מיט די קעסיידערדיק אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע און אפילו די פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, די באדערפענישן פֿאַר די ייבערפלאַך קוואַליטעט פון די ווייפער סאַבסטרייט אָדער עפּיטאַקסיאַל בויגן זענען אויך זייער שטרענג.אַזוי, וואָס זענען די קוואַליטעט רעקווירעמענץ פֿאַר ווייפערז?מיט סאַפייער ווייפערז ווי אַ בייַשפּיל, וואָס ינדאַקייטערז קענען זיין געוויינט צו אָפּשאַצן די ייבערפלאַך קוואַליטעט פון ווייפערז?
וואָס זענען די יוואַליויישאַנז פון ווייפערז?
די דריי ינדאַקייטערז
פֿאַר סאַפייער ווייפערז, זייַן יוואַליויישאַן ינדיקאַטאָרס זענען גאַנץ גרעב דיווייישאַן (טטוו), בייגן (באָוו) און וואָרפּ (וואַרפּ).די דריי פּאַראַמעטערס צוזאַמען פאַרטראַכטנ זיך די פלאַטנאַס און גרעב יונאַפאָרמאַטי פון די סיליציום ווייפער, און קענען מעסטן די גראַד פון ריפּאַל פון די ווייפער.די קאָראַגיישאַן קענען זיין קאַמביינד מיט די פלאַטנאַס צו אָפּשאַצן די קוואַליטעט פון די ווייפער ייבערפלאַך.
וואָס איז TTV, BOW, Warp?
TTV (Total Thickness Variation)
TTV איז דער חילוק צווישן די מאַקסימום און מינימום גרעב פון אַ ווייפער.דעם פּאַראַמעטער איז אַ וויכטיק אינדעקס געניצט צו מעסטן ווייפער גרעב יונאַפאָרמאַטי.אין אַ סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, די גרעב פון די ווייפער מוזן זיין זייער מונדיר איבער די גאנצע ייבערפלאַך.מעזשערמאַנץ זענען יוזשאַוואַלי געמאכט אין פינף לאָוקיישאַנז אויף די ווייפער און די חילוק איז קאַלקיאַלייטיד.לעסאָף, דעם ווערט איז אַ וויכטיק יקער פֿאַר אויב משפטן די קוואַליטעט פון די ווייפער.
בויגן
בויגן אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג רעפערס צו די בייגן פון אַ ווייפער, פריי די ווייַטקייט צווישן די מידפּוינט פון אַ ונקלאַמפּט ווייפער און די רעפֿערענץ פלאַך.דאס ווארט שטאמט ווארשיינליך פון א באשרייבונג פון די פארעם פון אן אביעקט ווען ער איז געבויגן, ווי די געבויגענע פארעם פון א בויגן.די בויגן ווערט איז דיפיינד דורך מעסטן די דיווייישאַן צווישן די צענטער און ברעג פון די סיליציום ווייפער.דער ווערט איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין מיקראָמעטערס (µm).
וואָרפּ
וואָרפּ איז אַ גלאבאלע פאַרמאָג פון ווייפערז וואָס מעסטן די חילוק צווישן די מאַקסימום און מינימום דיסטאַנסע צווישן די מיטן פון אַ פרילי ונקלאַמפּט וואַפער און די רעפֿערענץ פלאַך.רעפּראַזענץ די ווייַטקייט פון די ייבערפלאַך פון די סיליציום ווייפער צו די פלאַך.
וואָס איז די חילוק צווישן TTV, Bow, Warp?
TTV פאָוקיסיז אויף ענדערונגען אין גרעב און איז נישט זארגן וועגן די בענדינג אָדער דיסטאָרשאַן פון די ווייפער.
בויגן פאָוקיסיז אויף די קוילעלדיק בייגן, דער הויפּט קאַנסידערינג די בייגן פון די צענטער פונט און די ברעג.
וואָרפּ איז מער פולשטענדיק, אַרייַנגערעכנט בענדינג און טוויסטינג פון די גאנצע ווייפער ייבערפלאַך.
כאָטש די דריי פּאַראַמעטערס זענען שייַכות צו די פאָרעם און דזשיאַמעטריק פּראָפּערטיעס פון די סיליציום ווייפער, זיי זענען געמאסטן און דיסקרייבד דיפערענטלי, און זייער פּראַל אויף די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס און ווייפער פּראַסעסינג איז אויך אַנדערש.
די קלענערער די דריי פּאַראַמעטערס, די בעסער, און די גרעסערע די פּאַראַמעטער, די גרעסערע די נעגאַטיוו פּראַל אויף די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס.דעריבער, ווי אַ סעמיקאַנדאַקטער פּראַקטישנער, מיר מוזן פאַרשטיין די וויכטיקייט פון ווייפער פּראָפיל פּאַראַמעטערס פֿאַר די גאנצע פּראָצעס פּראָצעס, טאָן סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, מוזן באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו דעטאַילס.
(צענזור)
פּאָסטן צייט: יוני 24-2024