מיט דער קאנטינעווערלעכער אנטוויקלונג פון האַלב-קאָנדוקטאָר טעכנאָלאָגיע, אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע און אפילו די פאָטאָוואָלטאַיק אינדוסטריע, זענען די רעקווייערמענץ פֿאַר דער ייבערפלאַך קוואַליטעט פון די וועיפער סאַבסטראַט אָדער עפּיטאַקסיאַל בויגן אויך זייער שטרענג. אַלזאָ, וואָס זענען די קוואַליטעט רעקווייערמענץ פֿאַר וועיפערס? נעמענדיגסאַפיר וועיפלאלס א ביישפּיל, וואָסערע אינדיקאַטאָרן קען מען נוצן צו אָפּשאַצן די ייבערפלאַך קוואַליטעט פון וועיפערס?
וואָס זענען די וואַפערס עוואַלואַציע ינדיקאַטאָרן?
די דריי אינדיקאַטאָרן
פֿאַר סאַפיר וועיפערס, זענען אירע עוואַלואַציע אינדיקאַטאָרן גאַנץ גרעב דיווייישאַן (TTV), בייגן (Bow) און וואָרפּ (Warp). די דריי פּאַראַמעטערס צוזאַמען שפּיגלען אָפּ די פלאַכקייט און גרעב איינהייטלעכקייט פון די סיליקאָן וועיפער, און קענען מעסטן דעם גראַד פון ריפּל פון די וועיפער. די קאָרוגאַציע קען זיין קאַמביינד מיט די פלאַכקייט צו עוואַלויִרן די קוואַליטעט פון די וועיפער ייבערפלאַך.
וואָס איז TTV, BOW, Warp?
TTV (גאַנץ גרעב וואַריאַציע)
TTV איז דער אונטערשייד צווישן דער מאַקסימום און מינימום גרעב פון אַ וועיפער. דער פּאַראַמעטער איז אַ וויכטיקער אינדעקס וואָס ווערט גענוצט צו מעסטן די איינהייטלעכקייט פון וועיפער גרעב. אין אַ האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס, מוז די גרעב פון די וועיפער זיין זייער איינהייטלעך איבער דער גאַנצער ייבערפלאַך. מעסטונגען ווערן געוויינטלעך געמאַכט אין פינף לאָקאַציעס אויף די וועיפער און דער אונטערשייד ווערט אויסגערעכנט. לעצטנס, איז דער ווערט אַ וויכטיקע באַזע פֿאַר משפּטן די קוואַליטעט פון די וועיפער.
בויגן
בויגן אין האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע באַציט זיך צו דער בייגונג פון אַ וועיפער, באַפרייענדיק די דיסטאַנץ צווישן דעם מיטלפונקט פון אַן אַנקלעפּט וועיפער און דער רעפערענץ פלאַך. דאָס וואָרט קומט מיסטאָמע פון אַ באַשרייַבונג פון דער פאָרעם פון אַן אָביעקט ווען עס איז געבויגן, ווי די קערווד פאָרעם פון אַ בויגן. דער בויגן ווערט איז דעפינירט דורך מעסטן די דיווייישאַן צווישן דעם צענטער און ברעג פון די סיליקאָן וועיפער. דער ווערט איז יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין מיקראָמעטערס (µm).
וואָרפּ
וואָרפּ איז אַ גלאָבאַלע אייגנשאַפט פון וועיפערס וואָס מעסט דעם חילוק צווישן דער מאַקסימום און מינימום דיסטאַנץ צווישן דער מיטן פון אַ פריי אַנקלעפּט וועיפער און דער רעפערענץ פלאַך. רעפּרעזענטירט די דיסטאַנץ פון דער ייבערפלאַך פון די סיליקאָן וועיפער צו דער פלאַך.
וואָס איז דער חילוק צווישן TTV, Bow, Warp?
TTV פאָקוסירט אויף ענדערונגען אין גרעב און איז נישט באַזאָרגט וועגן די בייגן אָדער דיסטאָרשאַן פון די וועיפער.
בויגן פאָקוסירט אויף דער אַלגעמיינער בייגונג, דער עיקר באַטראַכטנדיק די בייגונג פון דעם צענטער פונקט און דעם ברעג.
וואָרפּ איז מער פולשטענדיק, אַרייַנגערעכנט בייגן און טוויסטן פון דער גאַנצער וועיפער ייבערפלאַך.
כאָטש די דריי פּאַראַמעטערס זענען פֿאַרבונדן מיט דער פֿאָרעם און געאָמעטרישע אייגנשאַפֿטן פֿון דעם סיליקאָן וועיפֿער, ווערן זיי געמאָסטן און באַשריבן אַנדערש, און זייער השפּעה אויף דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס און וועיפֿער פּראַסעסינג איז אויך אַנדערש.
וואָס קלענער די דריי פּאַראַמעטערס, אַלץ בעסער, און וואָס גרעסער דער פּאַראַמעטער, אַלץ גרעסער דער נעגאַטיווער השפּעה אויף דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס. דעריבער, ווי אַ האַלב-קאָנדוקטאָר פּראַקטישנער, מוזן מיר פֿאַרשטיין די וויכטיקייט פֿון די ווייפער פּראָפֿיל פּאַראַמעטערס פֿאַר דעם גאַנצן פּראָצעס, ווען מען טוט דאָס מיט אַ האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס, מוזן מיר אָפּמערקן די דעטאַלן.
(צענזורירן)
פּאָסט צייט: 24סטן יוני 2024