12 אינטש סאַפיר וועיפער פֿאַר הויך-וואָלומען האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג

קורצע באַשרייַבונג:

דער 12 אינטש סאַפיר וועיפער איז דיזיינד צו טרעפן די וואַקסנדיקע פאָדערונג פֿאַר גרויס-שטח, הויך-דורכפיר האַלב-קאָנדוקטאָר און אָפּטאָעלעקטראָניק פאַבריקאַציע. ווי אַפּאַראַט אַרכיטעקטורן פאָרזעצן צו סקאַלירן און פּראָדוקציע ליניעס רירן זיך צו גרעסערע וועיפער פֿאָרמאַטן, סאַפיר סאַבסטראַטן מיט גאָר גרויסע דיאַמעטערס פאָרשלאָגן קלאָרע אַדוואַנטאַגעס אין פּראָדוקטיוויטי, ייעלד אָפּטימיזאַציע, און קאָסטן קאָנטראָל.

שיקט אַן אימעיל צו אונדז

פֿעיִטשערז

דעטאַלירטע דיאַגראַמע

הקדמה פון 12 אינטש סאַפייער וועיפער

פאַבריצירט פֿון הויך-ריינקייט איין-קריסטאַל Al₂O₃, אונדזערע 12 אינטש סאַפייער וועיפערס קאָמבינירן אויסגעצייכנטע מעכאַנישע שטאַרקייט, טערמישע פעסטקייט, און ייבערפלאַך קוואַליטעט. דורך אָפּטימיזירטע קריסטאַל וווּקס און פּינקטלעכקייט וועיפער פּראַסעסינג, די סאַבסטראַטן צושטעלן פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג פֿאַר אַוואַנסירטע LED, GaN, און ספּעציעלע האַלב-קאָנדוקטאָר אַפּלאַקיישאַנז.

מאַטעריאַלע קעראַקטעריסטיקס

סאַפיר (איינציק-קריסטאַל אַלומינום אָקסייד, Al₂O₃) איז באַקאַנט פֿאַר זייַנע אויסגעצייכנטע פֿיזישע און כעמישע אייגנשאַפֿטן. 12 אינטש סאַפיר וועיפערס ירשענען אַלע די מעלות פֿון סאַפיר מאַטעריאַל בשעת זיי צושטעלן אַ פיל גרעסערע נוצלעכע ייבערפלאַך שטח.

שליסל מאַטעריאַל קעראַקטעריסטיקס אַרייַננעמען:

גאָר הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל
אויסגעצייכנטע טערמישע פעסטקייט און הויך שמעלץ פונקט
העכערע כעמישע קעגנשטעל צו זויערן און אַלקאַליז
הויך אָפּטיש טראַנספּאַרענץ פון UV צו IR כוואַליע לענגקטס
אויסגעצייכנטע עלעקטרישע איזאָלאַציע אייגנשאַפטן

די קעראַקטעריסטיקס מאַכן 12 אינטש סאַפייער וואַפערס פּאַסיק פֿאַר האַרב פּראַסעסינג ינווייראַנמאַנץ און הויך-טעמפּעראַטור האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז.

פּראָדוקציע פּראָצעס

די פּראָדוקציע פֿון 12 אינטש סאַפֿיר וועיפֿערס פֿאָדערט פֿאָרגעשריטענע קריסטאַל וואוקס און אולטראַ-פּרעציציע פּראַסעסינג טעכנאָלאָגיעס. דער טיפּישער מאַנופֿאַקטורינג פּראָצעס נעמט אַרײַן:

איין קריסטאַל וווּקס
הויך-ריינקייט סאַפייער קריסטאַלן ווערן געוואַקסן מיט אַוואַנסירטע מעטאָדן ווי KY אָדער אַנדערע גרויס-דיאַמעטער קריסטאַל וווּקס טעקנאַלאַדזשיז, וואָס ענשורז אַ מונדיר קריסטאַל אָריענטירונג און נידעריק ינערלעך דרוק.
קריסטאַל פאָרמינג און סלייסינג
די סאַפיר שטאַנג איז פּינקטלעך געפאָרעמט און געשניטן אין 12 אינטש וועיפערס מיט הויך-גענויקייט שנייד-עקוויפּמענט צו מינימיזירן אונטערערדישע שעדיקן.
לעפּינג און פּאָלירן
מולטי-סטעפּ לעפּינג און כעמישע מעכאַנישע פּאָלירינג (CMP) פּראָצעסן ווערן געווענדט צו דערגרייכן ויסגעצייכנטע ייבערפלאַך ראַפנאַס, פלאַךנאַס און גרעב יונאַפאָרמאַטי.
רייניקונג און דורכקוק
יעדער 12 אינטש סאַפיר וועיפער גייט דורך גרינטלעכע רייניקונג און שטרענגע דורכקוק, אַרייַנגערעכנט ייבערפלאַך קוואַליטעט, TTV, בויגן, וואָרפּ און דעפעקט אַנאַליז.

אַפּליקאַציעס

12 אינטש סאַפייער וועיפערס ווערן וויידלי געניצט אין אַוואַנסירטע און ימערדזשינג טעקנאַלאַדזשיז, אַרייַנגערעכנט:

הויך-מאַכט און הויך-ברייטקייט LED סאַבסטראַטן
GaN-באזירטע מאַכט דעוויסעס און RF דעוויסעס
האַלב-קאָנדוקטאָר עקוויפּמענט טרעגער און ינסאַלייטינג סאַבסטראַטן
אָפּטישע פֿענצטער און גרויס-שטח אָפּטישע קאָמפּאָנענטן
אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר פּאַקאַדזשינג און ספּעציעלע פּראָצעס טרעגער

דער גרויסער דיאַמעטער ענייבאַלז העכער דורכפלוס און פֿאַרבעסערטע קאָסטן עפעקטיווקייט אין מאַסע פּראָדוקציע.

מעלות פון 12 אינטש סאַפייער וואַפערס

גרעסערע נוצלעכע שטח פֿאַר העכערע מיטל רעזולטאַט פּער וועיפער
פֿאַרבעסערטע פּראָצעס קאָנסיסטענסי און איינהייטלעכקייט
רעדוצירטע קאָסטן פּער מיטל אין הויך-וואָלומען פּראָדוקציע
אויסגעצייכנטע מעכאנישע שטאַרקייט פֿאַר גרויס-גרייס האַנדלינג
קאַסטאַמייזאַבאַל ספּעסיפיקאַציעס פֿאַר פאַרשידענע אַפּלאַקיישאַנז

קאַסטאַמייזיישאַן אָפּציעס

מיר פאָרשלאָגן פלעקסאַבאַל קאַסטאַמייזיישאַן פֿאַר 12 אינטש סאַפייער וואַפערס, אַרייַנגערעכנט:

קריסטאַל אָריענטאַציע (C-פּלאַן, A-פּלאַן, R-פּלאַן, אאז"וו)
גרעב און דיאַמעטער טאָלעראַנץ
איין-זייטיג אדער צוויי-זייטיג פאלירן
ברעג פּראָפיל און טשאַמפער פּלאַן
אויבערפלאַך ראַפנאַס און פלאַךנאַס רעקווירעמענץ

פּאַראַמעטער	ספּעציפֿיקאַציע	נאטיצן
וואַפער דיאַמעטער	12 אינטשעס (300 מ"מ)	סטאַנדאַרט גרויס-דיאַמעטער וועיפער
מאַטעריאַל	איין-קריסטאַל סאַפיר (Al₂O₃)	הויך-ריינקייט, עלעקטראָניש/אָפּטיש גראַד
קריסטאַל אָריענטירונג	C-פלאַך (0001), A-פלאַך (11-20), R-פלאַך (1-102)	אפציאָנעלע אָריענטאַציעס בנימצא
גרעב	430–500 מיקראָמעטער	מנהג גרעב בנימצא אויף בעטן
גרעב טאָלעראַנץ	±10 מיקראָמעטער	שטרענגע טאָלעראַנץ פֿאַר אַוואַנסירטע דעוויסעס
גאַנץ גרעב וועריאַציע (TTV)	≤10 מיקראָמעטער	זיכערט איינהייטלעכע פּראַסעסינג אַריבער וועיפער
בויגן	≤50 מיקראָמעטער	געמאסטן איבערן גאנצן ווייפער
וואָרפּ	≤50 מיקראָמעטער	געמאסטן איבערן גאנצן ווייפער
ייבערפלאַך ענדיקן	איין-זייט פאלירט (SSP) / צוויי-זייט פאלירט (DSP)	הויך אָפּטיש קוואַליטעט ייבערפלאַך
ייבערפלאַך ראַפנאַס (ראַ)	≤0.5 נאַנאָמעטער (פּאָלירט)	אַטאָמישע גלאַטקייט פֿאַר עפּיטאַקסיאַל וווּקס
ברעג פּראָפיל	שאַםפער / ראַונדעד ברעג	צו פאַרמייַדן טשיפּינג בעת האַנדלינג
אָריענטירונג אַקיעראַסי	±0.5°	זיכערט געהעריק עפּיטאַקסיאַל שיכט וווּקס
דעפעקט געדיכטקייט	<10 סענטימעטער⁻²	געמאסטן דורך אָפּטישער דורכקוק
פלאַכקייט	≤2 מיקראָמעטער / 100 מ״מ	זיכערט איינהייטלעכע ליטאָגראַפֿיע און עפּיטאַקסיאַל וווּקס
ריינקייט	קלאַס 100 – קלאַס 1000	ריינרום קאָמפּאַטיבל
אָפּטישע טראַנסמיסיע	>85% (UV–IR)	ווענדט זיך אויף די כוואַליע־לענג און גרעב

12 אינטש סאַפייער וואַפער FAQ

פ1: וואָס איז די נאָרמאַלע גרעב פון אַ 12 אינטש סאַפיר וועיפער?
א: די סטאַנדאַרט גרעב ריינדזשאַז פון 430 מיקראָמעטער ביז 500 מיקראָמעטער. מנהג גרעב קענען אויך זיין געשאפן לויט קונה באדערפענישן.

פ2: וואָס קריסטאַל אָריענטאַציעס זענען בנימצא פֿאַר 12 אינטש סאַפיר וועיפערס?
א: מיר אָפֿערן C-פּלאַן (0001), A-פּלאַן (11-20), און R-פּלאַן (1-102) אָריענטאַציעס. אַנדערע אָריענטאַציעס קענען ווערן קאַסטאַמייזד באַזירט אויף ספּעציפֿישע מיטל רעקווייערמענץ.

פ3: וואָס איז די גאַנצע גרעב וואַריאַציע (TTV) פון די וועיפער?
א: אונדזערע 12 אינטש סאַפייער וועיפערס האָבן טיפּיש אַ TTV ≤10 מיקראָמעטער, וואָס זיכערט איינהייטלעכקייט איבער דער גאַנצער וועיפער ייבערפלאַך פֿאַר הויך-קוואַליטעט מיטל פאַבריקאַציע.

וועגן אונדז

XKH ספּעציאַליזירט זיך אין הויך-טעק אַנטוויקלונג, פּראָדוקציע און פארקויפונג פון ספּעציעלע אָפּטישע גלאָז און נייע קריסטאַל מאַטעריאַלן. אונדזערע פּראָדוקטן דינען אָפּטישע עלעקטראָניק, קאָנסומער עלעקטראָניק און די מיליטער. מיר פאָרשלאָגן סאַפיר אָפּטישע קאָמפּאָנענטן, מאָביל טעלעפאָן לינז דעקל, קעראַמיק, LT, סיליקאָן קאַרבייד SIC, קוואַרץ און האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וועיפערס. מיט באַגאַבטער עקספּערטיז און שניידנדיקער עקוויפּמענט, מיר עקסעלירן אין ניט-סטאַנדאַרט פּראָדוקט פּראַסעסינג, מיט דער ציל צו זיין אַ פירנדיקע אָפּטאָעלעקטראָנישע מאַטעריאַלן הויך-טעק ענטערפּרייז.