ווען מיר באַטראַכטן האַלב-קאָנדוקטאָר סיליקאָן וועיפערס אָדער סאַבסטראַטן געמאַכט פון אַנדערע מאַטעריאַלן, טרעפן מיר אָפט טעכנישע אינדיקאַטאָרן ווי: TTV, BOW, WARP, און מעגלעך TIR, STIR, LTV, צווישן אַנדערע. וואָסערע פּאַראַמעטערס רעפּרעזענטירן די?
TTV — גאַנץ גרעב וואַריאַציע
בויגן — בויגן
וואָרפּ — וואָרפּ
TIR — גאַנץ אינדיקירטע לייענען
STIR — פּלאַץ גאַנץ אינדיקירט לייענען
LTV — לאקאלע גרעב וועריאציע
1. גאַנץ גרעב וואַריאַציע — TTV
דער אונטערשייד צווישן דער מאַקסימום און מינימום גרעב פון דער וועיפער אין באַצוג צו דער רעפערענץ פלאַך ווען דער וועיפער איז צוגעקלעמט און אין נאָענטן קאָנטאַקט. עס ווערט בכלל אויסגעדריקט אין מיקראָמעטערס (μm), אָפט רעפּרעזענטירט ווי: ≤15 μm.
2. בויגן — בויגן
די אָפּנייגונג צווישן דעם מינימום און מאַקסימום דיסטאַנץ פֿון דעם צענטער פּונקט פֿון דער וועיפֿער־איבערפֿלאַך ביזן רעפֿערענץ־פּלאַן ווען דער וועיפֿער איז אין אַ פֿרײַען (נישט־אײַנגעקלעמטן) צושטאַנד. דאָס נעמט אַרײַן סײַ קאָנקאַווע (נעגאַטיווע בויגן) און סײַ קאָנוועקסע (פּאָזיטיוו בויגן) פֿאַלן. עס ווערט טיפּיש אויסגעדריקט אין מיקראָמעטערס (μm), אָפֿט רעפּרעזענטירט ווי: ≤40 μm.
3. וואָרפּ — וואָרפּ
די אָפּנייגונג צווישן דעם מינימום און מאַקסימום דיסטאַנץ פֿון דער ווייפער־איבערפֿלאַך ביזן רעפֿערענץ־פּלאַן (געוויינטלעך די הינטערשטע־איבערפֿלאַך פֿון דער ווייפער) ווען דער ווייפער איז אין אַ פֿרײַען (נישט־אײַנגעקלעמטן) צושטאַנד. דאָס נעמט אַרײַן סײַ קאָנקאַווע (נעגאַטיווע וואָרפּ) און סײַ קאָנוועקסע (פּאָזיטיוו וואָרפּ) פֿאַלן. עס ווערט בכלל אויסגעדריקט אין מיקראָמעטערס (μm), אָפֿט רעפּרעזענטירט ווי: ≤30 μm.
4. גאַנץ אנגעצייכנט לייענען — TIR
ווען דער וועיפער איז צוגעקלעמט און אין נאנטן קאנטאקט, ניצנדיק א רעפערענץ פלאך וואס מינימיזירט די סומע פון אינטערסעפּשאַנז פון אלע פונקטן אין דער קוואַליטעט געגנט אדער א ספעציפיצירטער לאקאלער געגנט אויף דער וועיפער ייבערפלאַך, איז די TIR די אָפּנייגונג צווישן די מאַקסימום און מינימום דיסטאַנסן פון דער וועיפער ייבערפלאַך צו דעם רעפערענץ פלאך.
געגרינדעט אויף טיפער עקספּערטיז אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַטעריאַל ספּעציפֿיקאַציעס ווי TTV, BOW, WARP, און TIR, XKH גיט פּרעציזיע קאַסטאַם וועיפער פּראַסעסינג באַדינונגען צוגעפּאַסט צו שטרענגע אינדוסטריע סטאַנדאַרדס. מיר צושטעלן און שטיצן אַ ברייט קייט פון הויך-פּערפאָרמאַנס מאַטעריאַלס אַרייַנגערעכנט סאַפייער, סיליקאָן קאַרבייד (SiC), סיליקאָן וועיפערס, SOI, און קוואַרץ, וואָס ענשורז אויסערגעוויינלעך פלאַכקייט, גרעב קאָנסיסטענסי, און ייבערפלאַך קוואַליטעט פֿאַר אַוואַנסירטע אַפּלאַקיישאַנז אין אָפּטאָעלעקטראָניק, מאַכט דעוויסעס, און MEMS. צוטרוי אונדז צו צושטעלן פאַרלאָזלעך מאַטעריאַל סאַלושאַנז און פּרעציזיע מאַשינינג וואָס טרעפן דיין מערסט פאָדערן פּלאַן רעקווירעמענץ.
פּאָסט צייט: 29סטן אויגוסט, 2025