַפי קאַמביינד מיטנאַסע עטשינג און טרוקן עטשינג טעכנאָלאָגיעסדי פּראָדוקטן האָבן זייער איינהייטלעכע מיקראָ-סטרוקטורירטע מוסטערן, אויסגעצייכנטע דימענסיאָנעלע אַקיעראַסי, און אויסגעצייכנטע פיזישע און כעמישע פעסטקייט, מאַכנדיג זיי פּאַסיק פֿאַר הויך-פאַרלעסלעכקייט אַפּלאַקיישאַנז אין מיקראָעלעקטראָניק, אָפּטאָעלעקטראָניק, האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג, און אַוואַנסירטע פאָרשונג פעלדער.

סאַפיר איז באַקאַנט פֿאַר זײַן אויסערגעוויינטלעכער כאַרטקייט און סטרוקטורעלער פעסטקייט, מיט אַ מאָהס כאַרטקייט פֿון 9, צווייט נאָר נאָך דיאַמאָנט. דורך פּינקטלעך קאָנטראָלירן עטשינג פּאַראַמעטערס, קענען גוט-דעפינירטע און איבערחזרנדיקע מיקראָ-סטרוקטורן געשאַפן ווערן אויף דער סאַפיר ייבערפלאַך, וואָס גאַראַנטירט שאַרף מוסטער עדזשאַז, סטאַבילע געאָמעטריע און ויסגעצייכנטע קאָנסיסטענסי איבער באַטשאַז.

עטשינג טעכנאָלאָגיעס

נאַסע עטשינג

נאַסע עטשינג ניצט ספּעציאַליזירטע כעמישע לייזונגען צו סעלעקטיוו אַראָפּנעמען סאַפיר מאַטעריאַל און שאַפֿן די געוואונטשענע מיקראָסטרוקטורן. דער פּראָצעס אָפפערס הויך דורכפֿלוס, גוטע איינהייטלעכקייט, און לעפיערעך נידעריקער פּראַסעסינג קאָסטן, מאַכנדיג עס פּאַסיק פֿאַר גרויס-שטח פּאַטערנינג און אַפּלאַקיישאַנז מיט מיטלמעסיקע זייַטוואַנט פּראָפיל רעקווייערמענץ.

דורך גענוי קאנטראלירן לייזונג קאמפאזיציע, טעמפעראטור, און עטשינג צייט, קען מען דערגרייכן א סטאבילן קאנטראל פון עטשינג טיפקייט און אייבערפלאך מארפאלאגיע. נאס-געעטשעטע סאפיר וועיפערס ווערן ברייט גענוצט אין LED פאקעדזשינג סובסטראטן, סטרוקטורעלע שטיצע לייערס, און אויסגעקליבענע MEMS אפליקאציעס.

טרוקן עטשינג

טרוקענע עטשינג, ווי למשל פּלאַזמע עטשינג אדער רעאַקטיווע יאָן עטשינג (RIE), ניצט הויך-ענערגיע יאָנען אדער רעאַקטיווע מינים צו עטשינג סאַפיר דורך פיזישע און כעמישע מעכאַניזמען. די מעטאָדע גיט העכערע אַניזאָטראָפּי, הויך פּינטלעכקייט, און אויסגעצייכנטע מוסטער טראַנספער קייפּאַביליטי, וואָס ערמעגליכט די פאַבריקאַציע פון פיינע פֿעיִקייטן און הויך-אַספּעקט-פאַרהעלטעניש מיקראָסטרוקטורן.

טרוקן עטשינג איז ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר אַפּליקאַציעס וואָס דאַרפן ווערטיקאַלע זייטווענט, שאַרף פֿעיִטשער דעפֿיניציע, און שטרענגע דימענסיאָנאַלע קאָנטראָל, אַזאַ ווי מיקראָ-לעד דעוויסעס, אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג, און הויך-פּערפאָרמאַנס MEMS סטרוקטורן.

שליסל פֿעיִקייטן און אַדוואַנטאַגעס

הויך-ריינקייט איין-קריסטאַל סאַפייער סאַבסטראַט מיט ויסגעצייכנט מעכאַניש שטאַרקייט
פלעקסיבלע פּראָצעס אָפּציעס: נאַס עטשינג אָדער טרוקן עטשינג באזירט אויף אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ
הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל פֿאַר לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי
אויסגעצייכנטע טערמישע און כעמישע פעסטקייט, פּאַסיק פֿאַר שווערע סביבות
הויך אָפּטיש טראַנספּעראַנסי און סטאַבילע דיעלעקטרישע אייגנשאַפטן
הויך מוסטער איינהייטלעכקייט און באַטש-צו-באַטש קאָנסיסטענסי

אַפּליקאַציעס

LED און מיקראָ-LED פּאַקאַדזשינג און טעסטינג סאַבסטראַטן
האַלב-קאָנדוקטאָר טשיפּ טרעגערס און אַוואַנסירטע פּאַקאַדזשינג
MEMS סענסאָרן און מיקראָ-עלעקטראָמעכאַנישע סיסטעמען
אָפּטישע קאָמפּאָנענטן און פּרעציזיע אַליינמענט סטרוקטורן
פאָרשונג אינסטיטוטן און קאַסטאַמייזד מיקראָ-סטרוקטור אַנטוויקלונג

קאַסטאַמייזיישאַן און סערוויסעס

מיר אָפֿערן קאָמפּרעהענסיווע קאַסטאַמייזיישאַן באַדינונגען, אַרייַנגערעכנט מוסטער פּלאַן, עטשינג מעטאָד סעלעקציע (נאַס אָדער טרוקן), עטשינג טיפקייַט קאָנטראָל, סאַבסטראַט גרעב און גרייס אָפּציעס, איין-זייַט אָדער טאָפּל-זייַט עטשינג, און ייבערפלאַך פּאַלישינג גראַדעס. שטרענג קוואַליטעט קאָנטראָל און דורכקוק פּראָוסידזשערז ענשור אַז יעדער סאַפייער געעטשט ווייפער טרעפֿט הויך רילייאַבילאַטי און פאָרשטעלונג סטאַנדאַרדס איידער עקספּרעס.

אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס – אָפֿט געשטעלטע פֿראַגעס

פ1: וואָס איז דער חילוק צווישן נאַס עטשינג און טרוקן עטשינג פֿאַר סאַפיר?

A:נאַסע עטשינג איז באַזירט אויף כעמישע רעאַקציעס און איז פּאַסיק פֿאַר גרויס-שטח און קאָסטן-עפעקטיוו פּראַסעסינג, בשעת טרוקן עטשינג ניצט פּלאַזמע אָדער יאָן-באַזירט טעקניקס צו דערגרייכן העכער פּינקטלעכקייט, בעסער אַניזאָטראָפּי, און פיינער פֿעיִטשער קאָנטראָל. די ברירה דעפּענדס אויף סטרוקטורעל קאָמפּלעקסיטי, פּינקטלעכקייט רעקווירעמענץ, און קאָסטן באַטראַכטונגען.

פ2: וועלכע עטשינג פּראָצעס זאָל איך אויסקלײַבן פֿאַר מײַן אַפּליקאַציע?

A:נאַסע עטשינג איז רעקאָמענדירט פֿאַר אַפּליקאַציעס וואָס דאַרפן מונדיר מוסטערן מיט מיטלמעסיקער אַקיעראַסי, אַזאַ ווי נאָרמאַלע LED סאַבסטראַטן. טרוקענע עטשינג איז מער פּאַסיק פֿאַר הויך-רעזאָלוציע, הויך-אַספּעקט-פאַרהעלטעניש, אָדער מיקראָ-LED און MEMS אַפּליקאַציעס וווּ פּינקטלעכע געאָמעטריע איז קריטיש.

ק3: קענט איר שטיצן קאַסטאַמייזד פּאַטערנז און ספּעסיפיקאַציעס?

A:יא. מיר שטיצן גאָר קאַסטאַמייזד דיזיינז, אַרייַנגערעכנט מוסטער אויסלייג, שטריך גרייס, עטשינג טיפקייַט, וועיפער גרעב, און סאַבסטראַט דימענסיעס.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.