פּרינציפּן, פּראָצעסן, מעטאָדן און עקוויפּמענט פֿאַר וואַפער רייניקונג

פיגור: פארגלייך צווישן באַטש-טיפּ און איין-וועפער רייניקונג

א טיפישער וועיפער רייניקונג פּראָצעס כולל די פאלגענדע הויפּט טריט:

1. פאַר-רייניקונג (פאַר-רייניקונג)

דער ציל פון פאָר-רייניקונג איז צו באַזייַטיקן פרייע קאַנטאַמאַנאַנץ און גרויסע פּאַרטיקלען פון דער ווייפער ייבערפלאַך, וואָס ווערט טיפּיש דערגרייכט דורך דעיאָניזירט וואַסער (DI וואַסער) שווענקען און אַלטראַסאַניק רייניקונג. דעיאָניזירט וואַסער קען ערשט באַזייַטיקן פּאַרטיקלען און אויפגעלייזטע אומריינקייטן פון דער ווייפער ייבערפלאַך, בשעת אַלטראַסאַניק רייניקונג ניצט קאַוויטאַציע יפעקץ צו ברעכן די בונד צווישן די פּאַרטיקלען און דער ווייפער ייבערפלאַך, מאכן זיי גרינגער צו אַרויסנעמען.

2. כעמישע רייניקונג

כעמישע רייניקונג איז איינער פון די הויפּט טריט אין דעם וועיפער רייניקונג פּראָצעס, ניצן כעמישע לייזונגען צו באַזייַטיקן אָרגאַנישע מאַטעריאַלן, מעטאַל יאָנען און אָקסיידן פון דער וועיפער ייבערפלאַך.

אָרגאַנישע מאַטעריאַל באַזייַטיקונג: טיפּישערווייַז, אַצעטאָן אָדער אַן אַמאָניאַק/פּעראָקסייד געמיש (SC-1) ווערט גענוצט צו צעלאָזן און אָקסידירן אָרגאַנישע קאַנטאַמאַנאַנץ. די טיפּישע פּראָפּאָרציע פֿאַר SC-1 לייזונג איז NH₄OH

₂O₂

₂O = 1:1:5, מיט אַן אַרבעט טעמפּעראַטור פון אַרום 20°C.

מעטאַל יאָן באַזייַטיקונג: ניטריק זויער אָדער הידראָטשלאָריק זויער/פּעראַקסייד געמישן (SC-2) ווערן גענוצט צו באַזייַטיקן מעטאַל יאָנען פון דער וואַפער ייבערפלאַך. די טיפּישע פאַרהעלטעניש פֿאַר SC-2 לייזונג איז HCl.

₂O₂

₂O = 1:1:6, מיט דער טעמפּעראַטור געהאַלטן ביי בערך 80°C.

אקסייד באַזייַטיקונג: אין עטלעכע פּראָצעסן, איז די באַזייַטיקונג פון דער נאַטירלעכער אקסייד שיכט פון דער וועיפער ייבערפלאַך פארלאנגט, פֿאַר וואָס מען ניצט הידראָפלאָריק זויער (HF) לייזונג. די טיפּישע פּראָפּאָרציע פֿאַר HF לייזונג איז HF.

₂O = 1:50, און עס קען גענוצט ווערן ביי צימער טעמפּעראַטור.

3. לעצטע רייניקונג

נאך כעמישע רייניקונג, גייען וועיפערס געווענליך אדורך א לעצטן רייניקונג שריט צו זיכער מאכן אז קיין כעמישע רעשטלעך בלייבן נישט אויף דער ייבערפלאך. די לעצטע רייניקונג ניצט בעיקר דעיאָניזירט וואסער פאר א גרינטלעכן אויסשווענקען. דערצו, ווערט אזאן וואסער רייניקונג (O₃/H₂O) גענוצט צו ווייטער באזייטיגן אלע פארבליבענע קאנטאמינאנטן פון דער וועיפער ייבערפלאך.

4. טריקענען

די רייניגע וועיפערס מוזן ווערן שנעל געטריקנט כדי צו פארמיידן וואסער-פלעקן אדער ווידער-אנקלעבן פון קאנטאמינאנטן. געוויינלעכע טריקעניש מעטאדן שליסן איין דריי-טריקענען און שטיקשטאף רייניקונג. די ערשטע נעמט ארויס פייכטקייט פון דער וועיפער-איבערפלאך דורך דרייען זיך מיט הויכע גיכקייטן, בשעת די צווייטע גאראנטירט א פולשטענדיגע טריקעניש דורך בלאזן טרוקענעם שטיקשטאף גאז אריבער דער וועיפער-איבערפלאך.

קאָנטאַמינאַנט

נאָמען פון רייניקונג פּראָצעדור

כעמישע געמיש באַשרייַבונג

כעמיקאַלן

פּאַרטיקלען	פּיראַנה (SPM)	שוועבל זויער/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַי וואַסער	H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C
	SC-1 (APM)	אַמאָניום הידראָקסייד/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַיי וואַסער	NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C
מעטאַלן (נישט קופּער)	SC-2 (HPM)	הידראָכלאָרישע זויער/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַיי וואַסער	HCl/H2O2/H2O1:1:6; 85°C
	פּיראַנה (SPM)	שוועבל זויער/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַי וואַסער	H2SO4/H2O2/H2O3-4:1; 90°C
	דה"ף	פארדיןענע הידראָפלאָריק זויער/די-איי וואַסער (וועט נישט אַראָפּנעמען קופּער)	HF/H2O1:50
אָרגאַניקס	פּיראַנה (SPM)	שוועבל זויער/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַי וואַסער	H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C
	SC-1 (APM)	אַמאָניום הידראָקסייד/וואַסערשטאָף פּעראָקסייד/די-אַיי וואַסער	NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C
	דיאָ3	אזאן אין דע-יאָניזירט וואַסער	O3/H2O אָפּטימיזירטע מישונגען
נאַטירלעכע אָקסייד	דה"ף	פארדיןטע הידראָפלאָרישע זויער/די-איי וואַסער	HF/H2O 1:100
	בי.ה.ף.	באַפערד הידראָפלואָריק זויער	NH4F/HF/H2O

3. געוויינטלעכע וועיפער רייניקונג מעטאָדן

1. RCA רייניקונג מעטאָד

די RCA רייניקונג מעטאָדע איז איינע פון ​​די מערסט קלאַסישע וועיפער רייניקונג טעקניקס אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, דעוועלאָפּעד דורך RCA קאָרפּאָראַציע איבער 40 יאָר צוריק. די מעטאָדע ווערט בפֿרט געניצט צו באַזײַטיקן אָרגאַנישע קאַנטאַמאַנאַנץ און מעטאַל יאָן פֿאַרפּעסטיקונגען און קען ווערן פֿאַרענדיקט אין צוויי טריט: SC-1 (סטאַנדאַרד רייניקונג 1) און SC-2 (סטאַנדאַרד רייניקונג 2).

SC-1 רייניקונג: די שריט ווערט בעיקר גענוצט צו באַזײַטיקן אָרגאַנישע קאַנטאַמאַנאַנץ און פּאַרטיקלען. די לייזונג איז אַ געמיש פון אַמאָניאַק, וואַסערשטאָף פּעראָקסייד און וואַסער, וואָס פאָרמירט אַ דין סיליקאָן אָקסייד שיכט אויף דער ווייפער ייבערפלאַך.

SC-2 רייניקונג: די שריט ווערט בפֿרט גענוצט צו באַזײַטיקן מעטאַל־יאָן קאַנטאַמאַנאַנץ, ניצנדיק אַ געמיש פֿון הידראָטשלאָריק זויער, וואַסערשטאָף־פּעראָקסייד און וואַסער. עס לאָזט אַ דין פּאַסיוואַציע־שיכט אויף דער ווייפֿער־איבערפֿלאַך צו פֿאַרמײַדן ווידער־קאַנטאַמאַניישאַן.