פּרינסאַפּאַלז, פּראַסעסאַז, מעטהאָדס און ויסריכט פֿאַר וואַפער רייניקונג

פיגורע: פאַרגלייַך צווישן באַטש-טיפּ און איין-ווייפער רייניקונג

א טיפּיש ווייפער רייניקונג פּראָצעס כולל די פאלגענדע הויפּט סטעפּס:

1. פאַר-רייניקונג (פאַר-ריין)

דער ציל פון פאַר-רייניקונג איז צו באַזייַטיקן פרייַ קאַנטאַמאַנאַנץ און גרויס פּאַרטיקאַלז פון די ווייפער ייבערפלאַך, וואָס איז טיפּיקלי אַטשיווד דורך דייאָניזעד וואַסער (די וואַסער) רינסינג און אַלטראַסאַניק רייניקונג. דעיאָניזעד וואַסער קענען טכילעס באַזייַטיקן פּאַרטיקאַלז און צעלאָזן ימפּיוראַטיז פון די ווייפער ייבערפלאַך, בשעת אַלטראַסאַניק רייניקונג ניצט קאַוויטאַטיאָן יפעקץ צו ברעכן די בונד צווישן די פּאַרטיקאַלז און די ווייפער ייבערפלאַך, מאכן זיי גרינגער צו דיסלאָדזש.

2. כעמישער רייניקונג

כעמישער רייניקונג איז איינער פון די האַרץ סטעפּס אין די ווייפער רייניקונג פּראָצעס, ניצן כעמיש סאַלושאַנז צו באַזייַטיקן אָרגאַניק מאַטעריאַלס, מעטאַל ייאַנז און אַקסיידז פון די ווייפער ייבערפלאַך.

אָרגאַניק מאַטעריאַל באַזייַטיקונג: טיפּיקלי, אַסאַטאָון אָדער אַ אַמאָוניאַ / פּעראַקסייד געמיש (SC-1) איז געניצט צו צעלאָזן און אַקסאַדייז אָרגאַניק קאַנטאַמאַנאַנץ. די טיפּיש פאַרהעלטעניש פֿאַר סק-1 לייזונג איז NH₄OH

₂O₂

₂O = 1:1:5, מיט אַ ארבעטן טעמפּעראַטור פון אַרום 20 °C.

מעטאַל יאָן באַזייַטיקונג: ניטריק זויער אָדער הידראָטשלאָריק זויער / פּעראַקסייד מיקסטשערז (SC-2) זענען געניצט צו באַזייַטיקן מעטאַל ייאַנז פון די ווייפער ייבערפלאַך. די טיפּיש פאַרהעלטעניש פֿאַר סק-2 לייזונג איז הקל

₂O₂

₂O = 1:1:6, מיט די טעמפּעראַטור מיינטיינד בייַ בעערעך 80 °C.

אַקסייד באַזייַטיקונג: אין עטלעכע פּראַסעסאַז, די באַזייַטיקונג פון די געבוירן אַקסייד שיכטע פון ​​די ווייפער ייבערפלאַך איז פארלאנגט, פֿאַר וואָס הידראָפלואָריק זויער (הף) לייזונג איז געניצט. די טיפּיש פאַרהעלטעניש פֿאַר HF לייזונג איז HF

₂ אָ = 1:50, און עס קענען זיין געוויינט אין צימער טעמפּעראַטור.

3. לעצט ריין

נאָך כעמישער רייניקונג, ווייפערז יוזשאַוואַלי אַנדערגאָו אַ לעצט רייניקונג שריט צו ענשור קיין כעמישער רעזאַדוז בלייבן אויף די ייבערפלאַך. לעצט רייניקונג דער הויפּט ניצט דעיאָניזעד וואַסער פֿאַר גרונטיק רינסינג. אַדדיטיאָנאַללי, אָזאָנע וואַסער רייניקונג (O₃/H₂O) איז געניצט צו ווייַטער באַזייַטיקן קיין רוען קאַנטאַמאַנאַנץ פון די ווייפער ייבערפלאַך.

4. דריינג

די קלינד ווייפערז מוזן זיין דאַר געשווינד צו פאַרמייַדן וואָטערמאַרקס אָדער שייַעך-אַטאַטשמאַנט פון קאַנטאַמאַנאַנץ. פּראָסט דרייינג מעטהאָדס אַרייַננעמען ומדריי דרייינג און ניטראָגען פּערדזשינג. די ערשטע רימוווז נעץ פון די ווייפער ייבערפלאַך דורך ספּיננינג בייַ הויך ספּידז, בשעת די יענער ינשורז גאַנץ דרייינג דורך בלאָוינג טרוקן ניטראָגען גאַז אַריבער די ווייפער ייבערפלאַך.

קאַנטאַמאַנאַנט

רייניקונג פּראָצעדור נאָמען

כעמישער געמיש באַשרייַבונג

קעמיקאַלז

פּאַרטיקאַלז	פּיראַנהאַ (ספּם)	סולפוריק זויער / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	ה2סאָ4/ה2אָ2/ה2אָ 3-4:1; 90°C
	SC-1 (APM)	אַמאָוניאַם כיידראַקסייד / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	נה4אָה/ה2אָ2/ה2אָ 1:4:20; 80°C
מעטאַלס ​​(ניט קופּער)	SC-2 (HPM)	הידראָטשלאָריק זויער / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	הקל/ה2אָ2/ה2אָ1:1:6; 85°C
	פּיראַנהאַ (ספּם)	סולפוריק זויער / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	ה2סאָ4/ה2אָ2/ה2אָ3-4:1; 90°C
	דהף	צעפירן הידראָפלואָריק זויער / די וואַסער (וועט נישט באַזייַטיקן קופּער)	HF/H2O1:50
אָרגאַניקס	פּיראַנהאַ (ספּם)	סולפוריק זויער / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	ה2סאָ4/ה2אָ2/ה2אָ 3-4:1; 90°C
	SC-1 (APM)	אַמאָוניאַם כיידראַקסייד / הידראָגען פּעראַקסייד / די וואַסער	נה4אָה/ה2אָ2/ה2אָ 1:4:20; 80°C
	DIO3	אָזאָנע אין די-יאַנייזד וואַסער	אָ 3 / ה 2 אָ אָפּטימיזעד מיקסטשערז
געבוירן אַקסייד	דהף	צעפירן הידראָפלואָריק זויער / די וואַסער	HF/H2O 1:100
	בהף	באַפערד הידראָפלואָריק זויער	NH4F/HF/H2O

3. פּראָסט וואַפער רייניקונג מעטהאָדס

1. רקאַ רייניקונג מעטאַד

די RCA רייניקונג אופֿן איז איינער פון די מערסט קלאַסיש ווייפער רייניקונג טעקניקס אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, דעוועלאָפּעד דורך RCA קאָרפּאָראַטיאָן איבער 40 יאָר צוריק. דער אופֿן איז בפֿרט געניצט צו באַזייַטיקן אָרגאַניק קאַנטאַמאַנאַנץ און מעטאַל יאָן ימפּיוראַטיז און קענען זיין געענדיקט אין צוויי סטעפּס: סק-1 (סטאַנדאַרד קלין 1) און סק-2 (סטאַנדאַרד קלין 2).

SC-1 רייניקונג: דעם שריט איז דער הויפּט געניצט צו באַזייַטיקן אָרגאַניק קאַנטאַמאַנאַנץ און פּאַרטיקאַלז. די לייזונג איז אַ געמיש פון אַמאָוניאַ, הידראָגען פּעראַקסייד, און וואַסער, וואָס פארמען אַ דין סיליציום אַקסייד שיכטע אויף די ווייפער ייבערפלאַך.

SC-2 רייניקונג: דעם שריט איז בפֿרט געניצט צו באַזייַטיקן מעטאַל יאָן קאַנטאַמאַנאַנץ, ניצן אַ געמיש פון הידראָטשלאָריק זויער, הידראָגען פּעראַקסייד און וואַסער. עס בלעטער אַ דין פּאַסיוויישאַן שיכטע אויף די ווייפער ייבערפלאַך צו פאַרמייַדן ריקאַנטאַמאַניישאַן.