טיטל: וואָס איז FOUP אין טשיפּ מאַנופאַקטורינג?

אינהאַלטס־טאַבעלע

1. איבערבליק און קערן פונקציעס פון FOUP

2. סטרוקטור און דיזיין פֿעיִקייטן פֿון FOUP

3. קלאַסיפֿיקאַציע און אַפּליקאַציע גיידליינז פֿון FOUP

4. אָפּעראַציעס און וויכטיקייט פון FOUP אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע

5. טעכנישע שוועריקייטן און צוקונפטיגע אנטוויקלונג טרענדס

6.XKH'ס קאַסטאַמייזד סאַלושאַנז און סערוויס שטיצע

אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס, איז דער פראָנט עפענונג יוניפייד פּאָד (FOUP) אַ קריטישער קאַנטיינער געניצט פֿאַר באַשיצן, טראַנספּאָרטירן און סטאָרירן וועיפערס. זיין אינעווייניק קען אַקאַמאַדירן 25 שטיקלעך 300 מ"מ וועיפערס, און זיינע הויפּט קאָמפּאָנענטן אַרייַננעמען אַ פראָנט-עפענונג קאַנטיינער און אַ דעדאַקייטאַד טיר ראַם פֿאַר עפענען און פֿאַרמאַכן. דער FOUP איז אַ קערן טרעגער אין די אויטאָמאַטישע טראַנספּאָרטאַציע סיסטעם אין 12 אינטש וועיפער פאַבריקן. עס ווערט טיפּיש טראַנספּאָרטירט אין אַ פֿאַרמאַכטן צושטאַנד און עפֿנט זיך נאָר ווען עס ווערט געשטופּט צו די ויסריכט לאָוד פּאָרט, וואָס אַלאַוז וועיפערס צו ווערן טראַנספערד אין די ויסריכט'ס לאָודינג/אַנלאָודינג פּאָרט.

דער דיזיין פון די FOUP איז צוגעפאסט צו די מיקראָ-סביבה באדערפענישן. עס פֿאַרמאָגט סלאָץ אין דער הינטערשטער טייל פֿאַר וועיפער אַרייַנשטעקן, און דער דעקל איז ספּעציעל דיזיינד צו פּאַסן די קלאַמער פון די עפֿענער. וועיפער-האַנדלונג ראָבאָטן אַרבעטן אין אַ קלאַס 1 ריין לופט סביבה, וואָס זאָרגט אַז די וועיפער ווערן נישט קאַנטאַמאַנירט בעת טראַנסמיסיע. דערצו, די FOUP ווערט באַוועגט צווישן פּראָצעס מכשירים דורך אַן אויטאָמאַטיש מאַטעריאַל האַנדלינג סיסטעם (AMHS). מאָדערנע וועיפער פאַבריקן נוצן מערסטנס אָוווערכעד רעלס סיסטעמען פֿאַר טראַנספּאָרטאַציע, בשעת אַ פּאָר עלטערע פאַבריקן קענען נוצן ערד-באַזירט אויטאָמאַטיש געפֿירט וועהיקלעס (AGVs).

דער FOUP ניט נאר ערמעגליכט אויטאמאטישן וועיפערס טראנספער, נאר אויך דינט א סטאָרידזש פונקציע. צוליב די פילע פאבריקאציע טריט, קען עס נעמען חדשים פאר וועיפערס צו ענדיגן דעם גאנצן פראצעס. צוזאמען מיט הויכע מאנאטליכע פראדוקציע פארנעם, מיינט דאס אז צענדליקער טויזנטער וועיפערס אין א פאבריק זענען כסדר אין טראנספארט אדער צייטווייליגע סטאָרידזש אין יעדער געגעבענער צייט. בעת סטאָרידזש, ווערן FOUPs פעריאדיש אויסגערייניקט מיט שטיקשטאף צו פארמיידן קאנטאמינאנטן פון קאנטאקטירן די וועיפערס, וואס זיכערט א ריינעם און פארלעסלעכן פראדוקציע פראצעס.

1. פונקציעס און וויכטיקייט פון FOUP

די הויפּט פֿונקציע פֿון FOUP איז צו באַשיצן וועיפֿערס פֿון עקסטערנע שאָקן און קאָנטאַמינאַציע, ספּעציעל פֿאַרמייַדן די השפּעות אויף דער פּראָדוקציע בעתן טראַנספֿער. עס פֿאַרהיט עפֿעקטיוו פֿײַכטקייט דורך מעטאָדן ווי גאַז רייניקונג און לאָקאַלע אַטמאָספֿער קאָנטראָל (LAC), און זיכערט אַז וועיפֿערס בלייבן אין אַ זיכערן צושטאַנד בשעת זיי וואַרטן אויף דעם קומענדיקן פּראָדוקציע שריט. זײַן פֿאַרזיגלטע און קאָנטראָלירטע סיסטעם דערלויבט בלויז די נויטיקע פֿאַרבינדונגען און עלעמענטן אַרײַנצוגיין, און באַדײַטנדיק רעדוצירן די נעגאַטיווע ווירקונגען פֿון VOCs, זויערשטאָף און פֿײַכטקייט אויף די וועיפֿערס.

זינט אַ FOUP פול באַלאָדן מיט 25 וועיפערס קען וועגן ביז 9 קילאָגראַם, מוז זיין טראַנספּאָרטאַציע זיך פֿאַרלאָזן אויף אַן אויטאָמאַטיש מאַטעריאַל האַנדלינג סיסטעם (AMHS). צו דערמעגלעכן דאָס, איז די FOUP דיזיינד מיט פֿאַרשידענע קאָמבינאַציעס פון קאַפּלינג פּלאַטעס, שפּילקעס און לעכער, און איז אויסגעשטאַט מיט RFID עלעקטראָנישע טעגס פֿאַר גרינגע אידענטיפֿיקאַציע און קלאַסיפֿיקאַציע. די אויטאָמאַטישע האַנדלינג פֿאָדערט כּמעט קיין מאַנועלע אָפּעראַציע, וואָס רעדוצירט שטאַרק די טעות ראַטעס און פֿאַרבעסערט די זיכערקייט און אַקיעראַסי פֿון דעם פּראָדוקציע פּראָצעס.

2. סטרוקטור און קלאַסיפֿיקאַציע פֿון FOUP

די טיפּישע דימענסיעס פון אַ FOUP זענען בערך 420 מ"מ אין ברייט, 335 מ"מ אין טיפקייט, און 335 מ"מ אין הייך. אירע הויפּט סטרוקטורעלע קאָמפּאָנענטן אַרייַננעמען: אַ שפּיץ OHT (שוואָם קאָפּ) פֿאַר טראַנספּאָרט פון אויבערשטע הייבער; אַ פראָנט טיר פֿאַר אַקסעס צו ויסריכט; זייט הענטלעך, אָפט קאָלירט צו אונטערשיידן פּראָצעס געביטן מיט פאַרשידענע קאַנטאַמאַניישאַן לעוועלס; אַ קאַרטל געגנט פֿאַר שטעלן מעסעדזש קאַרטלעך; און אַ דנאָ RFID טאַג וואָס דינט ווי דער יינציקער אידענטיפיצירער פֿאַר די FOUP, אַלאַוינג מכשירים און אויבערשטע הייבער צו דערקענען עס. די באַזע איז אויך יקוויפּט מיט פיר אידענטיפֿיקאַציע און פּאַזישאַנינג לעכער פֿאַר גלייַכן מיט מכשירים און אונטערשיידן פּראָצעס געביטן.

באַזירט אויף באַניץ, ווערן FOUPs קלאַסיפֿיצירט אין דריי טיפּן: PRD (פֿאַר פּראָדוקציע), ENG (פֿאַר אינזשעניריע וועיפערס), און MON (פֿאַר מאָניטאָר וועיפערס). PRD FOUPs קענען געניצט ווערן פֿאַר פּראָדוקט מאַנופאַקטורינג, ENG טיפּן זענען פּאַסיק פֿאַר R&D אָדער עקספּערימענטן, און MON טיפּן זענען דעדאַקייטאַד צו פּראָצעס מאָניטאָרינג פֿאַר טריט ווי CMP און DIFF. עס איז וויכטיק צו באַמערקן אַז PRD FOUPs קענען געניצט ווערן פֿאַר ביידע ENG און MON צוועקן, און ENG טיפּן קענען געניצט ווערן פֿאַר MON, אָבער די פאַרקערטע אָפּעראַציע שטעלט קוואַליטעט ריזיקעס.

קלאַסיפֿיצירט לויט קאָנטאַמינאַציע מדרגה, קענען FOUPs ווערן צעטיילט אין FE FOUP (פראָנט-ענד פּראָצעס, מעטאַל-פֿרײַ), BE FOUP (בעק-ענד פּראָצעס, ענטהאַלט מעטאַל), און יענע ספּעציאַליזירט פֿאַר ספּעציפֿישע מעטאַל פּראָצעסן ווי NI FOUP, CU FOUP, און CO FOUP. FOUPs פֿאַר פֿאַרשידענע פּראָצעסן ווערן טיפּיש אונטערשיידן דורך די קאָליר פֿון די זײַט הענטלעך אָדער טיר פּאַנאַלז. FOUPs פֿון פראָנט-ענד פּראָצעסן קענען ווערן גענוצט אין בעק-ענד פּראָצעסן, אָבער בעק-ענד FOUPs טאָרן קיינמאָל נישט ווערן גענוצט אין פראָנט-ענד פּראָצעסן, ווײַל דאָס וואָלט פֿאַראורזאַכן קאָנטאַמינאַציע ריסקס.

אלס א שליסל טרעגער אין האלב-קאנדוקטאר פאבריקאציע, גאראנטירט די FOUP, דורך הויכע אויטאמאציע און שטרענגע קאנטאמינאציע קאנטראל, די זיכערהייט און ריינקייט פון וועיפערס בעת דעם פראדוקציע פראצעס, מאכנדיג עס אן אומפארמיידלעכע אינפראסטרוקטור אין מאדערנע וועיפער פאבריקן.

מסקנא

XKH איז מחויב צו צושטעלן קאַסטאַמערז מיט העכסט קאַסטאַמייזד פראָנט-עפן יוניפייד פּאָד (FOUP) סאַלושאַנז, שטרענג אַדכירינג צו דיין ספּעציפיש פּראָצעס רעקווירעמענץ און ויסריכט צובינד ספּעסאַפאַקיישאַנז. לעווערידזשינג אַוואַנסירטע מאַטעריאַל טעכנאָלאָגיע און פּינטלעכקייַט מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז, מיר ענשור אַז יעדער FOUP פּראָדוקט גיט אויסערגעוויינלעך לופט-טייטקייט, ריינקייט און מעטשאַניקאַל פעסטקייַט. אונדזער טעכניש מאַנשאַפֿט פאַרמאָגט טיף אינדוסטריע עקספּערטיז, אָפפערס פולשטענדיק לעבן-ציקל שטיצן - פון סעלעקציע קאָנסולטאַציע און סטרוקטוראַל אָפּטימיזאַטיאָן צו רייניקונג און וישאַלט - ענשורינג סימלאַס ינטאַגריישאַן און עפעקטיוו מיטאַרבעט צווישן די FOUP און דיין אָטאַמייטיד מאַטעריאַל האַנדלינג סיסטעם (AMHS) ווי געזונט ווי פּראַסעסינג ויסריכט. מיר קאָנסיסטאַנטלי פּרייאָריטייז די זיכערקייַט פון וועיפערז און די פֿאַרבעסערונג פון פּראָדוקציע טראָגן ווי אונדזער האַרץ אָביעקטיוון. דורך ינאָוווייטיוו פּראָדוקטן און אַל-ינקאַמינג טעכניש באַדינונגען, מיר צושטעלן אַ ראָבאַסט גאַראַנטירן פֿאַר דיין האַלב-קאַנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז, לעסאָף בוסטינג פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט און פּראָדוקט טראָגן.